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신호선들과 접지선들을 각각 연결하기 위한 와이어 본딩 방법에 있어서, 상기 신호선들을 제 1 와이어로 연결하고,상기 접지선들을 제 2 와이어로 연결하되, 상기 제 1 와이어와 상기 제 2 와이어가 교차되도록 하는 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 신호선 및 접지선은 금속패턴으로 형성된 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 신호선 및 접지선은 동축 케이블의 신호선 및 접지선인 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 와이어는 리본 와이어인 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 와이어는 상기 제 2 와이어의 인덕턴스와 상기 제 1 및 제 2 와이어가 교차되는 부분의 캐패시턴스에 의해 대역통과필터가 구성되도록 교차되는 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 캐패시턴스를 조절하기 위해 상기 제 1 및 제 2 와이어가 교차되는 부분에 유전체를 삽입하는 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 대역통과필터는 로우패스필터인 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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신호선 및 접지선이 형성된 기판에 신호선 패드 및 접지선 패드를 구비하는 소자가 실장된 상태에서 상기 신호선과 상기 신호선 패드를 제 1 와이어로 연결하는 단계,전체 상부면에 절연막을 형성한 후 상기 접지선 패드, 상기 접지선 및 상기 와이어의 소정 부분이 노출되도록 상기 절연막을 패터닝하는 단계,상기 와이어의 노출된 부분에 유전체막을 형성하는 단계,전체 상부면에 희생층을 형성한 후 상기 접지선 패드와 상기 접지선을 연결하되, 상기 제 1 와이어와 교차되는 제 2 와이어가 형성될 부분이 노출되도록 상기 희생층을 패터닝하는 단계,전체 상부면에 금속을 증착하고, 상기 희생층을 제거하여 상기 접지선 패드와 상기 접지선을 연결하는 제 2 와이어가 형성되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 제 1 와이어는 열 압착 방식으로 연결하는 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 절연막은 폴리이미드 및 FR-4 에폭시 중 하나인 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 유전체막은 실리콘 나이트라이드 및 실리콘옥사이드 중 하나인 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 유전체막을 형성한 후 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 희생층은 폴리머인 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 희생층은 리프트 오프 방법으로 제거하는 것을 특징으로 하는 초고주파 통신회로에서의 와이어 본딩 방법
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