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기판 상에 하부 클래드층 및 코아층을 순차적으로 형성하는 단계;상기 코아층 상에 후에 광도파로와 광섬유가 탑재될 홈 영역을 모두 형성하기 위한 식각 마스크막을 동시에 형성하는 단계;상기 식각 마스크막을 마스크층으로 상기 코아층을 식각하여 광진행 방향과 수평 방향으로 광도파로와 상기 광섬유가 탑재될 홈 영역을 노출하는 코아층 패턴을 형성하는 단계;상기 광도파로 상의 식각 마스크막을 제거하는 단계;상기 코아층 패턴, 광도파로 및 하부 클래드층 상에 상부 클래드층을 형성하는 단계;상기 상부 클래드층 및 하부 클래드층을 순차적으로 식각하여 상기 광섬유가 탑재될 홈 영역의 기판을 노출시키는 단계; 및 상기 홈 영역에 노출된 기판을 식각하여 상기 광섬유가 삽입되는 홈을 형성하는 단계; 및 상기 홈에 상기 광섬유를 삽입하는 단계를 포함하여 상기 광섬유와 상기 광도파로간에 광의 진행 방향과 평행한 수평 방향으로 수동 정렬이 가능한 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 광도파로와 광섬유가 탑재될 홈 영역을 모두 형성하기 위한 식각 마스크막 형성시 한 장의 포토 마스크와 한 번의 포토리소그래피 공정을 이용하여 동시에 형성함으로써 후공정에서 상기 홈의 중심과 광도파로의 중심을 일치시키는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 홈은 V자나 U자형으로 형성하는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 식각 마스크막은 금속막, 산화막 또는 유기박막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 광섬유가 탑재될 홈을 형성할 때, 상기 기판의 식각 깊이를 후공정에서 삽입될 상기 광섬유의 중심과 상기 광도파로의 중심이 일치하도록 조절하는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 광섬유가 탑재될 홈을 형성할 때, 상기 코아층 패턴과 상기 홈 영역 형성시 만들어진 상기 하부 클래드층 및 상부 클래드층의 패턴을 식각 마스크막으로 이용하거나, 상기 식각 마스크막을 마스크층으로 이용하는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 광섬유가 탑재될 홈 영역의 기판을 노출시키는 단계는, 상기 광도파로 상부의 상부 클래드층 상에 제2 식각 마스크막을 형성하는 단계와, 상기 제2 식각 마스크막을 마스크층으로 상부 클래드층 및 하부 클래드층을 순차적으로 식각하여 상기 광섬유가 탑재되는 홈 영역을 노출시키는 단계와, 상기 상부 클래드층 상의 제2 식각 마스크막을 제거하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
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10
기판 상에 하부 클래드층 및 코아층을 순차적으로 형성하는 단계;상기 코아층 상에 광도파로와 광섬유가 탑재될 홈 영역을 모두 형성하기 위한 제1 식각 마스크막을 동시에 형성하는 단계;상기 제1 식각 마스크막을 마스크층으로 상기 코아층을 식각하여 광진행 방향과 수평 방향으로 광도파로와 후에 광섬유가 탑재되는 홈 영역을 노출하는 코아층 패턴을 형성하는 단계;상기 광도파로 상의 제1 식각 마스크막을 제거하는 단계;상기 코아층 패턴, 광도파로 및 하부 클래드층 상에 상부 클래드층을 형성하는 단계;상기 광도파로 상부의 상부 클래드층 상에 제2 식각 마스크막을 형성하는 단계;상기 제2 식각 마스크막을 마스크층으로 상부 클래드층 및 하부 클래드층을 순차적으로 식각하여 상기 광섬유가 탑재되는 홈 영역을 노출시키는 단계;상기 코아층 패턴 및 상부 클래드층 상의 제1 식각 마스크막 및 제2 식각 마스크막을 각각 제거하는 단계; 상기 홈 영역에 노출된 기판을 식각하여 광섬유가 삽입되는 홈을 형성하는 단계; 및 상기 홈에 상기 광섬유를 삽입하는 단계를 포함하여 상기 광섬유와 상기 광도파로간에 광의 진행 방향과 평행한 수평 방향으로 수동 정렬이 가능한 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 광도파로와 광섬유가 탑재될 홈 영역을 모두 형성하기 위한 상기 제1 식각 마스크막 형성시 한 장의 포토 마스크와 한 번의 포토리소그래피 공정을 이용하여 동시에 형성함으로써 후공정에서 상기 홈의 중심과 광도파로의 중심을 일치시키는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 광섬유가 삽입되는 홈을 형성할 때, 상기 기판의 식각 깊이를 후공정에서 삽입될 상기 광섬유의 중심과 상기 광도파로의 중심이 일치하도록 조절하는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
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