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1
기판,
상기 기판 위에 형성되어 있는 반사층,
상기 반사층과 이격되어 형성되어 있는 제1 흡수층,
상기 제1 흡수층 위에 형성되어 있는 저항층, 그리고
상기 저항층 위에 형성되어 있는 제2 흡수층
을 포함하는 비냉각형 적외선 감지 센서
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2
제1항에 있어서,
상기 반사층, 제1 흡수층, 저항층 및 제2 흡수층 사이에는 각 층을 전기적으로 절연하는 절연층이 형성되어 있는
비냉각형 적외선 감지 센서
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3
제2항에 있어서,
상기 제1 흡수층 및 제2 흡수층은 질화티타늄으로 형성되며, 동일한 두께로 형성되어 있는
비냉각형 적외선 감지 센서
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4
제3항에 있어서,
상기 제2 흡수층 위에 보호층을 더 포함하는
비냉각형 적외선 감지 센서
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5
제4항에 있어서,
상기 제1 흡수층의 상하에 형성되어 있는 상기 절연층은 서로 동일한 두께를 가지며, 상기 제2 흡수층 상하에 형성되어 있는 상기 절연층은 서로 동일한 두께를 가지는
비냉각형 적외선 감지 센서
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6
제5항에 있어서,
상기 제1 흡수층 상하에 형성되어 있는 상기 절연층은 상기 제2 흡수층 상하에 형성되어 있는 상기 절연층의 2배의 두께를 가지는
비냉각형 적외선 감지 센서
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7
제6항에 있어서,
상기 반사층과 상기 제1 흡수층 하부의 상기 절연막까지의 이격 거리는 목표흡수 파장의 1/4에 해당하는
비냉각형 적외선 감지 센서
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| 8 |
8
기판 위에 반사층을 증착하는 단계,
상기 반사층 위에 희생층을 형성하는 단계,
상기 희생층 위에 제1 흡수층, 저항층 및 제2 흡수층을 차례로 증착하는 단계, 그리고
상기 희생층을 선택적으로 식각하여 제거하는 단계
를 포함하는
비냉각형 적외선 감지 센서의 제조 방법
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9
제8항에 있어서,
상기 희생층은 목표흡수 파장의 1/4에 해당하는 두께로 형성하는
비냉각형 적외선 감지 센서의 제조 방법
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10
제8항에 있어서,
상기 희생층, 제1 흡수층, 저항층 및 제2 흡수층의 사이에 절연막을 각각 형성하는
비냉각형 적외선 감지 센서의 제조 방법
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