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판독회로 및 반사층을 포함하는 기판을 형성하는 단계,
상기 기판 상의 패드 영역에 엥커 영역을 가지는 희생층을 형성하는 단계,
상기 희생층 위에 하부 보호막을 형성하는 단계,
상기 하부 보호막 위에 상기 패드 영역으로부터 연장되어 빗살형의 감지전극을 형성하는 단계
상기 하부 보호막 및 상기 감지전극 위에 감지막 및 상부 보호막을 차례로 형성하는 단계,
상기 하부 보호막, 감지막 및 상부 보호막을 패터닝하여 한 패드 영역으로부터의 상기 감지전극의 빗살 영역과 다른 패드 영역으로부터의 상기 감지전극이 분리된 부분을 노출하는 개구부를 형성하는 단계, 그리고
상기 희생층을 제거하는 단계
를 포함하는 적외선 감지 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,
한 패드 영역으로부터의 상기 감지전극의 빗살 영역과 다른 패드 영역으로부터의 상기 감지전극은 최소 이격 거리만큼 분리되도록 패터닝되는
적외선 감지 센서의 제조 방법
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3
제2항에 있어서,
상기 감지전극은 상기 패드 영역으로부터 연장되는 줄기 전극부, 그리고
상기 줄기 전극부로부터 뻗어나오는 복수의 가지 전극부를 포함하는
적외선 감지 센서의 제조 방법
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제3항에 있어서,
상기 감지전극은 한 패드 영역으로부터의 가지 전극부와 다른 패드 영역으로부터의 줄기 전극부가 상기 최소 이격 거리만큼 분리되도록 패터닝되는
적외선 감지 센서의 제조 방법
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제4항에 있어서,
상기 감지막의 개구부는 리소그래피 방법으로 상기 감지전극의 최소 이격 거리 상부에 패터닝 가능한 최소 거리만큼 형성하는
적외선 감지 센서의 제조 방법
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6
제5항에 있어서,
상기 한 패드 영역으로부터의 가지 전극부와 다른 패드 영역으로부터의 가지 전극부는 서로 엇갈려 배치되는
적외선 감지 센서의 제조 방법
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7
제6항에 있어서,
상기 희생층의 상기 엥커 영역 내에서 상기 패드 영역의 패드전극을 노출하는 컨택홀을 상기 하부 보호층에 형성하는 단계를
더 포함하는
적외선 감지 센서의 제조 방법
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8
제6항에 있어서,
상기 하부 보호층의 하부 또는 상기 상부 보호층의 상부에 흡수층을 형성하는 단계
를 더 포함하는
적외선 감지 센서의 제조 방법
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반사층 및 복수의 패드전극을 포함하는 기판,
상기 패드전극과 연결되어 있으며, 상기 반사층 위에 소정의 이격 거리를 두고 형성되어 있는 빗살형 감지전극,
그리고,
상기 감지전극 위에 형성되어 있으며, 한 패드전극과 연결된 상기 감지전극의 빗살 영역과 다른 패드전극과 연결된 상기 감지전극이 서로 분리되는 부분을 노출하는 개구부를 가지는 감지층
을 포함하는 적외선 감지 센서
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제9항에 있어서,
상기 적외선 감지 센서는,
상기 감지전극 하부에 형성되어 있는 하부 보호층, 그리고
상기 감지층 위에 형성되어 있는 상부 보호층
을 더 포함하는
적외선 감지 센서
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제9항에 있어서,
상기 한 패드전극과 연결되어 있는 상기 감지전극의 빗살 영역과 상기 다른 패드전극과 연결되어 있는 상기 감지전극은 최소 이격 거리만큼 분리되어 있는 적외선 감지 센서
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제11항에 있어서,
상기 감지전극은 상기 패드전극으로부터 연장되는 줄기 전극부, 그리고
상기 줄기 전극부로부터 뻗어나오는 복수의 가지 전극부를 포함하는
적외선 감지 센서
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13
제12항에 있어서,
상기 감지전극은 상기 한 패드전극으로부터의 상기 가지 전극부와 상기 다른 패드전극으로부터의 상기 줄기 전극부가 상기 최소 이격 거리만큼 분리되어 있는
적외선 감지 센서
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14
제12항에 있어서,
상기 한 패드전극으로부터의 상기 가지 전극부와 상기 다른 패드전극으로부터의 가지 전극부는 서로 엇갈려 배치되어 있는
적외선 감지 센서
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15
제13항에 있어서,
상기 감지막의 상기 감지전극의 최소 이격 거리 상부에 개구부는 리소그래피 방법으로 패터닝 가능한 최소 거리만큼 형성되는
적외선 감지 센서
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