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광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

  • 기술번호 : KST2015078642
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 N×N 매트릭스(Matrix)형 MOEMS 광스위치 소자와 광섬유 간의 광정렬을 이루기 위한 모듈에 관한 것으로, 실리콘 광학벤치(Silicon Optical Bench; SiOB)를 이용하는 모듈의 구조 및 패키징 공정을 제시한다. 광섬유 배열(Fiber Array)이 실장되는 실리콘 광학벤치(SiOB)에는 N×N 매트릭스형 MOEMS 광스위치 소자에 대응하도록 사각형의 공동(Cavity)이 형성되고 공동의 저면에는 금속배선이 형성된다. MOEMS 광스위치 소자는 매트릭스 형태로 배열된 거울이 광섬유와 일치하고 접합패드는 실리콘 광학벤치(SiOB)의 금속배선과 전기적으로 연결되도록 플립칩 본딩(Flip Chip Bonding) 방법으로 실리콘 광학벤치(SiOB)의 공동부에 부착된다. 플립칩 본딩 장비를 이용한 정렬 접합을 통해 광섬유 배열과의 광축 정렬을 수동 방식으로 이룬다. 또한, 본 발명은 실리콘 광학벤치를 블록 형태로 제작한 후 기판에 수동 배열 및 접합시키므로써 제조 수율을 높이는 한편, 제조 가격을 크게 감소시킬 수 있다. 광섬유, MOEMS 광스위치 소자, SiOB, 공동, 플립칩 본딩
Int. CL G02B 6/42 (2006.01)
CPC G02B 6/4243(2013.01) G02B 6/4243(2013.01) G02B 6/4243(2013.01) G02B 6/4243(2013.01) G02B 6/4243(2013.01)
출원번호/일자 1020020055573 (2002.09.13)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2004-0024073 (2004.03.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.09.13)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 엄용성 대한민국 대전광역시중구
2 이종현 대한민국 대전광역시유성구
3 최병석 대한민국 대전광역시서구
4 윤호경 대한민국 전라북도익산시
5 박흥우 대한민국 서울특별시동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.09.13 수리 (Accepted) 1-1-2002-0299729-59
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.03.24 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.04.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0023067-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0263652-71
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2004.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0393677-72
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

두변의 가장자리 상부에는 다수의 홈이 형성되고, 일측 모서리부에는 두변이 개방된 형태의 공동이 형성되며, 공동의 저면에는 금속배선이 형성된 광학벤치와,

상기 홈에 각각 삽입된 광섬유 배열과,

상기 광섬유와 상기 공동 사이의 상기 홈에 각각 삽입된 렌즈와,

거울은 상기 렌즈를 통해 상기 광섬유와 정렬되고, 접합패드는 상기 금속배선의 패드와 접촉되도록 상기 공동에 위치된 광스위치 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 홈은 V자형으로 형성되며, 상기 렌즈가 삽입된 부분이 상기 광섬유가 삽입된 부분보다 넓게 형성된 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 광스위치 소자의 접합패드와 상기 금속배선의 패드는 플립 칩 본딩 방법으로 접착된 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

4 4

제 1 항에 있어서, 상기 광스위치 소자의 접합패드와 상기 금속배선의 패드 사이에 금속기둥이 게재된 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

5 5

제 1 항에 있어서, 상기 광섬유 배열을 고정하기 위한 덮개를 더 구비한 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

6 6

두변의 가장자리 상부에 다수의 금속배선이 형성된 기판과,

상기 기판 상에 블록 단위로 배열되며 상부면에 다수의 홈이 형성된 다수의 광학벤치와,

상기 홈에 각각 삽입된 광섬유 배열과,

상기 광섬유와 대응되도록 상기 홈에 각각 삽입된 렌즈와,

거울은 상기 렌즈를 통해 상기 광섬유와 정렬되고, 접합패드는 상기 금속배선의 패드와 접촉되도록 위치된 광스위치 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

7 7

제 6 항에 있어서, 상기 홈은 V자형으로 형성되며, 상기 렌즈가 삽입된 부분이 상기 광섬유가 삽입된 부분보다 넓게 형성된 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

8 8

제 6 항에 있어서, 상기 광스위치 소자의 접합패드와 상기 금속배선의 패드는 플립 칩 본딩 방법으로 접착된 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

9 9

제 6 항에 있어서, 상기 광섬유 배열을 고정하기 위한 덮개를 더 구비한 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

10 10

두변의 상부에는 다수의 홈이 형성되고, 나머지 두변의 상부에는 다수의 금속배선이 형성된 광학벤치와,

상기 홈과 대응되도록 상기 광학벤치의 가장자리 상부에 각각 형성된 광섬유 가이드와,

상기 광섬유 가이드에 각각 삽입된 광섬유 배열과,

상기 광섬유와 대응되는 상기 홈에 각각 삽입된 렌즈와,

거울은 상기 렌즈를 통해 상기 광섬유와 정렬되고, 접합패드는 상기 금속배선의 패드와 접촉하도록 위치된 광스위치 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

11 11

두변의 가장자리 상부에 다수의 금속배선이 형성된 기판과,

상기 기판 상에 블록 단위로 배열되며 상부면에 다수의 광섬유 가이드 및 홈이 형성된 다수의 광학벤치와,

상기 광섬유 가이드에 각각 삽입된 광섬유 배열과,

상기 각 광섬유와 대응되도록 상기 홈에 각각 삽입된 렌즈와,

거울은 상기 렌즈를 통해 상기 광섬유와 정렬되고, 접합패드는 상기 금속배선의 패드와 접촉되도록 위치된 광스위치 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

12 12

제 10 또는 제 11 항에 있어서, 상기 홈은 V자형 및 역피라미드형 중 어느 하나의 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

13 13

제 10 또는 제 11 항에 있어서, 상기 광섬유 가이드는 중앙에 광섬유가 삽입될 수 있는 사각형의 통로를 제공하는 측벽과,

상기 광섬유를 탄력적으로 고정시키기 위해 상기 측벽 내에 형성된 쐐기와,

상기 광섬유의 삽입 시 정지점 역할을 하는 스토퍼로 구성된 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

14 14

제 13 항에 있어서, 상기 스토퍼는 상기 측벽보다 낮게 형성된 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

15 15

제 10 또는 제 11 항에 있어서, 상기 광섬유 가이드는 감광막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

16 16

제 10 또는 제 11 항에 있어서, 상기 광스위치 소자의 접합패드와 상기 금속배선의 패드는 플립 칩 본딩 방법으로 접착된 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

17 17

제 10 또는 제 11 항에 있어서, 상기 각 변에 배열된 광섬유를 고정하기 위한 덮개를 더 구비한 것을 특징으로 하는 광스위치 소자와 광섬유의 광정렬을 위한 모듈

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.