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표적 물질과 감지 물질 간의 상호 반응으로써 상기 표적 물질을 검출하는 센싱부와 상기 표적 물질을 모세관 현상을 이용하여 상기 센싱부로 제공하는 채널부가 내장되는 공간을 제공하는 하부 하우징과;상기 하부 하우징의 일면에 결합되어 상기 표적 물질을 포함하는 용액성 물질을 상기 채널부로의 제공과 배출을 담당하는 상부 하우징과; 그리고상기 하부 하우징의 타면에 결합되어 상기 센싱부와 전기적으로 연결되는 기판 회로부를 포함하고,상기 상부 하우징은;상기 용액성 물질을 필터링하는 필터와;상기 필터링된 용액성 물질을 모세관 현상으로써 상기 채널부로 제공하는 상부 용액 인입구와;상기 필터로부터 상기 상부 용액 인입구로의 용액성 물질의 흐름을 제공하는 용액 플로우 채널과;상기 센싱부에서 검출 과정을 거친 용액성 물질이 상기 상부 하우징의 외부로 배출되는 상부 용액 인출구와; 그리고상기 상부 용액 인출구를 통해 배출된 용액성 물질을 저장하는 상기 상부 하우징의 외면에 배치된 저장 용기를 포함하고,상기 상부 용액 인입구와 상부 용액 인출구는 상기 용액 플로우 채널의 일부에 마련되고,상기 용액 플로우 채널의 양단 중에서 상기 상부 용액 인입구와 인접한 일단에는 상기 필터가 배치되고, 상기 상부 용액 인출구와 인접한 타단에는 상기 저장 용기가 배치된 바이오 센서
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제2항에 있어서,상기 하부 하우징은:상기 상부 용액 인입구와 상하 정렬되고, 상기 상부 용액 인입구로부터 상기 채널부로의 용액성 물질의 흐름 경로를 제공하는 하부 용액 인입구와; 그리고상기 상부 용액 인출구와 상하 정렬되고, 상기 채널부로부터 상기 상부 용액 인출구로의 용액성 물질의 흐름 경로를 제공하는 하부 용액 인출구를;포함하는 바이오 센서
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제4항에 있어서,상기 채널부는;상기 하부 용액 인입구와 상하 정렬되고, 상기 하부 용액 인입구로부터 상기 센싱부로의 용액성 물질의 흐름 경로를 제공하는 채널 용액 인입구와;상기 하부 용액 인출구와 상하 정렬되고, 상기 센싱부로부터 상기 하부 용액 인출구로의 용액성 물질의 흐름 경로를 제공하는 채널 용액 인출구와; 그리고상기 채널 용액 인입구부터 상기 채널 용액 인출구까지 연장되어, 상기 채널 용액 인입구로부터 상기 채널 용액 인출구로의 용액성 물질의 흐름 경로를 제공하여 상기 용액성 물질을 상기 센싱부와 접촉시키는 채널을;포함하는 바이오 센서
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제5항에 있어서,상기 센싱부는:반도체 기판과; 그리고상기 반도체 기판 상에 배치되며, 상기 채널 용액 인입구를 통해 제공된 용액성 물질과 접촉되어 상기 용액성 물질에 포함된 표적 물질과 상호 반응하는 상기 감지 물질이 고정된 복수개의 실리콘 나노 와이어를;포함하는 바이오 센서
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제6항에 있어서,상기 기판 회로부는:상기 반도체 기판에 결합되는 바이어스 패드와, 상기 센싱부와 와이어 본딩을 위한 본딩 패드를 포함하는 인쇄회로기판(PCB)을;포함하는 바이오 센서
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반도체 기판 상에 감지 물질이 고정된 복수개의 실리콘 나노 와이어 센서가 이격 배열된 센싱부와;상기 센싱부 상에 배치되며, 상기 감지 물질과 상호 반응하는 표적 물질을 포함하는 용액성 물질을 상기 복수개의 실리콘 나노 와이어의 배열 방향으로 흐르도록 하여 상기 용액성 물질과 상기 복수개의 실리콘 나노 와이어 센서를 상호 접촉시키는 채널부와;상기 센싱부와 전기적으로 결합되어 외부 장치와 상기 센싱부 간의 전기적 신호의 입출력을 담당하는 기판 회로부와; 그리고상기 기판 회로부를 덮어 상기 센싱부 및 채널부를 수용하며, 모세관 현상을 이용하여 상기 용액성 물질을 상기 센싱부로 제공하고 배출시키는 복층 구조의 덮개를 포함하고,상기 덮개는:상기 용액성 물질의 상부 인입구 및 상부 인출구, 상기 상부 인입구로 제공되기 이전에 상기 용액성 물질을 필터링하는 필터, 상기 필터링된 용액성 물질을 상기 상부 인입구로 안내하는 용액 플로우 채널, 그리고 상기 상부 인출구에서 상기 덮개의 외부로 배출되는 용액성 물질을 저장하는 저장 용기를 포함하는 투명성 상부 덮개와; 그리고상기 상부 인입구 및 상부 인출구 각각과 상하 정렬된 하부 인입구 및 하부 인출구를 포함하며, 상기 센싱부 및 채널부의 배치 공간을 갖는 투명성 하부 덮개를 포함하며,상기 투명성 상부 덮개와 상기 투명성 하부 덮개가 포개져 2층 덮개를 이루고, 상기 기판 회로부는 상기 하부 덮개에 결합되어 상기 2층 덮개의 바깥에 배치되고, 상기 저장 용기는 상기 상부 덮개에 제공되어 상기 2층 덮개의 반대측 바깥에 배치되는 바이오 센서
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제9항에 있어서,상기 투명성 상하부 덮개 중 적어도 어느 하나는 폴리메틸메타크릴레이트(Polymethylmethacrylate), 폴리카르보네이트(Polycarbonate), 시클릭올레핀코폴리머(Cyclic olefine copolymer), 폴리에틸렌술폰(Polyethylene sulfone), 폴리스티렌(Polystyrene), 또는 이들의 조합을 포함하는 바이오 센서
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