맞춤기술찾기

이전대상기술

대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015068717
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 직경이 450mm 이상의 대구경 실리콘 단결정을 성장시키기 위한 고온 환경 하에서도 부식을 억제할 수 있는 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니 및 그 제조방법에 관한 것이다.본 발명은 흑연도가니; 상기 흑연도가니 내측면에 안착되는 석영도가니; 및 상기 흑연도가니 내측면과 맞닿는 상기 석영도가니 외측면에 구비된 질화 붕소(BN)층;을 포함하는 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니를 제공한다.또한, 본 발명은 흑연도가니가 만들어지는 제1단계; 석영도가니가 만들어지는 제2단계; 상기 석영도가니의 외측면에 질화 붕소층이 코팅되는 제3단계; 및 상기 질화 붕소층이 상기 흑연도가니 내측면에 맞닿도록 상기 석영도가니를 상기 흑연도가니에 안착시키는 제4단계;를 포함하는 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니 제조방법을 제공한다.
Int. CL C03B 20/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) C30B 15/20 (2006.01)
CPC C30B 15/12(2013.01) C30B 15/12(2013.01) C30B 15/12(2013.01) C30B 15/12(2013.01) C30B 15/12(2013.01) C30B 15/12(2013.01) C30B 15/12(2013.01)
출원번호/일자 1020120078500 (2012.07.19)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1444525-0000 (2014.09.18)
공개번호/일자 10-2014-0012235 (2014.02.03) 문서열기
공고번호/일자 (20140924) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.19)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 안진우 대한민국 대전 중구
2 최일수 대한민국 경북 구미시
3 성진규 대한민국 대구 달성군 화원읍 비슬로**
4 김도연 대한민국 대구 동구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0576027-37
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0047856-95
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0628854-14
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-1002305-32
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1002301-50
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0219409-62
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0444162-55
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0444163-01
10 등록결정서
Decision to grant
2014.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0578052-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
흑연도가니;상기 흑연도가니 내측면에 안착되는 석영도가니; 및상기 흑연도가니 내측면과 맞닿는 상기 석영도가니 외측면에 구비된 질화 붕소(BN)층;을 포함하고상기 석영도가니 외측면은 상기 질화 붕소층의 접착력을 높이는 설정크기 이상의 거칠기가 형성된 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니
2 2
제1항에 있어서,상기 질화 붕소(BN)층은 질화 붕소 파우더가 희석된 용액을 상기 석영도가니 외측면에 도포하여 형성되는 것을 특징으로 하는 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 흑연도가니와 석영도가니 사이에 개재되는 흑연 포일;을 더 포함하는 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니
5 5
흑연도가니가 만들어지는 제1단계;석영도가니가 만들어지며, 상기 석영도가니 외측면에 설정크기 이상의 거칠기가 형성되는 제2단계;상기 석영도가니의 외측면에 질화 붕소층이 코팅되는 제3단계; 및상기 질화 붕소층이 상기 흑연도가니 내측면에 맞닿도록 상기 석영도가니를 상기 흑연도가니에 안착시키는 제4단계;를 포함하는 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니 제조방법
6 6
제5항에 있어서,상기 제3단계는,질화 붕소 파우더를 용액에 희석하여 혼합제를 형성하는 제1과정과, 상기 제1과정에서 혼합된 혼합제가 상기 석영도가니의 외측면에 도포되는 제2과정을 포함하는 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니 제조방법
7 7
삭제
8 8
제5항에 있어서,상기 제4단계는,상기 흑연도가니 내측면에 흑연 포일이 위치되는 제1과정과,상기 제1과정에서 위치된 흑연 포일에 상기 질화 붕소층이 맞닿도록 상기 석영도가니가 안착되는 제2과정을 포함하는 대구경 실리콘 단결정 성장용 도가니 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.