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그래핀 플레이크를 이용한 마스크 공정

  • 기술번호 : KST2015011758
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 표면 처리 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 표면 처리 방법은 기판 표면에 그래핀 플레이크를 분사하여 마스크를 형성하는 마스크 형성 단계 및 그래핀 플레이크가 분사된 상기 기판 표면에 에너지원을 조사하는 에너지 조사 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 에너지 조사 단계에서 상기 기판 표면에 분사된 그래핀 플레이크가 모두 식각될 때까지 에너지를 조사하고, 상기 에너지원은 대기압 플라즈마인 것을 특징으로 한다.
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) G09F 9/00 (2006.01) H01L 21/30 (2006.01)
CPC G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01)
출원번호/일자 1020130113622 (2013.09.25)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1467116-0000 (2014.11.24)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.09.25)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 염근영 대한민국 서울 송파구
2 김가영 대한민국 경기 고양시 일산서구
3 문무겸 대한민국 경기 의왕시 보식골로 *, *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나승택 대한민국 서울특별시 서초구 양재천로**길 **, *층 (양재동, 대화빌딩)(무일국제특허법률사무소)
2 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0866484-93
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2014.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2014-0420846-14
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2014.05.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2014.05.09 수리 (Accepted) 9-1-2014-0035007-68
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0588908-98
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-1009023-15
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.10.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1009035-52
8 등록결정서
Decision to grant		 2014.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0791175-34
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 표면에 그래핀 플레이크를 분사하여 마스크를 형성하는 마스크 형성 단계;그래핀 플레이크가 분사된 상기 기판 표면에 에너지원을 조사하는 에너지 조사 단계;상기 마스크 형성 단계는 상기 기판 표면에 그래핀 분산용액을 분사하는 단계; 및상기 기판을 가열하여 상기 그래핀 분산용액 중 그래핀 플레이크만을 기판에 남기는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 마스크 형성 단계에서 원하는 표면 거칠기에 따라 상기 마스크의 밀도를 조절하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 마스크 형성 단계에서 상기 그래핀 분산용액의 분사 횟수 또는 분사 거리를 조절하여 상기 마스크의 밀도를 조절하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 에너지 조사 단계에서 상기 기판 표면에 분사된 그래핀 플레이크가 모두 식각될 때까지 에너지를 조사하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 에너지원은 대기압 플라즈마인 것을 특징으로 하는 표면 처리 방법
7 7
제1항 및 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판은 플렉서블 기판인 것을 특징으로 하는 표면 처리 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지경부 성균관대학교 산학협력단 산업융합기술산업원천기술개발사업(나노기반) 다이렉트 나노패터닝용 도전성 소재 개발