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수소 센서 및 수소 센서 제조방법

  • 기술번호 : KST2015012896
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 수소 센서 및 수소 센서의 제조방법이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 수소 센서 제조방법은 탄성기판의 표면에 전이금속 박막 또는 상기 전이금속의 합금 박막을 형성하는 단계, 상기 기판 표면에 형성된 상기 박막에 복수 개의 나노 갭을 형성하는 단계 및 상기 박막 상에 수소 분자를 선택적으로 투과시킬 수 있는 배리어를 형성하는 단계를 포함한다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01)
CPC G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자 1020120048727 (2012.05.08)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1445590-0000 (2014.09.23)
공개번호/일자 10-2013-0125183 (2013.11.18) 문서열기
공고번호/일자 (20141002) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.08)
심사청구항수 24

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이우영 대한민국 서울 마포구
2 장병진 대한민국 서울특별시 서대문구
3 이준민 대한민국 경기 성남시 수정구
4 이승현 대한민국 인천 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이창희 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, B동, ****호(국제특허이창)
2 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0367617-18
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.04.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0047003-77
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0522200-12
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.09.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0799714-49
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2013-0799696-15
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2013.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0937995-55
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0075184-40
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0291467-20
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.03.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0291468-76
13 등록결정서
Decision to grant		 2014.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0425451-02
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
탄성기판의 표면에 x가 0
2 2
제1항에 있어서,상기 나노 갭은 상기 탄성 기판에 인장력을 인가하여 상기 박막이 상기 인장력의 작용 방향으로 인장되는 동시에 상기 인장력이 작용하는 방향과 수직한 방향으로 압축되도록 하고, 상기 인장력의 회수 시에 상기 박막이 상기 인장력이 회수된 방향으로 다시 압축되면서 상기 인장력의 회수 방향과 수직한 방향으로 다시 인장되도록 하여 형성되거나,α상을 갖는 상기 박막을 소정 농도의 수소 함유 가스에 노출시켜, 상기 α상의 박막을 β상의 박막으로 변화시켜 부피 팽창에 따라 상기 박막에 형성되는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조방법
3 3
제2항에 있어서,상기 배리어는 상기 수소 분자를 투과시키고 상기 수소 분자보다 큰 물질을 차단하는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법
4 4
제3항에 있어서,상기 배리어는 폴리머, 산화 금속과 상기 폴리머의 중합체, 수소 투과가 가능한 금속, 전이금속 합금, 상기 전이금속 합금 및 상기 폴리머의 중합체 중 하나를 포함하며, 상기 폴리머는 PMMA, PTFE, 폴리이미드, 폴리시클로올레핀, 폴리시라잔, 펠플루오르 비정질 폴리머 중 하나를 포함하고,상기 산화 금속은 TiO2, Al2O3, ZrO2, ZnO, BaO, SrO, CaO, MgO, VO2, CrO2, MoO2, SiMn2O4 중 하나이며,상기 수소 투과가 가능한 금속은 Pd, Pt, Ni, Ag, Ti, Fe, Zn, Co, Mn, Au, W, In, Al 중 선택된 1종 이상을 포함하고,상기 전이금속 합금은 Pd-Ni, Pd-Pt, Pd-Ag, Pd-Ti, Pd-Fe, Pd-Zn, Pd-Co, Pd-Mn, Pd-Au, Pd-W, Pt-Ni, Pt-Ag, Pt-Ti, Pt-Fe, Pt-Zn, Pt-Co, Pt-Mn, Pt-Au, Pt-W 중 선택된 1 종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제1항에 있어서,상기 탄성기판의 표면에 x가 0
10 10
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탄성 기판은 0
11 11
제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 인장력은 상기 탄성 기판이 1
12 12
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탄성 기판은 천연고무, 합성고무 또는 폴리머로 제조하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
13 13
제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 인장력은 상기 탄성 기판에 1회 이상 반복 인가하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
14 14
제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 인장력은 상기 탄성 기판에 1 방향 이상에서 인가하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
15 15
제14항에 있어서,상기 인장력은 제 1 방향, 상기 제 1 방향과 수직을 이루는 제 2 방향, 그리고 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향과는 다른 방향을 이루는 제 3 방향으로 반복 인가하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
16 16
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 박막의 두께는 1 nm 내지 100㎛인 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
17 17
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나노 갭은 1 nm 내지 10㎛의 간격을 두고 형성되는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
18 18
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나노 갭이 형성된 상기 전이금속의 합금 박막을 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
19 19
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 나노 갭이 형성된 상기 전이금속의 합금 박막을 이온 밀링하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
20 20
제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 수소 함유 가스 노출시 수소 농도를 2~15%로 하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
21 21
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 박막의 두께는 1 nm 내지 100㎛의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
22 22
탄성 재질의 기판;상기 기판의 표면에 형성되어 복수 개의 나노 갭을 포함하는 x가 0
23 23
제22항에 있어서,상기 나노 갭은 상기 기판에 인가된 인장력에 의해 형성되거나,α상을 갖는 상기 박막을 β상의 박막으로 변화시켜 부피 팽창에 따라 상기 박막에 형성되는 것을 특징으로 하는 수소 센서
24 24
제23항에 있어서,상기 배리어는 상기 수소 분자를 투과시키고 상기 수소 분자보다 큰 물질을 차단하는 것을 특징으로 하는 수소 센서
25 25
제24항에 있어서,상기 배리어는 폴리머, 산화 금속과 상기 폴리머의 중합체, 수소 투과가 가능한 금속, 전이금속 합금, 상기 전이금속 합금 및 상기 폴리머의 중합체 중 하나를 포함하며, 상기 폴리머는 PMMA, PTFE, 폴리이미드, 폴리시클로올레핀, 폴리시라잔, 펠플루오르 비정질 폴리머 중 하나를 포함하고,상기 산화 금속은 TiO2, Al2O3, ZrO2, ZnO, BaO, SrO, CaO, MgO, VO2, CrO2, MoO2, SiMn2O4 중 하나이며,상기 수소 투과가 가능한 금속은 Pd, Pt, Ni, Ag, Ti, Fe, Zn, Co, Mn, Au, W, In, Al 중 선택된 1종 이상을 포함하고,상기 전이금속 합금은 Pd-Ni, Pd-Pt, Pd-Ag, Pd-Ti, Pd-Fe, Pd-Zn, Pd-Co, Pd-Mn, Pd-Au, Pd-W, Pt-Ni, Pt-Ag, Pt-Ti, Pt-Fe, Pt-Zn, Pt-Co, Pt-Mn, Pt-Au, Pt-W 중 선택된 1 종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서
26 26
삭제
27 27
삭제
28 28
삭제
29 29
제22항에 있어서,상기 박막은 x가 0
30 30
제22항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 박막은 그 두께가 1 nm 내지 100㎛의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 수소 센서
31 31
제22항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서,상기 나노 갭은 1 nm 내지 10㎛의 간격을 두고 형성된 것을 특징으로 하는 수소 센서
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