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감광성 유리 기판의 상면 중 패터닝된 포토마스크를 통해 노출되는 상기 감광성 유리 기판의 표면을 노광하여 식각 제거 영역을 형성하는 단계;형성된 식각 제거 영역을 제1 식각을 통해 배선 홈을 형성하는 단계;형성된 배선 홈에 도전물질을 충진하여 폭과 깊이의 비율이 1:5 내지 1:15의 단차비를 구비한 금속 배선을 형성하는 단계;금속 배선이 형성된 감광성 유리 기판상에 절연층을 형성하는 단계;상기 금속 배선의 일부 영역이 노출되도록 상기 절연층의 선택된 부분을 식각하여 관통홀을 형성하는 단계;형성된 관통홀을 이용하여 상기 절연층상에 외부연결배선을 형성하는 단계-상기 외부연결배선은 상기 관통홀을 통해 상기 금속 배선과 연결됨-;상기 외부연결배선이 형성된 감광성 유리 기판의 상면 중 적어도 최외곽에 배치된 두 금속 배선 사이를 포함하는 전체 영역이 노출되도록 패터닝된 포토마스크를 이용하여 노광하는 단계; 및노광된 감광성 유리 기판 중 상기 금속 배선과 금속 배선 사이에 위치하는 감광성 유리 기판 영역을 제2 식각을 통해 제거하여, 상기 금속 배선과 금속 배선 사이에 공기층이 형성되도록 함으로써 상기 금속 배선이 상기 공기층과 서로 직접 접촉되어 이웃한 금속 배선 사이의 기생 캐패시턴스를 줄이는 단계;를 포함하는 금속 배선 형성 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제1 식각 및 제2 식각은, 상기 감광성 유리 기판 중 노광된 영역만을 선택적으로 습식 식각하는 단계인 것을 특징으로 하는 금속 배선 형성 방법
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청구항 1에 있어서,상기 금속 배선은, 선형 스파이럴 형상, 곡선 스파이럴 형상 및 직선 형상 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 금속 배선 형성 방법
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감광성 유리 기판;상기 감광성 유리 기판의 선택된 영역에 형성되되, 상면이 개방된 캐비티;상기 캐비티 내부에 이격하여 폭과 깊이의 비율이 1:5 내지 1:15의 단차비를 구비하도록 형성된 복수의 금속 배선; 이웃한 금속 배선 사이에 형성된 공기층;상기 감광성 유리 기판상에, 적어도 상기 금속 배선의 일부 영역이 노출되도록 관통홀이 형성된 절연층; 및상기 관통홀을 매립하여 상기 절연층상에 형성된 외부연결배선;을 포함하며,상기 금속 배선과 상기 공기층은 서로 접촉되어 이웃한 금속 배선 사이의 기생 캐패시턴스를 줄이는 것을 특징으로 하는 금속 배선 기판
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청구항 8에 있어서,상기 금속 배선은, 선형 스파이럴 형성, 곡선 스파이럴 형상 및 직선 형상 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 금속 배선 기판
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청구항 8에 있어서,상기 절연층은, 적어도 상기 캐비티를 제외한 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 배선 기판
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청구항 12에 있어서,상기 외부연결배선은 에어 브릿지 구조인 것을 특징으로 하는 금속 배선 기판
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청구항 8에 있어서,상기 공기층은, 상기 금속 배선 중 최외곽에 위치하는 금속 배선과 감광성 유리 기판 사이에 더 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 배선 기판
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