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고품위 SiC단결정 웨이퍼 제조기술

  • 기술번호 : KST2015013718
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 대구경 단결정 성장장치는 종자정홀더가 장착되며 원료가 장입되는 도가니; 상기 도가니를 감싸며 상,하부가 개방된 원통형 석영관; 상기 석영관의 상,하부를 폐쇄하는 플랜지; 상기 석영관을 감싸면서 가열하는 가열수단; 및 상기 석영관 외측에서 상기 플랜지를 통해 상기 도가니의 수평온도편차를 측정하도록 수평이동되게 구성되는 파이로미터;를 포함한다.상기와 같은 대구경 단결정 성장장치 및 이를 이용하는 성장방법은, 도가니의 상,하측에 각각 배치된 파이로미터가 수평방향 이동하면서 플랜지의 중심으로부터 외곽까지 형성된 온도측정창을 통해, 도가니의 수평온도편차를 측정함으로써 도가니의 상,하부의 특정지점만이 아닌 전체적인 온도구배를 용이하게 유추할 수 있다.이에 의해, 도가니의 수평온도편차를 줄일 수 있는 도가니 및 가열수단 등의 디자인 및 구성을 설계할 수 있다.
Int. CL C30B 23/02 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01) C30B 29/36 (2006.01)
CPC C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01)
출원번호/일자 1020120047610 (2012.05.04)
출원인 주식회사 포스코, 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-1372710-0000 (2014.03.04)
공개번호/일자 10-2013-0124023 (2013.11.13) 문서열기
공고번호/일자 (20140312) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.04)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 여임규 대한민국 경북 포항시 남구
2 은태희 대한민국 경북 포항시 남구
3 김장열 대한민국 경북 포항시 남구
4 이승석 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 경상북도 포항시 남구
2 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-0358885-26
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.04.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.04.12 수리 (Accepted) 9-1-2013-0029304-93
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0577534-23
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0650894-91
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-1071122-80
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.11.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1071125-16
9 등록결정서
Decision to grant		 2014.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0135661-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.04.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5077322-80
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5200802-82
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.09.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5204006-48
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
종자정홀더(23)가 장착되며 원료(1)가 장입되는 도가니(20); 상기 도가니(20)를 감싸며 상,하부가 개방된 석영관(30); 상기 석영관(30)의 상,하부를 폐쇄하는 플랜지(40); 상기 석영관(30)을 감싸면서 가열하는 가열수단(50); 및 상기 석영관(30) 외측에서 상기 플랜지(40)를 통해 상기 도가니(20)의 수평온도편차를 측정하도록 수평이동되게 구성되는 파이로미터(60);를 포함하며,상기 플랜지(40)는, 상기 파이로미터(60)가 상기 도가니(20)로부터 나오는 방사 에너지의 가시영역 파장을 측정하여 온도를 측정하도록, 중심으로부터 외곽까지 온도측정창(70)이 설치되며,상기 온도측정창(70)은, 상기 플랜지(40)의 중심으로부터 외곽까지 형성된 온도측정홀(71); 및 투명재질로서 상기 온도측정홀(71)을 폐쇄하는 석영판(72);을 구비하는 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장장치
2 2
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3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 온도측정창(70)은, 상기 플랜지(40)에서 중심으로부터 외곽까지 타원형으로 형성된 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장장치
5 5
제1항에 있어서,피스톤(80a)이 상기 파이로미터(60)에 연결되며, 상기 피스톤(80a)의 신장 및 수축에 의해 상기 파이로미터(60)가 상기 온도측정창(70)을 따라 수평이동하도록 구동력을 제공하는 수평유압실린더(80);를 구비하는 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장장치
6 6
종자정홀더(23)에 종자정(10)을 부착시키는 종자정 부착단계(S10); 상기 종자정홀더(23)를 도가니(20) 내의 상부에 배치고정시키는 홀더 인입단계(S20); 상기 도가니(20) 내에 원료(1)를 장입시키는 원료 장입단계(S30); 상기 원료(1)를 승화시켜 상기 종자정(10)에 부착시켜 단결정으로 성장시키도록, 가열수단(50)으로 상기 도가니(20)를 가열하는 도가니 가열단계(S40); 및 상기 도가니(20)의 수평온도편차를 측정하는 도가니 온도측정단계(S50);를 포함하며,상기 도가니(20)는 석영관(30) 내에 배치되고, 상기 석영관(30)의 상,하부는 플랜지(40)에 의해 각각 폐쇄되며, 상기 도가니 온도측정단계는, 상기 플랜지(40)의 중심으로부터 외곽까지 홀로서 형성된 온도측정창(70)을 따라, 파이로미터(60)가 수평이동하면서 상기 도가니(20)의 수평온도를 측정하며,상기 온도측정창(70)은, 상기 플랜지(40)의 중심으로부터 외곽까지 형성된 온도측정홀(71); 및 투명재질로서 상기 온도측정홀(71)을 폐쇄하는 석영판(72);을 구비하는 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장방법
7 7
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8 8
삭제
9 9
제6항에 있어서,상기 원료(1)가 탄화규소(SiC)인 경우, 4인치 이상으로서 결정다형이 6H-SiC(6H형 탄화규소) 또는 4H-SiC(4H형 탄화규소) 단결정으로 성장시키는 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.