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제 1 기판 상에 전기방사법으로 나노급 또는 마이크로급 선을 형성하는 단계;
상기 나노급 또는 마이크로급 선이 형성된 상기 제 1 기판에 제 2 기판을 접합하는 단계; 및
상기 제 1 기판 상에 형성된 상기 나노급 또는 마이크로급 선을 상기 제 2 기판 상으로 표면 에너지 차이를 이용하여 전이하는 단계를 포함하고,
상기 나노급 또는 마이크로급 선의 형성 물질은 폴리올레핀계 고분자, 방향족계 고분자, 클로라이드계 고분자, 불소계 고분자 및 실리콘계 고분자 및 폴리부타디엔으로부터 선택된 소수성 고분자인
패턴 형성 방법
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2
제 1항에 있어서,
상기 제 1 기판은 전도성 기판이며, 제 2 기판은 절연성 기판인 패턴 형성 방법
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3 |
3
제 1항에 있어서,
상기 전기방사법으로는 전기방사법, 노즐과 기판 사이의 거리가 수 mm로 근접한 근접장 전기방사법 또는 전기분무법을 이용하는 패턴 형성 방법
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4 |
4
제 1항에 있어서,
제 1 기판 및 제 2 기판의 표면은 표면 에너지 차이가 발생되도록 표면처리되는 것인 패턴 형성 방법
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5 |
5
제 4항에 있어서,
상기 나노급 또는 마이크로급 선이 소수성인 경우, 제 1 기판의 표면은 친수성 처리되고 제 2 기판의 표면은 소수성 처리되는 것인 패턴 형성 방법
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6 |
6
제 4항에 있어서,
상기 나노급 또는 마이크로급 선이 친수성인 경우, 제 1 기판의 표면은 소수성 처리되고 제 2 기판의 표면은 친수성 처리되는 것인 패턴 형성 방법
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7 |
7
제 4항에 있어서,
상기 표면 처리는 산소, 질소, 물, 아르곤 또는 암모니아를 이용한 플라즈마 처리, 오존과 자외선 처리 또는 자기조립 단분자막을 형성하는 것인 패턴 형성 방법
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삭제
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제 1 기판 상에 전기방사법으로 나노급 또는 마이크로급 선을 형성하는 단계;
상기 나노급 또는 마이크로급 선이 형성된 상기 제 1 기판에 제 2 기판을 접합하는 단계; 및
상기 제 1 기판 상에 형성된 상기 나노급 또는 마이크로급 선을 상기 제 2 기판 상으로 표면 에너지 차이를 이용하여 전이하는 단계를 포함하고,
상기 나노급 또는 마이크로급 선의 형성 물질은 폴리비닐알콜, 폴리비닐페놀 및 PEDOT로부터 선택된 친수성 고분자인
패턴 형성 방법
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