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내화금속박막증착용반도체장치의진공배기계

  • 기술번호 : KST2015073536
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 21/67017(2013.01)
출원번호/일자 1019880017968 (1988.12.30)
출원인 한국전자통신연구원, 주식회사 케이티
등록번호/일자 10-0054956-0000 (1992.09.28)
공개번호/일자 10-1990-0010913 (1990.07.11) 문서열기
공고번호/일자 1019920004962 (19920622) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1988.12.30)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 케이티 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장원익 대한민국 대전시유성구
2 이용일 대한민국 충남대전시동구
3 김상호 대한민국 대전시동구
4 박성호 대한민국 대전시서구
5 유형준 대한민국 충남대전시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전시유성구
2 한국전기통신공사 대한민국 서울시종로구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1988.12.30 수리 (Accepted) 1-1-1988-0104460-69
2 특허출원서
Patent Application		 1988.12.30 수리 (Accepted) 1-1-1988-0104458-77
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1988.12.30 수리 (Accepted) 1-1-1988-0104459-12
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1990.01.30 수리 (Accepted) 1-1-1988-0104461-15
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1992.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1988-0057890-89
6 의견서
Written Opinion		 1992.02.28 수리 (Accepted) 1-1-1988-0104462-50
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1992.02.28 수리 (Accepted) 1-1-1988-0104463-06
8 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1992.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1988-0057891-24
9 등록사정서
Decision to grant		 1992.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1988-0057893-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0010652-29
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2000-0005008-66
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2002-0032774-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.03.13 수리 (Accepted) 4-1-2009-5047686-24
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2010-5068437-23
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2012-5005621-98
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5058926-38
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5122434-12
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2013-5106568-91
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018159-78
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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내화금속박막인 텅스텐 및 텅스텐 실리사이드(WSi2)증착을 위한 반도체장치에 있어서, 반응조(A)의 진동흡수관(1), U자관(2), 부진공밸브(3) 다음에 접속하여 미반응 SiH4 폭발성가스를 제거하도록한 가열테이프 설치관(6)과 ; 공정진행시 미반응 WF6 부식가스를 제거하기 위한 스테인레스스틸조각들이 충진된 가스환원용 트랩(4)과 ; 부생성가스인 H2 습기와 같은 작은 가스분자들을 흡수하는 비석이 충진된 가스흡수용트랩(5)를 구비한 것을 특징으로 하는 내화금속박막증착용 반도체장치의 진공배기계

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.