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위험물질 감지센서 및 제조방법, 그리고 이를 이용한 실시간 위험물질 경보장치

  • 기술번호 : KST2015012886
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 위험물질 감지를 위한 감지센서 및 제조방법, 그리고 이를 이용한 실시간 위험물질 경보장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 위험물질 감지센서는, 기판과, 기판에 형성되는 제1 전극, 기판 상에서 제1 전극과 이격된 제2 전극, 제1 전극과 제2 전극의 자유단에 형성되는 탄소나노튜브 배열 및 제1 전극 또는 제2 전극 중 적어도 어느 한 전극 일면에 코팅 처리된 반응물질을 포함하고, 반응물질은 감지대상물질과의 화학적 반응으로 수축 또는 팽창될 수 있으며, 반응물질의 수축 또는 팽창에 따라 반응물질이 코팅 처리된 전극이 기계적으로 변위 되고 상기 탄소나노튜브 배열 간 접촉 저항이 변화하는 것을 구성의 요지로 한다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01)
CPC G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자 1020130053272 (2013.05.10)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1431625-0000 (2014.08.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140822) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.10)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종백 대한민국 경기 고양시 덕양구
2 김민욱 대한민국 대전 서구
3 이경훈 대한민국 서울특별시 서대문구
4 나형주 대한민국 경기 성남시 분당구
5 권대성 대한민국 서울 양천구
6 최정욱 대한민국 서울 광진구
7 이재익 대한민국 경기 고양시 일산동구
8 백대현 대한민국 서울 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 윤병국 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***길, **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(지성국제특허법률사무소)
2 이영규 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***길, **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(지성국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.05.10 수리 (Accepted) 1-1-2013-0415691-82
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2014.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0191324-98
4 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2014.03.06 수리 (Accepted) 1-1-2014-0221125-57
5 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2014.03.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2014.03.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0022719-53
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0284270-15
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0597582-61
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0597583-17
10 등록결정서
Decision to grant		 2014.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0485769-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
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번호 청구항
1 1
기판(10);기판(10)에 일측이 고정된 제1 전극(20);기판(10)에 일측이 고정되고 기판(10) 상에서 상기 제1 전극(20)과 이격된 제2 전극(30);상기 제1 전극(20)과 제2 전극(30)의 기판에 고정된 부분의 반대편 쪽 자유단(22)(32)에 형성된 탄소나노튜브 배열(40a)(40b); 및 제1 전극(20) 또는 제2 전극(30) 중 적어도 어느 한 전극의 일면에 코팅 처리된 반응물질(50);을 포함하고,반응물질(50)은 감지대상물질과의 화학적 반응으로 수축 또는 팽창될 수 있으며, 반응물질(50)의 수축 또는 팽창에 따라 반응물질(50)이 코팅 처리된 전극이 기계적으로 변위되고 상기 탄소나노튜브 배열 간 접촉 저항이 변화하는 위험물질 감지센서
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제1 전극(20)과 제2 전극(30) 간 배치방향이 서로 평행하며 자유단(22)(32)의 위치가 같은 위험물질 감지센서
3 3
제 2 항에 있어서,상기 제1 전극(20)과 제2 전극(30)의 마주하는 어느 한 면에 반응물질(50)이 코팅처리 된 위험물질 감지센서
4 4
제 2 항에 있어서,상기 제1 전극(20)과 제2 전극(30)의 마주하는 면 모두에 반응물질(50)이 코팅처리 된 위험물질 감지센서
5 5
제 2 항에 있어서,상기 제1 전극(20)과 제2 전극(30)의 마주하는 면의 반대편 면 중 어느 한 면에 반응물질(50)이 코팅처리 된 위험물질 감지센서
6 6
제 2 항에 있어서,상기 제1 전극(20)과 제2 전극(30)의 마주하는 면의 반대편 면 모두에 반응물질(50)이 코팅처리 된 위험물질 감지센서
7 7
제 2 항에 있어서,상기 제1 전극(20)과 제2 전극(30)의 자유단(22)(32)에 형성된 탄소나노튜브 배열(40a)(40b)은 서로 접촉하여 일정 중첩구간을 형성한 위험물질 감지센서
8 8
제 2 항에 있어서,상기 제1 전극(20)과 제2 전극(30)의 자유단(22)(32)에 형성된 탄소나노튜브 배열(40a)(40b)은 서로 일정 간극을 두고 이격된 위험물질 감지센서
9 9
제 1 항에 있어서,상기 제1 전극(20)과 제2 전극(30) 간 배치방향이 서로 직교하며 각각의 자유단(22)(32)은 두 전극이 수직으로 만나는 교차점 위치에 존재하는 위험물질 감지센서
10 10
제 9 항에 있어서,서로 직교하는 두 전극(20)(30) 자유단(22)(32)의 탄소나노튜브 배열(40a)(40b)의 배열방향은 수평이며,두 전극(20)(30) 중 수직으로 배치된 전극의 어느 한 일면에 반응물질(50)이 코팅처리 된 위험물질 감지센서
11 11
제 9 항에 있어서,상기 제1 전극(20)과 제2 전극(30) 자유단(22)(32)에 형성된 탄소나노튜브 배열(40a)(40b)은 서로 접촉하여 일정 중첩구간을 형성한 위험물질 감지센서
12 12
제 1 항에 있어서,반응물질(50)은 수소와 반응하는 팔라듐(Pd)인 것을 특징으로 하는 위험물질 감지센서
13 13
제 1 항에 있어서,반응물질(50)은 폴리이미드(Polyimide), 금(Au), 펩티드 중 선택된 어느 하나인 위험물질 감지센서
14 14
(a) 리소그래피를 이용하여 SOI (Silicon-on-insulator) 기판 상부의 소자 제작층에 감광제를 패터닝하고, 기판 하부의 핸들링층에는 알루미늄을 증착한 뒤 리소그래피 후 식각 공정을 통하여 알루미늄 마스크를 형성하는 단계;(b) 심도반응성이온식각 공정을 이용하여 상기 소자 제작층을 식각해 제1 전극과 제2 전극으로 구분되는 전극 구조를 형성하고 알루미늄 마스크가 형성된 핸들링층을 식각하며, 감광제와 알루미늄 마스크 및 기판 중간층(이산화규소)을 습식 식각으로 제거하는 단계; (c) 쉐도우마스크를 정렬하여 상기 소자 제작층 식각을 통해 형성된 상기 제1전극과 제2 전극의 마주하는 일측 단부에 탄소나노튜브의 합성에 이용될 철 촉매를 기상 증착하고, 철 촉매 상에 탄소나노튜브를 합성하는 단계; 및 (d) 쉐도우마스크를 정렬하여 제1 전극 또는 제2 전극 중 적어도 어느 한 전극 일면에 반응물질을 증착하는 단계;를 포함하는 위험물질 감지센서 제조방법
15 15
제 14 항에 있어서,상기 탄소나노튜브를 합성하는 단계에서 아세틸렌을 전구물질로 이용한 열화학기상증착을 통해 탄소나노튜브를 일괄 배열하는 위험물질 감지센서 제조방법
16 16
제 14 항에 있어서,상기 탄소나노튜브를 합성하는 단계에서 집속이온빔을 이용한 패터닝 후 합성을 통해 단위 탄소나노튜브 간 접촉이 집적된 형태로 합성하는 위험물질 감지센서 제조방법
17 17
제 14 항에 있어서,상기 반응물질은 팔라듐(Pd)이며, 전자빔 증착, 기상 증착(sputter), 도금 중 선택된 어느 하나의 방법을 통해 전극 일면에 증착 처리하는 위험물질 감지센서 제조방법
18 18
제 14 항에 있어서,상기 반응물질은 폴리이미드(Polyimide), 금(Au), 펩티드 중 선택된 어느 하나이고, 기상 증착(sputter), 도금, 액상코팅 중 선택된 어느 하나의 방법을 이용해 전극 일면에 증착 처리하는 위험물질 감지센서 제조방법
19 19
전원공급을 위한 전원부(1);감지대상물질과의 화학적 반응에 의한 반응물질의 수축 또는 팽창에 따라 반응물질(50)이 코팅 처리된 전극이 기계적으로 변위되고 탄소나노튜브 배열(40a)(40b) 간 접촉 면적이 변화하는 제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 하나의 항에 기재된 위험물질 감지센서로 이루어진 센싱부(2);센싱부(2)에서 검출된 전류의 크기로부터 계산된 저항 값의 변화를 통해 감도(sensitivity)를 계산하고 미리 입력된 기준 감도와의 비교를 통해 위험물질 감지 여부를 판단하는 연산 처리부(3); 및 연산 처리부(3) 판단 결과 위험물질이 감지된 것으로 판단된 때 사용자 인식 가능하게 표출하는 표출부(4);를 포함하는 실시간 위험물질 경보장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 연세대학교 글로벌프론티어사업 지능형 군집기반 환경센서 시스템