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수소 센서 및 그 제조 방법
- 기술번호 : KST2015012898
- 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-6124-6930
| 요약 | 본 발명에 따라서 수소 센서 제조 방법이 제공되는데, 상기 방법은 수소 센서 기판에 형성하고자 하는 수소 검지부 패턴과 나노 갭 패턴 및 베이스를 갖는 몰드를 준비하는 단계와; 상기 몰드의 패턴이 전사 가능한 재료를 준비하는 단계와; 상기 몰드를 상기 재료에 접촉시켜, 상기 몰드의 패턴을 상기 재료에 전사시킨 후, 상기 몰드를 떼어내어, 상기 패턴을 갖는 수소 센서 기판을 형성하는 단계로서, 상기 수소 센서 기판은 상기 베이스에 대응되는 베이스부와, 상기 베이스부로부터 수직하게 돌출하며 상기 나노 갭 패턴에 대응되는 복수 개의 수소 검지부와, 이들 수소 검지부 사이에 형성되며 상기 수소 검지부 패턴에 대응되는 복수 개의 나노 갭을 갖는 것인, 상기 수소 센서 기판을 형성하는 단계와; 상기 수소 센서 기판에 수소에 의해 팽창 가능한 전이금속 또는 그 합금 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
|---|---|
| Int. CL | G01N 27/12 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020120027626 (2012.03.19) |
| 출원인 | 연세대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1358245-0000 (2014.01.27) |
| 공개번호/일자 | 10-2013-0106032 (2013.09.27) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20140207) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2012.03.19) |
| 심사청구항수 | 23 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이우영 | 대한민국 | 서울 마포구 |
| 2 | 이헌 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 |
| 3 | 장병진 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
| 4 | 이승현 | 대한민국 | 인천 부평구 |
| 5 | 이준민 | 대한민국 | 경기 성남시 수정구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김승욱 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 강남대로 ***, ***호(서초동, 두산베어스텔)(아이피마스터특허법률사무소) |
| 2 | 이채형 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** (대치동 동구빌딩 *층) Neo국제특허법률사무소 |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 연세대학교 산학협력단 | 서울특별시 서대문구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.03.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0218948-65 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.04.25 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2013.05.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0397049-77 |
| 5 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2013.06.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0047162-17 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
| 7 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.07.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0521479-64 |
| 8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2013.09.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0876978-14 |
| 9 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2013.10.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0978988-30 |
| 10 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.11.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-1081864-17 |
| 11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.11.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1081856-52 |
| 12 | 등록결정서 Decision to grant |
2014.01.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0044542-77 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 수소 센서 기판에 형성하고자 하는 수소 검지부 패턴과 나노 갭 패턴 및 베이스를 갖는 몰드를 준비하는 단계와;상기 몰드의 패턴이 전사 가능한 재료를 준비하는 단계와;상기 몰드를 상기 재료에 접촉시켜, 상기 몰드의 패턴을 상기 재료에 전사시킨 후, 상기 몰드를 떼어내어, 상기 패턴을 갖는 수소 센서 기판을 형성하는 단계로서, 상기 수소 센서 기판은 상기 베이스에 대응되는 베이스부와, 상기 베이스부로부터 수직하게 돌출하며 상기 나노 갭 패턴에 대응되는 복수 개의 수소 검지부와, 이들 수소 검지부 사이에 형성되며 상기 수소 검지부 패턴에 대응되는 복수 개의 나노 갭을 갖는 것인, 상기 수소 센서 기판을 형성하는 단계와;상기 수소 센서 기판에 수소에 의해 팽창 가능한 전이금속 또는 그 합금 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법 |
| 2 |
2 청구항 1에 있어서, 상기 수소 센서 기판은 플렉서블한 재료 또는 플렉서블하지 않은 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법 |
| 3 |
3 청구항 2에 있어서, 상기 수소 센서 기판은 PVC, PET 또는 PES의 플렉서블하지 않은 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법 |
| 4 |
4 청구항 3에 있어서, 상기 방법에 따라 제조되는 수소 센서는 ON-CURRENT 센서로서 이용되는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법 |
| 5 |
5 청구항 2에 있어서, 상기 수소 센서 기판은 천연 고무, 합성 고무 또는 폴리머로 구성되는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법 |
| 6 |
6 청구항 5에 있어서, 상기 합성 고무는 부타디엔계 고무, 이소프렌계 고무, 클로로프렌계 고무, 니트릴계 고무, 폴리우레탄계 고무 또는 실리콘계 고무인 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법 |
| 7 |
7 청구항 6에 있어서, 상기 합성 고무는 PDMS(polydimethylsiloxane)인 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법 |
| 8 |
8 청구항 1에 있어서, 상기 전이금속은 Pd, Pt, Ni, Ag, Ti, Fe, Zn, Co, Mn, Au, W, In 및 Al에서 선택된 1종의 전이금속인 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법 |
| 9 |
9 청구항 1에 있어서, 상기 합금은 수소에 의해 팽창 가능한 Pd-Ni, Pt-Pd, Pd-Ag, Pd- Ti, Pd-Fe, Pd-Zn, Pd-Co, Pd-Mn, Pd-Au, Pd-W, Pt-Ni, Pt-Ag, Pt-Ag, Pt-Ti, Fe-Pt, Pt-Zn, Pt-Co, Pt-Mn, Pt-Au, Pt-W 중에서 선택되는 합금인 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법 |
| 10 |
10 청구항 8에 있어서, 상기 전이금속은 Pd인 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법 |
| 11 |
11 청구항 10에 있어서, 상기 전이금속 박막은 8~12 nm 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법 |
| 12 |
12 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나노 갭의 길이 방향에 수직한 방향으로 전극을 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법 |
| 13 |
13 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나노 갭의 높이 대 폭의 비가 1:x (x003c#1)인 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법 |
| 14 |
14 수소 센서 기판과;상기 기판 표면에 형성된 수소에 의해 팽창 가능한 전이금속 또는 그 합금 박막과;상기 기판에 연결된 전극을 포함하는 수소 센서로서,상기 수소 센서 기판은 베이스부와, 상기 베이스부로부터 수직하게 돌출하는 복수 개의 수소 검지부와, 이들 수소 검지부 사이에 형성된 복수 개의 나노 갭을 갖고 있으며,상기 박막은 상기 수소 검지부 및 나노 갭 전체에 걸쳐 형성되어 있고,상기 전극은 상기 나노 갭의 길이 방향에 수직한 방향으로 상기 기판에 연결되며, 상기 나노 갭의 높이 대 폭의 비가 1:x (x003c#1)인 것을 특징으로 하는 수소 센서 |
| 15 |
15 청구항 14에 있어서, 상기 수소 센서 기판은 플렉서블한 재료 또는 플렉서블하지 않은 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 수소 센서 |
| 16 |
16 청구항 15에 있어서, 상기 수소 센서 기판은 PVC, PET 또는 PES의 플렉서블하지 않은 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 수소 센서 |
| 17 |
17 삭제 |
| 18 |
18 청구항 15에 있어서, 상기 수소 센서 기판은 천연 고무, 합성 고무 또는 폴리머로 구성되는 것을 특징으로 하는 수소 센서 |
| 19 |
19 청구항 18에 있어서, 상기 합성 고무는 부타디엔계 고무, 이소프렌계 고무, 클로로프렌계 고무, 니트릴계 고무, 폴리우레탄계 고무 또는 실리콘계 고무인 것을 특징으로 하는 수소 센서 |
| 20 |
20 청구항 19에 있어서, 상기 합성 고무는 PDMS(polydimethylsiloxane)인 것을 특징으로 하는 수소 센서 |
| 21 |
21 청구항 14에 있어서, 상기 전이금속은 Pd, Pt, Ni, Ag, Ti, Fe, Zn, Co, Mn, Au, W, In 및 Al에서 선택된 1종의 전이금속인 것을 특징으로 하는 수소 센서 |
| 22 |
22 청구항 14에 있어서, 상기 합금은 수소에 의해 팽창 가능한 Pd-Ni, Pt-Pd, Pd-Ag, Pd- Ti, Pd-Fe, Pd-Zn, Pd-Co, Pd-Mn, Pd-Au, Pd-W, Pt-Ni, Pt-Ag, Pt-Ag, Pt-Ti, Fe-Pt, Pt-Zn, Pt-Co, Pt-Mn, Pt-Au, Pt-W 중에서 선택되는 합금인 것을 특징으로 하는 수소 센서 |
| 23 |
23 청구항 21에 있어서, 상기 전이금속은 Pd인 것을 특징으로 하는 수소 센서 |
| 24 |
24 청구항 23에 있어서, 상기 전이금속 박막은 8~12 nm 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 수소 센서 |
| 25 |
25 삭제 |
| 26 |
26 삭제 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US09442099 | US | 미국 | FAMILY |
| 2 | US20130255358 | US | 미국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US2013255358 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | US9442099 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 교육과학기술부 | 연세대학교 산학협력단 | 나노융합 그린에너지 원천기술 개발 | 나노융합 그린에너지 원천기술 개발 |
| 2 | 교육과학기술부 | 연세대학교 산학협력단 | 신기술융합형 성장동력사업 | 지능형 대면적 디스플레이용 나노패턴소재 기술 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
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- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1358245-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20120319 출원 번호 : 1020120027626 공고 연월일 : 20140207 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20140121 청구범위의 항수 : 23 유별 : G01N 27/12 발명의 명칭 : 수소 센서 및 수소 센서 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 471,000 원 | 2014년 01월 27일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 382,200 원 | 2017년 01월 23일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 382,200 원 | 2018년 01월 19일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 273,000 원 | 2019년 01월 21일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 545,440 원 | 2020년 05월 04일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.03.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0218948-65 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.04.25 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | [출원서등 보정]보정서 | 2013.05.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0397049-77 |
| 5 | 선행기술조사보고서 | 2013.06.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0047162-17 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
| 7 | 의견제출통지서 | 2013.07.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0521479-64 |
| 8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2013.09.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0876978-14 |
| 9 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2013.10.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0978988-30 |
| 10 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.11.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-1081864-17 |
| 11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.11.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1081856-52 |
| 12 | 등록결정서 | 2014.01.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0044542-77 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
| 기술번호 | KST2015012898 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 연세대학교 |
| 기술명 | 수소 센서 및 그 제조 방법 |
| 기술개요 |
본 발명에 따라서 수소 센서 제조 방법이 제공되는데, 상기 방법은 수소 센서 기판에 형성하고자 하는 수소 검지부 패턴과 나노 갭 패턴 및 베이스를 갖는 몰드를 준비하는 단계와; 상기 몰드의 패턴이 전사 가능한 재료를 준비하는 단계와; 상기 몰드를 상기 재료에 접촉시켜, 상기 몰드의 패턴을 상기 재료에 전사시킨 후, 상기 몰드를 떼어내어, 상기 패턴을 갖는 수소 센서 기판을 형성하는 단계로서, 상기 수소 센서 기판은 상기 베이스에 대응되는 베이스부와, 상기 베이스부로부터 수직하게 돌출하며 상기 나노 갭 패턴에 대응되는 복수 개의 수소 검지부와, 이들 수소 검지부 사이에 형성되며 상기 수소 검지부 패턴에 대응되는 복수 개의 나노 갭을 갖는 것인, 상기 수소 센서 기판을 형성하는 단계와; 상기 수소 센서 기판에 수소에 의해 팽창 가능한 전이금속 또는 그 합금 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
| 개발상태 | 기술개발진행중 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 센서/기타 센서/기타 센서 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345167680 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2010-50193 |
| 연구과제명 | 지능형 대면적 디스플레이용 나노패턴소재 기술 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 연세대학교 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 201011~201406 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345175926 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0093823 |
| 연구과제명 | 나노과학기술연구소 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 연세대학교 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 200909~201808 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
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