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포피린으로 기능화 처리한 그래핀 기반의 VOC 센서 및 그 제작방법

  • 기술번호 : KST2015013182
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 포피린으로 기능화 처리한 그래핀 기반의 VOC 센서 및 그 제작방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판에 그래핀을 전사하는 그래핀전사단계, 그래핀이 전사된 기판에 전극을 형성하는 전극형성단계 및 그래핀에 포피린을 코팅하는 기능화처리단계를 포함하는 포피린으로 기능화 처리한 그래핀 기반의 VOC 센서 제작 방법이 제공될 수 있다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01)
CPC G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01)
출원번호/일자 1020130062785 (2013.05.31)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1422625-0000 (2014.07.17)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140724) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.31)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종백 대한민국 경기 고양시 덕양구
2 최정욱 대한민국 서울 광진구
3 표순재 대한민국 충북 충주시 용산
4 이경훈 대한민국 서울특별시 서대문구
5 고희진 대한민국 제주 제주

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 윤병국 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***길, **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(지성국제특허법률사무소)
2 이영규 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***길, **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(지성국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2013-0487931-66
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2014.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0191324-98
4 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2014.03.06 수리 (Accepted) 1-1-2014-0221227-16
5 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2014.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2014.03.12 수리 (Accepted) 9-1-2014-0023426-59
7 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2014.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2014-0023744-63
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0284271-61
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0597619-62
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0597620-19
11 등록결정서
Decision to grant		 2014.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0475441-51
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판(10)에 그래핀(20)을 전사하는 그래핀전사단계(S1);상기 그래핀(20)이 전사된 기판(10)에 전극(30)을 형성하는 전극형성단계(S2); 및상기 그래핀(20)에 포피린(40)을 코팅하는 기능화처리단계(S3)를 포함하며상기 그래핀전사단계(S1)는 상기 기판(10)에 화학기상증착법(CVD, Chemical Vapor Deposition)으로 합성한 그래핀(20)을 전사하며,상기 전극형성단계(S2)는포토리소그래피(photo lithography) 공정으로 포토레지스트(photoresist)을 상기 그래핀(20)이 전사된 기판(10)에 패터닝하는 제1포토레지스트패터닝단계(S2-1);상기 제1포토레지스트(25)를 마스크로 이용하여 그래핀(20)을 식각하는그래핀식각단계(S2-2);제1포토레지스트제거단계(S2-3);상기 그래핀(20)이 패터닝된기판(10)에 포토레지스트를 코팅하는 제2포토레지스트패터닝단계(S2-4); 상기 제2포토레지스트(35)를 마스크로 이용하여 전극(30)을 증착하는 전극증착단계(S2-5); 및 제2포토레지스트 제거단계(S2-6)를 포함하되,상기 기능화처리단계(S3)는,전극(30)이 형성된 기판(10) 위에 쉐도우마스크(45)(shadow mask)를 정렬하는 쉐도우마스크정렬단계(S3-1);상기 쉐도우마스크(45)의 홀(hole)을 통하여 포피린을 상기 그래핀(20)에 코팅하는 포피린코팅단계(S3-2) 및쉐도우마스크 제거단계(S3-3)를 포함하여 상기 기판(10), 그래핀(20), 전극(30) 및 포피린(40)이 적층구조를 형성하도록 포피린으로 기능화 처리한 그래핀 기반의 VOC 센서 제작 방법
2 2
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삭제
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삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 기판(10)은 유연기판인 것을 특징으로 하는 포피린으로 기능화 처리한 그래핀 기반의 VOC 센서 제작 방법
6 6
제5항에 있어서,상기 유연기판은 Si/SiO2 및 PET, PDMS 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 포피린으로 기능화 처리한 그래핀 기반의 VOC 센서 제작 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 전극(30)은 금속인 것을 특징으로 하는 포피린으로 기능화 처리한 그래핀 기반의 VOC 센서 제작 방법
8 8
기판(10);기판(10) 상부에 적층된 그래핀(20);상기 그래핀(20)의 양측면에 각각 형성된 전극(30); 및상기 그래핀(20)을 코팅하는 포피린(40);을 포함하되,상기 전극(30)이 형성된 기판(10) 위에 쉐도우마스크(45)(shadow mask)를 정렬한 후, 상기 쉐도우마스크(45)의 홀(hole)을 통하여 포피린을 상기 그래핀(20)에 코팅하여, 상기 기판(10), 그래핀(20), 전극(30) 및 포피린(40)이 적층구조를 형성하는 것을 특징으로 하는 포피린으로 기능화 처리한 그래핀 기반의 VOC 센서
9 9
제8항에 있어서,상기 기판(10)은 유연기판인 것을 특징으로 하는 포피린으로 기능화 처리한 그래핀 기반의 VOC 센서
10 10
제9항에 있어서,상기 유연기판은 Si/SiO2 및 PET, PDMS 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 포피린으로 기능화 처리한 그래핀 기반의 VOC 센서
11 11
제8항에 있어서,상기 전극(30)은 금속인 것을 특징으로 하는 포피린으로 기능화 처리한 그래핀 기반의 VOC 센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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