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기판 상에 배치된 입력 도파로 및 출력 도파로;상기 입출력 도파로들 사이에 병렬로 연결된 제 1 브랜치 도파로 및 제 2 브랜치 도파로; 및상기 제 1 브랜치 도파로 및 상기 제 2 브랜치 도파로를 연결하는 연결 영역을 포함하되,상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로들 각각은 제 1 도펀트로 도핑된 제 1 도핑된 영역들과, 상기 제 1 도펀트와 서로 다른 도전성을 갖는 제 2 도펀트로 도핑된 제 2 도핑된 영역들을 포함하고, 상기 연결 영역은 상기 제 1 도펀트로 도핑되고, 상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로들의 상기 제 1 도핑된 영역들 사이에 배치된 마하-젠더 광 변조기
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제 1 항 에 있어서,상기 기판 상의 전면에 배치된 슬랩과, 상기 슬랩으로부터 돌출되는 립을 더 포함하되, 상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로들은 상기 슬랩과 상기 립에 제공되고, 상기 연결 영역은 상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로들 사이의 상기 슬랩에 제공되는 마하-젠더 광 변조기
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제 2 항 에 있어서,상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로들 사이의 상기 연결 영역 상에 형성된 공통 전극을 더 포함하는 마하-젠더 광 변조기
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제 3 항 에 있어서,상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로들 각각의 상기 제 2 도핑된 영역들에 전기적으로 연결된 제 1 및 제 2 전극들을 더 포함하는 마하-젠더 광 변조기
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제 4 항에 있어서,상기 제 1 브랜치 도파로는 상기 제 1 및 제 2 도핑된 영역들의 경계면에 대응되는 제 1 접합을 포함하고, 상기 제 2 브랜치 도파로는 상기 제 1 및 제 2 도핑된 영역의 경계면에 대응되는 제 2 접합을 포함하는 마하-젠더 광 변조기
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제 5 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 접합들은 상기 기판에 비 평행한 마하-젠더 광 변조기
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제 6 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 접합들은 상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로들 각각의 상기 슬랩과 상기 립 내에 제공된 마하-젠더 광 변조기
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8
제 7 항에 있어서,상기 제 2 도핑된 영역들은 상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로들의 상기 연결 영역에 대향되는 측의 상기 슬랩으로 확장되는 마하-젠더 광 변조기
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9
제 8 항에 있어서상기 제 1 및 제 2 전극들은 상기 제 2 도핑된 영역들 상에 배치되는 마하-젠더 광 변조기
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10
제 5 항에 있어서상기 제 1 및 제 2 접합들은 상기 기판에 평행한 마하-젠더 광 변조기
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11
제 10 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 접합들은 상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로들 각각의 상기 립 내에 배치되는 마하-젠더 광 변조기
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12
제 11 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 전극들은 상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로들의 상기 립 상에 각각 제공된 마하-젠더 광 변조기
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13
제 2 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로들 중 어느 하나에 배치된 정적 위상 천이기를 더 포함하는 마하-젠더 광 변조기
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14
제 13 항에 있어서,상기 정적 위상 천이기는 상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로들 중 어느 하나에 교차되는 진성 반도체부와, 상기 진성 반도체부 양측에 배치된 제 1 및 제 2 반도체부들을 포함하는 마하-젠더 광 변조기
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15
제 14 항에 있어서,상기 진성 반도체부는 상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로들 중 어느 하나의 상기 립과, 상기 립 하부의 상기 슬랩을 포함하는 마하-젠더 광 변조기
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16
제 15 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 반도체부들은 상기 제 1 및 제 2 브랜치 도파로 들 중 어느 하나에 인접하는 상기 슬랩에 배치되는 마하-젠더 광 변조기
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17
제 16 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 반도체부들 중 어느 하나는 상기 제 1 도펀트로 도핑되고, 상기 제 1 및 제 2 반도체부들 중의 나머지 하나는 상기 제 1 도펀트와 서로 다른 도전성을 갖는 상기 제 2 도펀트로 도핑된 마하-젠더 광 변조기
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