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광도파로와 광섬유간의 수동정렬이 가능한 광모듈의제조방법

  • 기술번호 : KST2015080566
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판 상에 하부 클래드층 및 코아층을 순차적으로 형성한 후, 상기 코아층 상에 후에 광도파로와 광섬유가 탑재될 홈 영역을 모두 형성하기 위한 식각 마스크막을 동시에 형성한다. 이어서, 상기 식각 마스크막을 마스크층으로 상기 코아층을 식각하여 광 진행 방향과 수평 방향으로 광도파로와 상기 광섬유가 탑재될 홈 영역을 노출하는 코아층 패턴을 형성한다. 상기 광도파로 상의 식각 마스크막을 제거한다. 상기 코아층 패턴, 광도파로 및 하부 클래드층 상에 상부 클래드층을 형성한다. 상기 상부 클래드층 및 하부 클래드층을 순차적으로 식각하여 상기 광섬유가 탑재될 홈 영역의 기판을 노출시킨다. 상기 홈 영역에 노출된 기판을 식각하여 광섬유가 삽입되는 홈을 형성한 후, 상기 홈에 광섬유를 삽입하여 상기 광섬유와 상기 광도파로간에 광의 진행 방향과 평행한 수평 방향으로 수동 정렬이 가능한 광 모듈을 완성한다.
Int. CL G02B 6/42 (2006.01) G02B 6/255 (2006.01) G02B 6/26 (2006.01)
CPC G02B 6/4228(2013.01) G02B 6/4228(2013.01) G02B 6/4228(2013.01) G02B 6/4228(2013.01) G02B 6/4228(2013.01)
출원번호/일자 1020050023238 (2005.03.21)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0687738-0000 (2007.02.21)
공개번호/일자 10-2006-0101692 (2006.09.26) 문서열기
공고번호/일자 (20070227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.03.21)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박선택 대한민국 대전 서구
2 이종무 대한민국 대전 유성구
3 백용순 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2005-0147067-71
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0562882-14
3 의견서
Written Opinion
2006.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2006-0838894-66
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.11.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0838897-03
5 등록결정서
Decision to grant
2007.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0059828-38
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 하부 클래드층 및 코아층을 순차적으로 형성하는 단계;상기 코아층 상에 후에 광도파로와 광섬유가 탑재될 홈 영역을 모두 형성하기 위한 식각 마스크막을 동시에 형성하는 단계;상기 식각 마스크막을 마스크층으로 상기 코아층을 식각하여 광진행 방향과 수평 방향으로 광도파로와 상기 광섬유가 탑재될 홈 영역을 노출하는 코아층 패턴을 형성하는 단계;상기 광도파로 상의 식각 마스크막을 제거하는 단계;상기 코아층 패턴, 광도파로 및 하부 클래드층 상에 상부 클래드층을 형성하는 단계;상기 상부 클래드층 및 하부 클래드층을 순차적으로 식각하여 상기 광섬유가 탑재될 홈 영역의 기판을 노출시키는 단계; 및 상기 홈 영역에 노출된 기판을 식각하여 상기 광섬유가 삽입되는 홈을 형성하는 단계; 및 상기 홈에 상기 광섬유를 삽입하는 단계를 포함하여 상기 광섬유와 상기 광도파로간에 광의 진행 방향과 평행한 수평 방향으로 수동 정렬이 가능한 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 광도파로와 광섬유가 탑재될 홈 영역을 모두 형성하기 위한 식각 마스크막 형성시 한 장의 포토 마스크와 한 번의 포토리소그래피 공정을 이용하여 동시에 형성함으로써 후공정에서 상기 홈의 중심과 광도파로의 중심을 일치시키는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 홈은 V자나 U자형으로 형성하는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 식각 마스크막은 금속막, 산화막 또는 유기박막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 광섬유가 탑재될 홈을 형성할 때, 상기 기판의 식각 깊이를 후공정에서 삽입될 상기 광섬유의 중심과 상기 광도파로의 중심이 일치하도록 조절하는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 광섬유가 탑재될 홈을 형성할 때, 상기 코아층 패턴과 상기 홈 영역 형성시 만들어진 상기 하부 클래드층 및 상부 클래드층의 패턴을 식각 마스크막으로 이용하거나, 상기 식각 마스크막을 마스크층으로 이용하는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 광섬유가 탑재될 홈 영역의 기판을 노출시키는 단계는, 상기 광도파로 상부의 상부 클래드층 상에 제2 식각 마스크막을 형성하는 단계와, 상기 제2 식각 마스크막을 마스크층으로 상부 클래드층 및 하부 클래드층을 순차적으로 식각하여 상기 광섬유가 탑재되는 홈 영역을 노출시키는 단계와, 상기 상부 클래드층 상의 제2 식각 마스크막을 제거하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
10 10
기판 상에 하부 클래드층 및 코아층을 순차적으로 형성하는 단계;상기 코아층 상에 광도파로와 광섬유가 탑재될 홈 영역을 모두 형성하기 위한 제1 식각 마스크막을 동시에 형성하는 단계;상기 제1 식각 마스크막을 마스크층으로 상기 코아층을 식각하여 광진행 방향과 수평 방향으로 광도파로와 후에 광섬유가 탑재되는 홈 영역을 노출하는 코아층 패턴을 형성하는 단계;상기 광도파로 상의 제1 식각 마스크막을 제거하는 단계;상기 코아층 패턴, 광도파로 및 하부 클래드층 상에 상부 클래드층을 형성하는 단계;상기 광도파로 상부의 상부 클래드층 상에 제2 식각 마스크막을 형성하는 단계;상기 제2 식각 마스크막을 마스크층으로 상부 클래드층 및 하부 클래드층을 순차적으로 식각하여 상기 광섬유가 탑재되는 홈 영역을 노출시키는 단계;상기 코아층 패턴 및 상부 클래드층 상의 제1 식각 마스크막 및 제2 식각 마스크막을 각각 제거하는 단계; 상기 홈 영역에 노출된 기판을 식각하여 광섬유가 삽입되는 홈을 형성하는 단계; 및 상기 홈에 상기 광섬유를 삽입하는 단계를 포함하여 상기 광섬유와 상기 광도파로간에 광의 진행 방향과 평행한 수평 방향으로 수동 정렬이 가능한 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
11 11
제10항에 있어서, 상기 광도파로와 광섬유가 탑재될 홈 영역을 모두 형성하기 위한 상기 제1 식각 마스크막 형성시 한 장의 포토 마스크와 한 번의 포토리소그래피 공정을 이용하여 동시에 형성함으로써 후공정에서 상기 홈의 중심과 광도파로의 중심을 일치시키는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
12 12
제10항에 있어서, 상기 광섬유가 삽입되는 홈을 형성할 때, 상기 기판의 식각 깊이를 후공정에서 삽입될 상기 광섬유의 중심과 상기 광도파로의 중심이 일치하도록 조절하는 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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