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지지 기판;지지대들에 의해 상기 지지 기판의 상부면과 이격된 반도체층; 및상기 반도체층의 상부면에 형성되며, 유체 내에서 자가 추진력을 갖는 복수 개의 나노 금속 막대들을 포함하는 나노 모터 어레이를 포함하는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 나노 금속 막대는 서로 다른 종류의 금속이 접합된 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 나노 금속 막대는 Pt-Au 금속쌍 또는 Ni-Au 금속쌍인 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 나노 금속 막대들은 과산화수소 용액 내에서 일방향으로 이동하는 자가 추진력을 갖는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 나노 금속 막대들은 상기 나노 모터 어레이가 상기 유체 내에 제공될 때, 상기 반도체층에 응력을 제공하는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 반도체층은 상기 나노 금속 막대들의 자가 추진력에 따라 전기전도도가 변화하는 반도체 물질로 이루어진 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 반도체층은 1 nm 내지 100 nm의 두께를 갖는 바이오 센서
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은 나노입자로 표지된 타겟 분자들과 특이 결합하는 프로브 분자들이 고정화된 바이오 물질 반응부;유체 내에서 자가추진력을 갖는 복수 개의 나노 금속 막대들을 포함하는 나노 모터 어레이를 포함하는 바이오 물질 검출부; 및 상기 바이오 물질 반응부 및 상기 바이오 물질 검출부로 유체를 공급하는 유체 통로를 포함하는 바이오 물질 검출 장치
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제 8 항에 있어서,상기 바이오 물질 검출부는 상기 나노 모터 어레이가 상기 유체 내에 제공되기 전후에 상기 반도체층의 전기전도도 변화를 검출하는 바이오 물질 검출 장치
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제 8 항에 있어서, 상기 바이오 물질 검출부에서, 상기 나노 금속 막대들의 자가추진력은 상기 은 나노입자에서 상기 유체에 용해된 은 이온의 농도에 따라 변화되는 바이오 물질 검출 장치
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제 8 항에 있어서,상기 바이오 물질 검출부는 지지 기판, 및 지지대들에 의해 상기 지지 기판의 상부면과 이격된 반도체층을 더 포함하되, 상기 나노 금속 막대들은 상기 반도체층의 상부면에 형성된 바이오 물질 검출 장치
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제 11 항에 있어서,상기 나노 금속 막대들은 상기 바이오 물질 검출부의 상기 나노 모터 어레이가 상기 유체 내에 제공될 때, 상기 반도체층에 응력을 제공하는 바이오 물질 검출 장치
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제 11 항에 있어서,상기 반도체층은 상기 나노 금속 막대들의 자가 추진력에 따라 전기전도도가 변화하는 반도체 물질로 이루어진 바이오 물질 검출 장치
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제 11 항에 있어서, 상기 나노 금속 막대들은 과산화수소 용액 내에서 일방향으로 이동하는 Pt-Au 금속쌍 또는 Ni-Au 금속쌍인 바이오 물질 검출 장치
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15
바이오 물질 반응부; 및 반도체층 상에 형성되며, 유체 내에서 자가추진력을 갖는 복수 개의 나노 금속 막대들을 포함하는 나노 모터 어레이를 포함하는 바이오 물질 검출부를 포함하는 바이오 물질 검출 장치를 이용한 바이오 물질 검출 방법에 있어서, 상기 나노 모터 어레이에 의해 상기 반도체층에 가해지는 응력 변화에 따른 상기 반도체층의 제 1 전기 전도도를 측정하는 단계;상기 바이오 물질 반응부에 은 나노입자로 표지된 타겟 분자들을 고정화하는 단계;상기 타겟 분자들을 고정화한 후에, 상기 바이오 물질 반응부 및 상기 바이오 물질 검출부로 유체를 공급하는 단계; 및 상기 유체가 공급되는 동안, 상기 나노 모터 어레이에 의해 상기 반도체층에 가해지는 응력 변화에 따른 상기 반도체층의 제 2 전기 전도도를 측정하는 단계를 포함하는 바이오 물질 검출 방법
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제 15 항에 있어서,상기 제 1 전기 전도도와 상기 제 2 전기 전도도 차이로부터 상기 타겟 분자의 농도를 검출하는 것을 더 포함하는 바이오 물질 검출 방법
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제 15 항에 있어서,상기 타겟 분자의 농도를 검출하는 것은, 상기 은 나노입자에서 상기 유체에 용해된 은 이온 농도를 검출하는 것인 바이오 물질 검출 방법
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제 15 항에 있어서,상기 나노 금속 막대들은 Pt-Au 금속쌍 또는 Ni-Au 금속쌍이고, 상기 유체를 공급하는 것은, 과산화수소 용액을 공급하는 것인 바이오 물질 검출 방법
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제 15 항에 있어서,상기 유체를 공급하는 것은, 과산화수소 용액을 공급하는 것인 바이오 물질 검출 방법
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제 15 항에 있어서,상기 은 나노입자로 표지된 타겟 분자들을 고정화하는 단계는,상기 바이오 물질 반응부에 상기 타겟 분자들과 특이 결합하는 제 1 프로브 분자들이 고정된 기판을 제공하는 단계;상기 바이오 물질 반응부로 상기 타겟 분자들을 제공하여 상기 제 1 프로브 분자들과 특이 결합시키는 단계; 및상기 바이오 물질 반응부로 상기 은 나노입자의 표면에 고정된 제 2 프로브 분자들을 제공하여 상기 타겟 분자들과 특이 결합시키는 단계를 포함하는 바이오 물질 검출 방법
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