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초고주파 가변 소자용 강유전체 에피택셜 박막 및 이를이용한 초고주파 가변 소자

기술번호 : KST2015079739
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 유전상수의 튜닝율 및 유전손실의 한계성을 극복하기 위해 유전상수의 큰 튜닝율과 작은 유전손실을 갖는 새로운 강유전체 에피택셜 박막을 제공하고 이를 통해서 초고속, 저전력, 저가격화가 가능한 우수한 마이크로파 특성을 갖는 강유전체 초고주파 가변 소자를 제작가능하다. 한편, 이러한 소자를 위상배열 능동 안테나 시스템이나 위성 통신 시스템, 무선 센서 시스템에 활용함으로써 초고속, 저전력, 저가격, 고감도로 무선 통신 품질을 향상시킬 수 있다. 강유전체, BST, 초고주파, 가변 소자
Int. CL	H01L 21/20 (2006.01)
CPC
출원번호/일자	1020030089374 (2003.12.10)
출원인	한국전자통신연구원
등록번호/일자	10-0549967-0000 (2006.02.01)
공개번호/일자	10-2005-0057714 (2005.06.16) 문서열기
공고번호/일자	(20060208) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2003.12.10)
심사청구항수	9

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국전자통신연구원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	이수재	대한민국	대전광역시유성구
2	문승언	대한민국	대전광역시유성구
3	류한철	대한민국	서울특별시중랑구
4	곽민환	대한민국	경상남도진주시

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	신영무	대한민국	서울특별시 강남구 영동대로 **(대치동) KT&G타워 층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	한국전자통신연구원	대한민국	대전 유성구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2003.12.10	수리 (Accepted)	1-1-2003-0470970-04
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2005.06.15	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2005.07.15	수리 (Accepted)	9-1-2005-0041236-92
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2005.10.25	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2005-0530092-33
5	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2005.12.01	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2005-0703284-69
6	의견서 Written Opinion	2005.12.01	수리 (Accepted)	1-1-2005-0703302-04
7	등록결정서 Decision to grant	2006.01.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0055915-85
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2009.08.04	수리 (Accepted)	4-1-2009-5150899-36
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.02.02	수리 (Accepted)	4-1-2015-0006137-44

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 기판 상에 소정두께로 형성된 강유전체 BaTiO3종자층; 및 상기 BaTiO3종자층 상에 형성된 에피택셜(BaxSr1-x)TiO3 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 초고주파 가변 소자용 강유전체 에피택셜 박막
2	2 제 1 항에 있어서 상기 기판은 산화물 MgO 단결정 기판인 것을 특징으로 하는 초고주파 가변 소자용 강유전체 에피택셜 박막
3	3 제 1 항에 있어서상기 에피택셜 (BaxSr1-x)TiO3 박막은, 그 조성이 x가 0
4	4 제 1 항에 있어서상기 BaTiO3종자층 또는 (BaxSr1-x)TiO3 박막은 펄스 레이저 어블레이션, RF 마그네트론 스퍼터링, 화학기상증착 및 원자층증착법 중 하나의 방법에 의해 성장된 에피택셜 박막인 것을 특징으로 하는 초고주파 가변 소자용 강유전체 에피택셜 박막
5	5 삭제
6	6 제 1 항에 있어서, 상기 BaTiO3종자층은 수Å 내지 수백 Å이고, 상기 BST박막은 0
7	7 기판; 상기 기판 상에 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 하나의 항에 의한 초고주파 가변 소자용 강유전체 에피택셜 박막; 및 상기 강유전체 박막 상에 적어도 하나 형성된 전극들을 포함하는 것을 특징으로 하는 초고주파 가변 소자
8	8 제 7 항에 있어서, 상기 초고주파 가변소자는 주파수 또는 위상가변 소자인 것을 특징으로 하는 초고주파 가변 소자
9	9 제 7 항에 있어서, 상기 전극은 단일 금속막 또는 접착층을 포함하는 다층 금속막으로 구성하는 것을 특징으로 하는 초고주파 가변 소자
10	10 제 9 항에 있어서,상기 다층 금속막은 Au/Cr, Au/Ti, Ag/Cr 및 Ag/Ti 중 하나인 것을 특징으로 하는 초고주파 가변 소자
11	11 삭제
12	11 삭제

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US20050128029	US	미국	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US2005128029	US	미국	DOCDBFAMILY

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허 등록번호 표입니다.
특허 등록번호	10-0549967-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20031210 출원 번호 : 1020030089374 공고 연월일 : 20060208 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20060127 청구범위의 항수 : 9 유별 : H01L 21/20 발명의 명칭 : 초고주파 가변 소자용 강유전체 에피택셜 박막 및 이를이용한 초고주파 가변 소자 존속기간(예정)만료일 : 20100202

특허권자란

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순위번호	사항
1	(권리자) 한국전자통신연구원 대전 유성구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	283,500 원	2006년 02월 01일	납입
제 4 년분	금 액	238,000 원	2009년 02월 02일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2003.12.10	수리 (Accepted)	1-1-2003-0470970-04
2	선행기술조사의뢰서	2005.06.15	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2005.07.15	수리 (Accepted)	9-1-2005-0041236-92
4	의견제출통지서	2005.10.25	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2005-0530092-33
5	명세서등보정서	2005.12.01	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2005-0703284-69
6	의견서	2005.12.01	수리 (Accepted)	1-1-2005-0703302-04
7	등록결정서	2006.01.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0055915-85
8	출원인정보변경(경정)신고서	2009.08.04	수리 (Accepted)	4-1-2009-5150899-36
9	출원인정보변경(경정)신고서	2015.02.02	수리 (Accepted)	4-1-2015-0006137-44


과제고유번호	1440000526
세부과제번호	iitaA1-03-0037-00
연구과제명	개방형LBS핵심기술개발
성과구분	등록
부처명	지식경제부
연구관리전문기관명	지식경제부
연구주관기관명	한국전자통신연구원
성과제출연도	2003
연구기간	200302~200601
기여율	1
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	IT(정보기술)

특허성과

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