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기판을 준비하는 기판 준비 단계;
상기 기판의 상면에 생물분자를 검출하기 위한 박막을 증착시키고, 상기 박막을 식각하여 다수개의 정십자형의 자기저항소자를 형성하는 자기저항소자 형성 단계;
상기 기판의 상면에 상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자와 연결되는 전극 패드를 형성하는 전극 패드 형성 단계;
상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자와 상기 전극 패드를 덮는 보호층을 형성하는 보호층 형성 단계;
상기 보호층의 상면에 상기 생물분자를 고정하기 위한 생물분자 고정층을 형성하는 생물분자 고정층 형성 단계; 및
상기 생물분자 고정층을 둘러싸고, 둘러싼 영역내에 자기비드 분석용액을 가두는 자기비드 용기층을 형성하는 자기비드 용기층 형성 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자 제조방법
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청구항 1에 있어서,
상기 자기비드 용기층 형성 단계는, 광감응 박막을 이용하여 상기 자기비드 용기층을 형성하는 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자 제조방법
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기판을 준비하는 기판 준비 단계;
상기 기판의 상면에 생물분자를 검출하기 위한 박막을 증착시키고, 상기 박막을 식각하여 다수개의 정십자형의 자기저항소자를 형성하는 자기저항소자 형성 단계;
상기 기판의 상면에 상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자와 연결되는 전극 패드를 형성하는 전극 패드 형성 단계;
상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자와 상기 전극 패드를 덮는 보호층을 형성하는 보호층 형성 단계;
상기 보호층의 상면에 상기 생물분자를 고정하기 위한 생물분자 고정층을 형성하는 생물분자 고정층 형성 단계; 및
자기비드 분석용액을 상기 다수개의 정십자형 자기저항소자측으로 이동시키는 자기비드 분석 이동층을, 상기 생물분자 고정층의 위에 형성하는 자기비드 분석 이동층 형성 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자 제조방법
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청구항 3에 있어서,
상기 자기비드 분석 이동층 형성 단계는, 일측이 자기비드 용액 주입구에 연결되고 타측이 배출구에 연결된 소정 길이의 이동채널을 상기 자기비드 분석 이동층으로 하는 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자 제조방법
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청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
상기 박막을, 거대자기저항 박막, 스핀밸브 박막, 이방성 자기저항 박막중의 하나로 하는 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자 제조방법
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청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
상기 박막은, 씨드층, 반강자성체층, 고정층, 간격층, 자유층, 보호층이 차례로 형성된 것으로 하는 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자 제조방법
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7
청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
상기 자기저항소자 형성 단계는, 상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자를, 일렬로 나란히 각기 독립되게 배열시킨 일차원 어레이 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자 제조방법
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8
청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
상기 자기저항소자 형성 단계는, 상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자를, 서로 연결되어 일체화된 일차원 어레이 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자 제조방법
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9
청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
상기 자기저항소자 형성 단계는, 상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자를, 각기 독립되어 행렬 형태로 배열된 이차원 어레이 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자 제조방법
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10
청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
상기 자기저항소자 형성 단계는, 상기 다수개의 정십자형의 자기저항소자를, 서로 연결되어 일체화된 이차원 어레이 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 정십자형 자기비드 감지 어레이 소자 제조방법
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