맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

다층 배선 연결 구조 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015085475
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 생산성을 향상시킬 수 있는 다층 배선 연결 구조 및 그의 제조 방법을 개시한다. 본 발명의 다층 배선 연결 구조는 기판과, 상기 기판 상에 형성된 제 1 배선과, 상기 제 1 배선 상에 형성된 층간 절연막과, 상기 층간 절연막 상에 형성된 제 2 배선과, 상기 제 2 배선 및 상기 제 1 배선 사이의 상기 층간 절연막을 관통하여 상기 제 1 배선 및 상기 제 2 배선에 전기적으로 연결하는 적어도 하나의 전도성 필라멘트를 구비한 비어 콘택을 포함할 수 있다.비어(Via), 콘택(contact), 배선(line), 층간 절연막, 전도성(contact)
Int. CL H01L 21/60 (2006.01) H01L 23/48 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090101136 (2009.10.23)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-1243837-0000 (2013.03.08)
공개번호/일자 10-2011-0044454 (2011.04.29) 문서열기
공고번호/일자 (20130320) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.10.23)
심사청구항수 20

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 양용석 대한민국 대전광역시 유성구
2 유인규 대한민국 대전광역시 유성구
3 구재본 대한민국 대전광역시 유성구
4 노용영 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0650156-40
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0660542-80
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.12.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1001185-36
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.12.03 수리 (Accepted) 1-1-2012-1001186-82
5 등록결정서
Decision to grant		 2013.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0154994-57
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 형성된 제 1 배선;상기 제 1 배선 상에 형성된 층간 절연막;상기 층간 절연막 상에 형성된 제 2 배선; 및상기 제 2 배선과 상기 제 1 배선 사이의 상기 층간 절연막을 관통하여 상기 제 1 배선 및 상기 제 2 배선에 전기적으로 연결하는 적어도 하나의 전도성 필라멘트를 구비한 비어 콘택을 포함하는 다층 배선 연결 구조
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 전도성 필라멘트는 서브 마이크로 내지 나노 크기의 금속 화합물의 입자들이 서로 연결되는 전도성 금속 화합물 체인을 포함하는 다층 배선 연결 구조
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 비어 콘택은 상기 제 2 배선과 상기 전도성 필라멘트 사이에서 상기 금속화합물로 형성된 탑 전극을 더 포함하는 다층 배선 연결 구조
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 금속 화합물은 은(Ag)을 포함하는 다층 금속 연결 구조
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 층간 절연막은 유기 화합물을 포함하는 다층 배선 연결 구조
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 층간 절연막은 폴리메틸 메타크릴레이트, 폴리비닐 피롤리던, 폴리비닐 알코올 중 적어도 하나를 포함하는 다층 배선 연결 구조
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 기판은 글래스 또는 플렉스블 인쇄회로기판을 포함하는 다층 배선 연결 구조
8 8
기판 상에 제 1 배선을 형성하는 단계;상기 제 1 배선이 형성된 상기 기판의 상에 층간 절연막을 형성하는 단계;상기 제 1 배선 상부의 상기 층간 절연막 상에 전도성 잉크를 도포하여 상기 층간 절연막을 관통하는 비어 콘택을 형성하는 단계; 및상기 비어 콘택의 상부에 제 2 배선을 형성하는 단계를 포함하는 다층 배선 제조방법
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 전도성 잉크는 잉크젯 프린팅으로 형성하는 것을 특징으로 하는 다층 배선 제조방법
10 10
제 8 항에 있어서, 상기 전도성 잉크는 은을 포함하는 다층 배선 제조방법
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 은(Ag)은 산소, 황, 할로겐, 시아노, 시아네이트, 카보네이트, 니트레이트, 나이트라이트, 설페이트, 포스페이트, 티오시아네이트, 클로레이트, 퍼클로레이트, 테트라플로로보레이트, 아세틸아세토네이트, 카복실레이트 중 적어도 어느 하나에 화학 결합된 것을 특징으로 하는 다층 배선 제조방법
12 12
제 8 항에 있어서, 상기 전도성 잉크는 금속 화합물을 포함하는 다층 배선 제조방법
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 전도성 잉크는 산화 은, 티오시아네이트화 은, 시안화 은, 시아네이트화 은, 탄산 은, 질산 은, 아질산 은, 황산 은, 인산 은, 과염소산화 은, 사불소보레이트화 은, 아세틸아세토네이트화 은, 초산 은, 젖산 은, 옥살산 은 및 그 유도체에서 선택되는 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 포함하는 다층 배선 제조방법
14 14
제 13 항에 있어서, 상기 전도성 잉크는 상기 혼합물을 용해시키는 유기 용제를 포함하는 다층 배선 제조방법
15 15
제 14 항에 있어서, 상기 유기 용제는 Methanol, Acetaldehyde, Acetic acid, Acetone, Amyl acetate, Amyl alcohol, Aniline, Benzaldehyde, Benzene, Butanol, Carbon disulphide, Carbon tetrachloride, Chlorine(liquid), Chlorobenzene, Cyclohexanol, Cyclohexanone, Diethylether, Dioxane, Ethanol, Ethyl acetate, Methyl ethyl ketone, Methyl isobutyl ketone, Nitrobenzene, Phenol, Toluene, Trichloroethylene, Xylene 중 적어도 어느 하나를 포함하는 다층 배선 제조방법
16 16
제 8 항에 있어서, 상기 전도성 잉크는 상기 층간 절연막의 내부에 침투되어 상기 비어 콘택의 전도성 필라멘트를 형성하는 것을 특징으로 하는 다층 배선 제조방법
17 17
제 8 항에 있어서, 상기 전도성 잉크는 상기 층간 절연막의 상부에서 석출 또는 침전되는 탑 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 다층 배선 제조방법
18 18
제 8 항에 있어서,상기 비어 콘택 형성 단계는, 상기 전도성 잉크 및 상기 층간 절연막 중 적어도 하나를 열처리하는 것을 포함하는 다층 배선 제조 방법
19 19
제 18 항에 있어서, 상기 전도성 잉크 또는 상기 층간 절연막은 120도씨 이상으로 열처리되는 것을 특징으로 하는 다층 배선 제조 방법
20 20
제 16 항에 있어서, 상기 전도성 잉크 또는 상기 층간 절연막은 5분이상 가열되는 것을 특징으로 하는 다층 배선 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02339624 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP02339624 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 EP02339624 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
4 US08516689 US 미국 FAMILY
5 US09184063 US 미국 FAMILY
6 US20110094774 US 미국 FAMILY
7 US20130292160 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP2339624 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2339624 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 EP2339624 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 US2011094774 US 미국 DOCDBFAMILY
5 US2013292160 US 미국 DOCDBFAMILY
6 US8516689 US 미국 DOCDBFAMILY
7 US9184063 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.