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나노 포어 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015079569
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 화학(chemistry)에서의 분자전자(molecular electronics) 분야, 생물학(biology)에서의 분자역학(molecular dynamics) 분야에서 연구되고 있는 나노(nano) 스케일의 포어(pore) 형성 방법에 관한 것으로, 원자현미경(AFM)을 이용한 아노딕 나노 산화(anodic nano-oxidation) 방법으로 마스크 박막에 선택적으로 산화 패턴을 형성한 후 산화 패턴을 선택적으로 식각하여 나노 스케일의 포어를 형성한다. 본 발명을 이용하면 간단한 공정으로 용이하게 나노 포어 어레이를 형성할 수 있다. 나노, 포어, 아노딕 나노 산화, 산화 패턴, 식각
Int. CL B82B 1/00 (2011.01) G03F 7/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC
출원번호/일자 1020030097064 (2003.12.26)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2005-0065902 (2005.06.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.12.26)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김준호 대한민국 경상남도진주시
2 박강호 대한민국 대전광역시유성구
3 송기봉 대한민국 대전광역시서구
4 김은경 대한민국 대전광역시유성구
5 이성규 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2003-0496101-53
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.09.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.10.19 수리 (Accepted) 9-1-2005-0065840-11
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0588311-30
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2006.03.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0130056-63
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 바닥층 및 마스크 박막을 순차적으로 형성하는 단계와, 상기 마스크 박막의 소정 부분에 캔티레베 팁을 위치시킨 후 바이어스 전압을 인가하여 상기 캔티레베 팁이 접촉된 부분의 상기 마스크 박막에 국부적으로 포어 형태의 산화패턴이 형성되도록 하는 단계와, 상기 산화패턴을 선택적으로 제거하여 상기 마스크 박막에 포어가 형성되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 형성 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 바닥층은 SiO2, Si, Pt, Ti, Cr, Al, Au, Ag 및 ITO 중 어느 하나의 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 형성 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 마스크 박막은 Si, GaAs, Ti, Zr, Al 및 Cr 중 어느 하나의 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 형성 방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 캔티레버 팁으로 원자현미경의 캔티레버 팁을 이용하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 형성 방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 캔티레버 팁은 W2C, Ti 및 Pt 중 어느 하나의 금속으로 코팅된 것을 특징으로 하는 나노 포어 형성 방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 산화패턴은 HF 또는 BOE 를 이용한 습식 식각으로 제거하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 형성 방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 산화패턴은 불소 계열의 가스에 CH4 또는 H2 가스가 혼합된 가스를 이용한 건식 식각으로 제거하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 형성 방법
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 포어를 형성한 후 세정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 형성 방법
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 세정은 플라즈마를 이용한 식각 방법으로 실시하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 형성 방법
10 9
제 8 항에 있어서, 상기 세정은 플라즈마를 이용한 식각 방법으로 실시하는 것을 특징으로 하는 나노 포어 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US20050142298 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2005142298 US 미국 DOCDBFAMILY
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