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하부 전극;상기 하부 전극으로부터 위로 연장되는 나노 와이어; 및상기 나노 와이어 상의 변형 부재를 포함하되,상기 나노 와이어는 전도성을 가지는 와이어 코어(core) 및 상기 와이어 코어를 둘러싸며 압전소재로 구성된 와이어 쉘(shell)을 포함하고, 그리고상기 변형 부재에 가해지는 물리적인 힘에 의해 상기 와이어 셀에서 발생한 전하는 상기 하부 전극으로 방출되는 나노 압전 소자
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청구항 1에 있어서,상기 와이어 코어는 탄소 나노 튜브를 포함하는 나노 압전 소자
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청구항 1에 있어서,상기 와이어 쉘은 산화 아연을 포함하는 나노 압전 소자
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청구항 1에 있어서,상기 변형 부재는 상기 나노 와이어와 접촉되도록 배치되는 나노 압전 소자
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청구항 1에 있어서,상기 변형 부재는 상기 나노 와이어로부터 이격되어 배치되는 나노 압전 소자
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청구항 6에 있어서,상기 변형 부재와 상기 나노 와이어 사이의 이격된 공간에 배치되는 변형 보조패턴을 더 포함하되,상기 변형 보조패턴은 상기 변형 부재에 가해지는 물리적 힘에 의하여 상기 나노 와이어를 변형시키는 나노 압전 소자
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청구항 1에 있어서,상기 하부 전극 상의 구조 지지부를 더 포함하되,상기 구조 지지부는 상기 나노 와이어의 하부(lower portion)를 둘러싸는 나노 압전 소자
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하부 전극으로부터 복수 개의 와이어 코어를 수직적으로 성장시키는 단계;상기 와이어 코어를 각각 둘러싸며, 압전 소재로 구성된 복수 개의 와이어 쉘을 형성하는 단계; 그리고상기 와이어 코어 및 상기 와이어 쉘로 구성된 복수 개의 나노 와이어 상에 변형 부재를 형성하는 단계를 포함하되,상기 변형 부재에 가해지는 물리적인 힘에 의해 상기 와이어 셀에서 발생한 전하는 상기 하부 전극으로 방출되는 나노 압전 소자의 형성방법
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청구항 9에 있어서,상기 와이어 코어는 탄소 나노 튜브(carbon nano tube)로 형성되는 나노 압전 소자의 형성방법
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청구항 10에 있어서,상기 탄소 나노 튜브들을 성장시키는 단계는,상기 하부 전극 상에 절연막을 형성하는 단계;상기 절연막을 패터닝하여 복수 개의 성장홀들을 형성하는 단계; 그리고상기 성장홀들에 상기 탄소 나노 튜브의 금속 촉매를 형성하는 단계를 포함하는 나노 압전 소자의 형성방법
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청구항 9에 있어서,상기 와이어 쉘을 형성하는 단계는,전기 도금 공정을 수행하여 상기 와이어 코어에 선택적으로 시드층을 형성하는 단계를 포함하는 나노 압전 소자의 형성방법
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청구항 9에 있어서,상기 와이어 쉘을 형성하는 단계는,상기 와이어 코어들 사이의 상기 하부 전극 상에 절연막을 형성하는 단계;스퍼터링 공정을 수행하여 상기 와이어 코어들 및 상기 절연막 상에 시드층을 형성하는 단계; 그리고상기 절연막에 리프트-오프 공정으로 진행하여 상기 절연막 상의 상기 시드층을 선택적으로 제거하는 단계를 포함하는 나노 압전 소자의 형성방법
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