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반도체 소자의 제조 장치

  • 기술번호 : KST2015062109
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요약 반도체 소자의 제조 장치는 웨이퍼를 로딩하며, 로딩된 웨이퍼를 회전시키는 스핀 척, 하부 면이 에지 부분에서 중심 부분을 향하여 볼록한 형태이고, 상기 웨이퍼와 이격하도록 상기 스핀 척 상에 배치되는 상판 가이드, 및 상기 상판 가이드를 관통하며, 상기 상판 가이드와 상기 웨이퍼 사이를 흐르도록 상기 웨이퍼 상에 식각액을 분사하는 노즐을 포함한다.
Int. CL H01L 21/3063 (2006.01) H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/6708(2013.01) H01L 21/6708(2013.01)
출원번호/일자 1020100077189 (2010.08.11)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1092979-0000 (2011.12.06)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20111212) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.08.11)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재환 대한민국 경상북도 구미시
2 안진우 대한민국 대전광역시 서구
3 김봉우 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0515755-14
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0508277-18
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0863138-16
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.11.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0863137-71
6 등록결정서
Decision to grant
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0704093-67
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼를 로딩하며, 로딩된 웨이퍼를 회전시키는 스핀 척(spin chuck);하부 면이 에지 부분에서 중심 부분을 향하여 볼록한 형태이고, 상기 웨이퍼와 이격하도록 상기 스핀 척 상에 배치되는 상판 가이드; 및상기 상판 가이드를 경사지게 관통하며, 상기 상판 가이드와 상기 웨이퍼 사이를 흐르도록 상기 웨이퍼 상에 약액 또는 세정액을 분사하는 노즐을 포함하며,상기 상판 가이드의 상부 면을 관통하여 삽입되는 노즐 부분은 상기 상판 가이드의 중심으로부터 일정 거리 이격하고, 상기 상판 가이드의 하부 면으로 개방되는 노즐 부분은 상기 상판 가이드의 중심 부분에 위치하는 반도체 소자의 제조 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 상판 가이드의 하부면은 에지 부분으로부터 중심 부분을 향하여 단면이 선형적인 기울기를 갖거나, 곡선인 기울기를 갖는 반도체 소자의 제조 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 상판 가이드의 하부 면의 에지 부분과 중심 부분의 높이의 차는 0
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서,상기 스핀 척에 로딩된 웨이퍼의 에지 부분에 가스를 공급하는 가스 공급관을 더 포함하는 반도체 소자의 제조 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 상판 가이드의 상부 면과 연결되고, 상기 상판 가이드를 상하 이동시키거나 회전시키는 상판 이동부을 더 포함하는 반도체 소자의 제조 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.