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대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니

  • 기술번호 : KST2015068483
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대구경 실리콘 단결정을 성장시키기 위한 고온 환경 하에서도 부식을 억제할 수 있는 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니에 관한 것이다.본 발명은 석영도가니; 상기 석영도가니가 안착되는 탄소복합재 도가니; 및 상기 탄소복합재 도가니의 탄화 규소(SiC)화 반응을 억제하도록 상기 탄소복합재 도가니에 내장되는 질화 붕소(BN)층;을 포함하는 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니를 제공한다.
Int. CL C03B 20/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) C30B 15/12 (2006.01)
CPC C30B 15/12(2013.01) C30B 15/12(2013.01) C30B 15/12(2013.01) C30B 15/12(2013.01) C30B 15/12(2013.01)
출원번호/일자 1020120077149 (2012.07.16)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1331699-0000 (2013.11.14)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20131120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.16)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 성진규 대한민국 대구 달성군 화원읍 비슬로**
2 안진우 대한민국 대전 중구
3 최일수 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0565421-66
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.04.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.04.22 수리 (Accepted) 9-1-2013-0030007-62
4 등록결정서
Decision to grant		 2013.09.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0621332-85
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
석영도가니;상기 석영도가니가 안착되는 탄소복합재 도가니; 및상기 탄소복합재 도가니의 탄화 규소(SiC)화 반응을 억제하도록 상기 탄소복합재 도가니에 내장되는 질화 붕소(BN)층;을 포함하는 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니
2 2
제1항에 있어서,상기 질화 붕소(BN)층은 시트 형태로 삽입된 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니
3 3
제1항에 있어서,상기 질화 붕소(BN)층은 스프레이 분사로 코팅된 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니
4 4
제1항에 있어서,상기 질화 붕소(BN)층은 화학적 기상증착(CVD, Chemical Vapor Deposition)법으로 코팅된 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니
5 5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 질화 붕소(BN)층은 상기 탄소복합재 도가니의 내벽으로부터 설정거리 이상 떨어진 위치에 구비된 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니
6 6
제5항에 있어서,상기 질화 붕소(BN)층은 상기 탄소복합재 도가니의 두께 방향으로 일정 간격을 두고 적어도 두 개 이상이 구비된 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.