| 1 |
1
제 1 유연 전극 기판;상기 제 1 유연 전극 기판 상에 배치되되, 일 방향으로 서로 이격된 복수의 제 1 압전 선들 및 상기 제 1 압전 선들 사이의 공간들을 채우는 복수의 제 2 압전 선들로 구성된 압전층; 및상기 압전층 상에 배치된 제 2 유연 전극 기판을 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 유연 전극 기판들은 도전성 물질을 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 유연 전극 기판들 각각은:절연성 폴리머층; 및상기 압전층과 인접하는 상기 절연성 폴리머층의 일면 상에 배치된 전극 패턴을 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치
|
| 4 |
4
제 3항에 있어서,상기 전극 패턴은 빗살 전극 구조를 갖는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서,상기 제 1 압전 선들은 압전 세라믹 물질 또는 단결정 물질을 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치
|
| 6 |
6
제 5항에 있어서,상기 제 1 압전 선들은 상기 압전 세라믹 물질을 포함하고, 상기 압전 세라믹 물질은 티탄산 지르코산 납을 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치
|
| 7 |
7
제 5항에 있어서,상기 제 1 압전 선들은 상기 단결정 물질을 포함하고, 상기 단결정 물질은 납 마그네슘 니오브산염-납 티탄산염, 납 마그네슘 니오브산염-티탄산 지르코산 납, 납 인듐 니오브산염-납 티탄산염 또는 납 지르코산 티탄산염-납 티탄산염을 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치
|
| 8 |
8
제 1항에 있어서,상기 제 2 압전 선들은 압전 폴리머 물질을 포함하되, 상기 압전 폴리머 물질은 폴리비닐리덴 디플루오라이드 폴리머계 압전 물질 또는 폴리비닐리덴 디플루오라이드-트리플루오로에틸렌 폴리머계 압전 물질을 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치
|
| 9 |
9
제 1항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 압전 선들 각각은 상기 일 방향을 가로지르는 타 방향으로 사각형 단면을 갖는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치
|
| 10 |
10
제 1 유연 전극 기판 상에 일 방향으로 이격된 복수의 제 1 압전 선들 및 상기 제 1 압전 선들 사이의 공간들을 채우는 복수의 제 2 압전 선들로 구성된 압전층을 형성하는 단계; 및상기 압전층 상에 제 2 유연 전극 기판을 형성하는 단계를 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치의 제조 방법
|
| 11 |
11
제 10항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 유연 전극 기판들은 도전성 물질을 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치의 제조 방법
|
| 12 |
12
제 10항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 유연 전극 기판들 각각은:절연성 폴리머층; 및상기 압전층과 인접하는 상기 절연성 폴리머층의 일면 상에 배치된 전극 패턴을 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치의 제조 방법
|
| 13 |
13
제 12항에 있어서,상기 전극 패턴은 빗살 전극 구조를 갖는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치의 제조 방법
|
| 14 |
14
제 10항에 있어서,상기 압전층을 형성하는 단계는:희생 기판 상에 제 1 압전층을 형성하는 단계;상기 제 1 압전층을 패터닝하여, 일 방향으로 서로 이격된 복수의 제 1 압전 선들을 형성하는 단계;상기 제 1 압전 선들 사이의 공간들을 채우는 제 2 압전 선들을 형성하는 단계; 및상기 희생 기판 상의 상기 압전층을 상기 제 1 유연 전극 기판 상으로 옮기는 단계를 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치의 제조 방법
|
| 15 |
15
제 14항에 있어서,상기 제 1 압전층은 압전 세라믹 물질 또는 단결정 물질로 형성되는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치의 제조 방법
|
| 16 |
16
제 15항에 있어서,상기 압전 세라믹 물질은 티탄산 지르코산 납을 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치의 제조 방법
|
| 17 |
17
제 15항에 있어서,상기 단결정 물질은 납 마그네슘 니오브산염-납 티탄산염, 납 마그네슘 니오브산염-티탄산 지르코산 납, 납 인듐 니오브산염-납 티탄산염 또는 납 지르코산 티탄산염-납 티탄산염을 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치의 제조 방법
|
| 18 |
18
제 14항에 있어서,상기 제 1 압전 선들은 상기 일 방향을 가로지르는 타 방향으로 사각형 단면을 갖도록 형성되는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치의 제조 방법
|
| 19 |
19
제 14항에 있어서,상기 제 2 압전 선들은 압전 폴리머 물질로 형성되되, 상기 압전 폴리머 물질은 폴리비닐리덴 디플루오라이드 또는 폴리비닐리덴 디플루오라이드-트리플루오로에틸렌을 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치의 제조 방법
|
| 20 |
20
제 1 유연 전극 기판;상기 제 1 유연 전극 기판 상에 배치되되, 서로 이격되어 일정하게 배열된 복수의 제 1 압전 섬들 및 상기 제 1 압전 섬들 사이의 공간들을 채우는 제 2 압전 망 패턴으로 구성된 압전층; 및상기 압전층 상에 배치된 제 2 유연 전극 기판을 포함하는 유연 압전 에너지 하베스팅 장치
|
