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유기 박막층, 유기 박막층의 형성 방법 및 유기 박막 트랜지스터

  • 기술번호 : KST2015089619
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 유기 박막층의 형성 방법이 제공된다. 본 발명에 따른 유기 박막층의 형성 방법은 기판상에 제1 유기물을 포함하는 제1 막을 형성하는 것, 제1 막에 패턴 몰드를 이용하여 제1 임프린트 공정을 수행하는 것, 상기 제1 임프린트 공정이 수행된 제1 막상에 제2 유기물을 포함하는 제2 막을 형성하는 것 및 상기 제2 막에 블랭크 몰드를 이용하여 제2 임프린트 공정을 수행하는 것을 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 51/40 (2006.01) H01L 51/05 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020110122816 (2011.11.23)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0057072 (2013.05.31) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정예슬 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 백규하 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0927929-04
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-0036857-09
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1
기판상에 제1 유기물을 포함하는 제1 막을 형성하는 것;상기 제1 막에 패턴 몰드를 이용하여 제1 임프린트 공정을 수행하는 것;상기 제1 임프린트 공정이 수행된 제1 막상에 제2 유기물을 포함하는 제2 막을 형성하는 것; 및상기 제2 막에 블랭크 몰드를 이용하여 제2 임프린트 공정을 수행하는 것을 포함하는 유기 박막층의 형성 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 임프린트 공정을 수행하는 것은,상기 패턴 몰드로 상기 제1막을 가압하여 상기 제1 막내에 리세스 영역들을 형성하는 것; 및상기 리세스 영역이 형성된 상기 제1 막을 경화시키는 것을 포함하는 유기 박막층의 형성 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 제2 막은 상기 리세스 영역들을 채우도록 형성되는 유기 박막층의 형성 방법
4 4
제2항에 있어서,상기 패턴 몰드는 상기 패턴 몰드의 일면으로부터 돌출된 복수의 패턴부들을 포함하고, 상기 패턴부들의 각각의 높이는 상기 리세스 영역들의 각각의 높이와 동일한 유기 박막층의 형성 방법
5 5
제2항에 있어서, 상기 제1 막을 경화시키는 것은,상기 제1 막에 자외선을 조사하는 것 또는 상기 제1막을 열처리하는 것을 포함하는 유기 박막층의 형성 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 제1 유기물 및 상기 제2 유기물은 동일한 유기 박막층의 형성 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 제2 임프린트 공정을 수행하는 것은,상기 블랭크 몰드로 상기 제2막을 가압하여 상기 제2막의 표면을 평탄화시키는 것; 및상기 평탄화된 제2막을 경화시키는 것을 포함하는 유기 박막층의 형성 방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 제2 막을 경화시키는 것은,상기 제2 막에 자외선을 조사하는 것 또는 상기 제2막을 열처리하는 것을 포함하는 유기 박막층의 형성 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 제1막 및 상기 제2막은 경화 개시제를 더 포함하는 유기 박막층의 형성 방법
10 10
서로 이격된 복수의 리세스 영역들을 포함하는 제1막; 및상기 제1막 상에 상기 리세스 영역들을 각각 채우는 복수의 돌출부들을 포함하는 제2막 포함하되,상기 제1막의 상기 각 리세스 영역의 높이는 상기 제2막의 상기 각 돌출부의 높이와 동일하고,상기 제1 막 및 상기 제2막은 동일한 유기물을 포함하는 유기 박막층
11 11
제10항에 있어서,상기 제2막은 상기 돌출부들이 배열된 제1면 및 상기 제1면에 대향되는 제2면을 갖고,상기 제2막의 상기 제2면은 평편한 면인 유기 박막층
12 12
제10항에 있어서,상기 제2막의 상기 돌출부들의 표면들은 상기 제1막의 상기 리세스 영역들의 내면들과 접촉하는 유기 박막층
13 13
기판상에 배치되는 게이트 전극;상기 기판상에 게이트 전극을 덮는 유기 절연층;상기 유기 절연층상에 배치되는 유기 활성층; 및상기 유기 활성층 상에 배치되고 서로 이격된 제1 전극 및 제2 전극을 포함하되,상기 유기 절연층은 서로 이격된 복수의 리세스 영역들을 포함하는 제1 절연층 및 상기 제1 절연층상에 상기 리세스 영역들을 각각 채우는 복수의 돌출부들을 포함하는 제2 절연층을 포함하고,상기 제1 절연층의 상기 각 리세스 영역의 높이는 상기 제2 절연층의 상기 각 돌출부의 높이와 동일하고,상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층은 동일한 유기 절연물을 포함하는 유기 박막 트랜지스터
14 14
제13항에 있어서,상기 유기 활성층과 접촉되는 상기 제2 절연층의 일면은 평편한 면인 유기 박막 트랜지스터
15 15
제13항에 있어서,상기 유기 활성층은 서로 이격된 복수의 리세스 영역들을 포함하는 제1 반도체층 및 상기 제1 반도체층상에 상기 리세스 영역들을 각각 채우는 복수의 돌출부들을 포함하는 제2 반도체층을 포함하고,상기 제1 반도체층의 상기 각 리세스 영역의 높이는 상기 제2 반도체층의 상기 각 돌출부의 높이와 동일하고,상기 제1 반도체층 및 상기 제2 반도체층은 동일한 유기 반도체 물질을 포함하는 유기 박막 트랜지스터
16 16
제15항에 있어서,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 접촉되는 상기 유기 활성층의 일면은 평편한 면인 유기 박막 트랜지스터
지정국 정보가 없습니다
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1 US20130126838 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 US2013126838 US 미국 DOCDBFAMILY
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