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산화물 반도체/폴리머 복합 용액을 제조하는 단계,절연 기판 상에 상기 산화물 반도체/폴리머 복합 용액을 도포하는 단계,상기 절연 기판 상에 도포된 상기 산화물 반도체/폴리머 복합 용액의 용매를 휘발시키는 1차 열처리 단계, 그리고상기 용매가 휘발된 산화물 반도체/폴리머 복합 용액의 폴리머를 제거하고 결정화시킴으로써, 산화물 반도체 Lan+1NinO3n+1(n=1,2,3) 나노섬유를 형성하는 2차 열처리 단계를 포함하는 환경유해가스 센서용 산화물 반도체 나노섬유의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 산화물 반도체/폴리머 복합 용액을 제조하는 단계는금속 산화물 전구체, 폴리머, 용매를 소정의 무게 또는 체적비로 칭량하여 혼합하는 단계, 그리고상온 이상의 온도에서 교반하여 상기 산화물 반도체/폴리머 복합 용액을 제조하는 단계를 포함하는 환경유해가스 센서용 산화물 반도체 나노섬유의 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 절연 기판 상에 상기 산화물 반도체/폴리머 복합 용액을 전기방사법으로 방사하여 도포하는 환경유해가스 센서용 산화물 반도체 나노섬유의 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 산화물 반도체 Lan+1NinO3n+1(n=1,2,3)은 La2NiO4+δ, La3Ni2O7-δ, 또는 La4Ni3O10-δ 인 환경유해가스 센서용 산화물 반도체 나노섬유의 제조 방법
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절연 기판,상기 절연 기판 상에 형성되어 있는 금속 전극, 그리고상기 금속 전극 상에 형성되어 있으며, 산화물 반도체 Lan+1NinO3n+1(n=1,2,3) 나노섬유를 포함하는 감지층을 포함하는 환경유해가스 센서
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제5항에 있어서, 상기 기판은 Al2O3, MgO 또는 SrTiO3 인 단결정 기판, Al2O3, 석영인 세라믹 기판, 절연층이 도포된 실리콘 기판 또는 유리 기판인 환경유해가스 센서
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제5항에 있어서, 상기 금속 전극은 Pt, Ni, W, Ti 또는 Cr을 포함하는 환경유해가스 센서
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제5항에 있어서, 상기 산화물 반도체 나노섬유의 직경이 1 nm 내지 100 nm인 것을 특징으로 하는 환경유해가스 센서
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제7항에 있어서, 상기 환경유해가스 센서는,상기 금속 전극과 동일평면 상에 또는 배면에 형성되어 있는 마이크로 박막히터를 더 포함하는환경유해가스 센서
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