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기판;상기 기판의 상면에 형성되되, 생물분자를 검출하기 위한 박막을 이용하여 형성된 다수개의 정십자형의 자기저항소자;상기 기판의 상면에 형성되되, 상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자와 연결된 전극 패드;상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자와 상기 전극 패드의 상부에 형성된 보호층;상기 보호층의 상면에 형성되어 상기 생물분자를 고정시키는 생물분자 고정층; 및상기 생물분자 고정층을 둘러싸고, 둘러싼 영역내에 자기비드 분석용액을 가두는 자기비드 용기층;을 포함하며,상기 박막은 씨드층, 반강자성체층, 고정층, 간격층, 자유층, 보호층이 차례로 형성된 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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청구항 1에 있어서,상기 자기비드 용기층은 광감응 박막을 이용하여 형성된 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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3
청구항 1에 있어서,상기 자기비드 용기층은 상온에서 1 ~ 5μm 의 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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기판;상기 기판의 상면에 형성되되, 생물분자를 검출하기 위한 박막을 이용하여 형성된 다수개의 정십자형의 자기저항소자;상기 기판의 상면에 형성되되, 상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자와 연결된 전극 패드;상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자와 상기 전극 패드의 상부에 형성된 보호층;상기 보호층의 상면에 형성되어 상기 생물분자를 고정시키는 생물분자 고정층; 및상기 생물분자 고정층의 위에 형성되어, 자기비드 분석용액을 상기 다수개의 정십자형 자기저항소자측으로 이동시키는 자기비드 분석 이동층;을 포함하며상기 박막은 씨드층, 반강자성체층, 고정층, 간격층, 자유층, 보호층이 차례로 형성된 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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5
청구항 4에 있어서,상기 자기비드 분석 이동층은, 일측이 자기비드 용액 주입구와 연결되고 타측이 배출구와 연결된 소정 길이의 이동채널로 구성되는 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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6
청구항 4에 있어서,상기 자기비드 분석 이동층은, PDMS, PMMA, SU-8 폴리머중 적어도 하나를 재질로 하는 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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7
청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 기판은 표면이 산화된 Si단결정 기판인 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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8
청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 박막은 거대자기저항 박막, 스핀밸브 박막, 이방성 자기저항 박막중의 하나인 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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삭제
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청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자의 각각은 100 nm ~ 100 μm크기를 갖는 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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11
청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자는, 일렬로 나란히 각기 독립되게 배열된 일차원 어레이 형태로 상기 기판상에 형성된 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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12
청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자는, 서로 연결되어 일체화된 일차원 어레이 형태로 상기 기판상에 형성된 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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13
청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자는, 각기 독립되어 행렬 형태로 배열된 이차원 어레이 형태로 상기 기판상에 형성된 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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14
청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자는, 서로 연결되어 일체화된 이차원 어레이 형태로 상기 기판상에 형성된 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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15
청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 전극 패드는 Ta 재질 또는 Au 재질로 된 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 전극 패드의 두께는 상온에서 50 ~ 300nm인 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 보호층은 SiO2 또는 Si3N4 재질로 된 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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18
청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 보호층은 상온에서 50 ~ 300nm 의 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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19
청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 생물분자 고정층은 Au 재질로 된 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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20
청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 생물분자 고정층은 상온에서 50 ~ 300nm 의 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자
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