맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

다파장을 이용한 위상 천이 간섭계

  • 기술번호 : KST2015014896
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계에 관한 것이다. 보다 상세하게는 파장이 서로 다른 파장을 갖는 레이저를 동시에 발진시켜서, 이를 빔 스플리터 및 렌즈를 이용하여 측정물체의 간섭무늬를 분석함으로써, 측정 물체의 정밀 형상을 보다 신속하게 측정할 수 있는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계에 관한 것이다.
Int. CL G01B 9/02 (2006.01) G01N 21/45 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020110114643 (2011.11.04)
출원인 한국표준과학연구원, (주)마이크로모션텍
등록번호/일자 10-1294145-0000 (2013.08.01)
공개번호/일자 10-2013-0049551 (2013.05.14) 문서열기
공고번호/일자 (20130816) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.11.04)
심사청구항수 12

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
2 (주)마이크로모션텍 대한민국 인천광역시 연수구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김재완 대한민국 대전광역시 유성구
2 김종안 대한민국 대전광역시 유성구
3 이동원 대한민국 서울특별시 강서구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
2 (주)마이크로모션텍 인천광역시 연수구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0871571-16
2 보정요구서
Request for Amendment		 2011.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0103114-00
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2011-0901867-63
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0116031-35
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.04.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0340943-56
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0341007-14
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0305300-01
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.02.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5024181-42
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
파장이 서로 다른 다수의 레이저를 발진시키는 레이저 발진부와;상기 레이저 발진부에서 발진된 레이저 파장의 결맞춤을 짧게 만들기 위한 모드 믹서부와;상기 모드 믹서부에서 나와서 렌즈와 선 편광기를 거친 상기 레이저를 투과 및 반사시키는 제1 빔 스플리터와;상기 제1 빔 스플리터에서 반사된 레이저에 의해서 측정 물체를 측정하는 미라우 렌즈부와;상기 미라우 렌즈부에서 반사된 레이저는 상기 제1 빔 스플리터를 투과하고, 상기 제1 빔 스플리터에서 투과된 레이저가 사분의 일 파장판을 투과하고, 상기 사분의 일 파장판을 투과한 레이저가 다수의 파장으로 분리되는 파장 분리기부와;상기 파장 분리기부에서 분리된 파장이 사분의 일 파장판을 투과하고, 사분의 일 파장판을 통과한 파장은 픽셜레이티드 위상 마스크를 통과하여 픽셜레이티드 CCD 카메라에 투영되되, 상기 픽셜레이티드 CCD 카메라는 레이저의 수와 동일한 수로 다수개 구비되는 픽셜레이티드 CCD 카메라부와;상기 픽셜레이티드 CCD카메라부에서의 간섭무늬를 이용하여 정밀형상을 분석하는 PC부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
2 2
제1항에 있어서,상기 파장이 서로 다른 레이저는 광섬유 커플러에서 하나로 모아진 후 멀티모드 광섬유로 입사되며, 상기 멀티모드 광섬유에 입사된 레이저는 진동자를 이용하여 레이저 파장의 결맞춤이 짧아지는 것을 특징으로 하는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
3 3
제2항에 있어서,상기 진동자는 스피커 또는 압전소자인 것을 특징으로 하는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
4 4
제1항에 있어서, 상기 미라우 렌즈부는 대물렌즈와, 상기 대물렌즈의 하부에 위치하는 기준거울과 상기 기준거울의 하부에 위치하는 제2 빔 스플리터와 상기 제2 빔 스플리터의 하부에 위치하는 사분의 일 파장판을 구비하며, 상기 제1 빔 스플리터에서 반사된 레이저가 상기 대물렌즈를 통하여 입사되고, 상기 제2 빔 스플리터에서 투과 및 반사되며, 상기 제2 빔 스플리터의 하부에 위치하는 사분의 일 파장판은 상기 제2 빔 스플리터에서 투과된 레이저가 측정물체에서 반사된 레이저와 상기 기준 거울에서 반사된 레이저의 편광이 수직이 되도록 하는 것을 특징으로 하는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
5 5
제1항에 있어서, 상기 미라우 렌즈부는 대물렌즈와, 상기 대물렌즈의 하부에 위치하는 기준거울과 상기 기준거울의 하부에 위치하는 제2 빔 스플리터와 상기 제2 빔 스플리터의 상부에 위치하는 사분의 일 파장판을 구비하며, 상기 제1 빔 스플리터에서 반사된 레이저가 상기 대물렌즈를 통하여 입사되고, 상기 제2 빔 스플리터에서 투과 및 반사되며, 상기 제2 빔 스플리터의 상부에 위치하는 사분의 일 파장판은 상기 제2 빔 스플리터에서 반사된 레이저가 측정물체에서 반사된 레이저와 상기 기준 거울에서 반사된 레이저의 편광이 수직이 되도록 하는 것을 특징으로 하는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
6 6
제1항에 있어서,상기 파장 분리기부는 다이크로익 빔 스플리터 또는 색 밴드 패스 필터인 것을 특징으로 하는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
7 7
파장이 서로 다른 다수의 레이저를 발진시키는 레이저 발진부와;상기 레이저 발진부에서 발진된 레이저 파장의 결맞춤을 짧게 만들기 위한 모드 믹서부와;상기 모드 믹서부에서 나와서 렌즈와 선 편광기를 거친 상기 레이저를 투과 및 반사시키는 편광 빔 스플리터와;상기 편광 빔 스플리터에서 반사된 레이저는 측정물체로 입사되고, 상기 편광 빔 스플리터에서 투과된 레이저가 기준거울로 입사되고, 상기 편광 빔 스플리터는 측정물체에서 반사된 레이저와 기준거울에서 반사된 레이저를 재투과 및 재반사시키는 현미경 간섭계부와;상기 편광 빔 스플리터에서 재투과 및 재반사된 레이저의 일부를 다수의 파장으로 분리시키는 파장 분리기부와;상기 파장 분리기부에서 분리된 파장이 사분의 일 파장판을 투과하여 간섭무늬를 나타내는 다수의 픽셜레이티드 CCD 카메라부와;상기 픽셜레이티드 CCD카메라부에서의 간섭무늬를 이용하여 정밀형상을 분석하는 PC부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
8 8
제7항에 있어서,상기 파장이 서로 다른 레이저는 광섬유 커플러에서 하나로 모아진 후 멀티모드 광섬유로 입사되며, 상기 멀티모드 광섬유에 입사된 레이저는 진동자를 이용하여 레이저 파장의 결맞춤이 짧아지는 것을 특징으로 하는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
9 9
제8항에 있어서,상기 진동자는 스피커 또는 압전소자인 것을 특징으로 하는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
10 10
제7항에 있어서, 상기 현미경 간섭계부는 측정물체에서 반사된 레이저와 상기 기준 거울에서 반사된 레이저의 편광이 수직이 되도록 사분의 일 파장판을 구비하며, 상기 편광 빔 스플리터에서 반사 또는 투과된 레이저가 상기 사분의 일 파장판을 투과하는 것을 특징으로 하는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
11 11
제7항에 있어서,상기 편광 빔 스플리터는 상기 측정물체에서 반사된 레이저와 상기 기준거울에서 반사된 레이저를 재투과 및 재반사시키고, 상기 재투과 및 재반사된 레이저의 일부는 대물렌즈 및 사분의 일 파장판을 투과하여 상기 파장 분리기부로 입사되는 것을 특징으로 하는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
12 12
제7항에 있어서,상기 파장 분리기부는 다이크로익 빔 스플리터 또는 색 밴드 패스 필터인 것을 특징으로 하는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US09019368 US 미국 FAMILY
2 US20130113925 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2013113925 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.