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바이오 센서 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015082687
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 타겟분자(Taget molecule)와 프로브분자(probe molecules)간의 상호반응을 통하여 특정 바이오 물질을 검출할 수 있는 바이오 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 이를 위한 본 발명은 제1도전형의 반도체 기판; 상기 반도체 기판에 형성된 제2도전형의 도핑층; 상기 도핑층의 양 끝단 상부에 형성된 전극 및 상기 도핑층에 고정된 프로브분자를 포함하는 바이오 센서를 제공한다.바이오 센서, 접합 절연, 실리콘 나노선
Int. CL G01N 33/50 (2006.01) G01N 33/48 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070066125 (2007.07.02)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0889564-0000 (2009.03.12)
공개번호/일자 10-2008-0050958 (2008.06.10) 문서열기
공고번호/일자 (20090323) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020060121624   |   2006.12.04
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.02)
심사청구항수 23

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안창근 대한민국 대전 유성구
2 이성재 대한민국 대전 유성구
3 양종현 대한민국 대전 서구
4 백인복 대한민국 충북 청주시 흥덕구
5 유한영 대한민국 대전 유성구
6 아칠성 대한민국 대전 서구
7 김안순 대한민국 대전 중구
8 박찬우 대한민국 대전 유성구
9 박선희 대한민국 대전 서구
10 정태형 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.07.02 수리 (Accepted) 1-1-2007-0482759-40
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0548683-86
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.12.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0886770-42
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2008-0886771-98
5 등록결정서
Decision to grant		 2009.03.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0100569-39
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1
제1도전형의 반도체 기판;상기 반도체 기판 상에 형성되고, 상기 제1도전형과 상보적인 제2도전형을 갖는 도핑층;상기 도핑층의 양 끝단 상부에 형성된 전극; 및상기 도핑층에 고정된 프로브분자를 포함하고,상기 프로브 분자와 타겟 분자의 반응에 의한 상기 도핑층의 전도도 변화를 센싱하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
2 2
제 1항에 있어서,상기 반도체 기판과 상기 도핑층은 접합 절연을 통하여 서로 전기적으로 분리된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
3 3
제 1항에 있어서,상기 도핑층은 에피택셜층인 것을 특징으로 하는 바이오 센서
4 4
제 1항에 있어서,상기 도핑층은 이온주입층 또는 확산층인 것을 특징으로 하는 바이오 센서
5 5
제 1항에 있어서,상기 도핑층은 복수개 구비되고, 각 도핑층에 서로 다른 프로브분자가 고정된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
6 6
제 1항에 있어서,상기 반도체 기판이 N형인 경우, 상기 도핑층은 P형으로 형성되고,상기 반도체 기판이 P형인 경우, 상기 도핑층은 N형으로 형성되는것을 특징으로 하는 바이오 센서
7 7
제 1항에 있어서상기 프로브분자가 고정된 도핑층의 영역에 유체의 통로를 제공하는 유체관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
8 8
제 1항에 있어서,상기 반도체 기판은 벌크 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 바이오 센서
9 9
제 1항에 있어서,상기 도핑층과 상기 전극은 오믹콘택(ohmic contant)인 것을 특징으로 하는 바이오 센서
10 10
제 1항에 있어서상기 프로브분자는 항원, 항체, DNA 및 단백질로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 조합으로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
11 11
제1도전형의 반도체 기판 상에, 상기 제1도전형과 상보적인 제2도전형의 도핑층을 형성하는 단계;상기 도핑층의 양 끝단 상부에 전극을 형성하는 단계; 및상기 도핑층에 프로브분자를 고정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법
12 12
제 11항에 있어서,상기 도핑층은,상기 프로브분자와 타겟 분자의 반응에 의해 전도도가 변화되는 바이오 센서 제조방법
13 13
제 11항에 있어서,상기 반도체 기판과 상기 도핑층은 접합 절연을 통하여 전기적으로 분리되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법
14 14
제 11항에 있어서,상기 도핑층 형성 단계는,상기 반도체 기판이 N형인 경우, 상기 도핑층은 P형으로 형성하고,상기 반도체 기판이 P형인 경우, 상기 도핑층은 N형으로 형성하는것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조방법
15 15
제 11항에 있어서,상기 도핑층은 상기 반도체 기판 상부에 인시튜(in-situ)로 불순물 도핑과 에피택셜층 성장을 동시에 진행하여 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법
16 16
제 11항에 있어서,상기 도핑층은 상기 반도체 기판 표면에 이온주입법 또는 열 확산법 중 어느 한 방법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법
17 17
제 16항에 있어서,상기 이온주입 후 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법
18 18
제 11항에 있어서,상기 도핑층을 패터닝하여 채널영역과 패드영역을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법
19 19
제 18항에 있어서,상기 패터닝은 포토리소그라피방법(photolithography), 전자빔리소그라피방법(electron beam lithography), 이온빔리소그라피방법(ion beam lithography) 또는 X-선리소그라피방법(X-ray lithigrathy) 중 어느 한 방법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법
20 20
제 11항에 있어서,상기 프로브분자가 고정된 상기 도핑층의 영역에 유체의 통로를 제공하는 유체관을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법
21 21
제 11항에 있어서,상기 반도체 기판은 벌크 실리콘 기판을 사용하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법
22 22
제 11항에 있어서,상기 도핑층과 상기 전극은 오믹콘택을 갖도록 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법
23 23
제 11항에 있어서,상기 프로브분자는 항원, 항체, DNA 및 단백질로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나 또는 이들을 조합하여 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조방법
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1 JP22511888 JP 일본 FAMILY
2 US20100090254 US 미국 FAMILY
3 WO2008069477 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 JP2010511888 JP 일본 DOCDBFAMILY
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3 JP2010511888 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 US2010090254 US 미국 DOCDBFAMILY
5 WO2008069477 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 정보통신부 한국전자통신연구원 IT신성장동력핵심기술개발사업 유비쿼터스 건강관리용 모듈/시스템