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금속 산화물 예비 조성물 용액을 제조하는 단계;상기 금속 산화물 예비 조성물 용액과 염기성 화학종 용액을 혼합하여 혼합용액을 제조하는 단계;상기 혼합용액에 초음파를 인가하여 반응물을 제조하는 단계; 및상기 반응물의 용매를 제거하는 단계를 포함하는 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 금속 산화물 예비 조성물 용액에 기체를 주입하는 단계를 더 포함하는 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 2항에 있어서,상기 기체는 산소, 질소, 아르곤 또는 수증기인 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 금속 산화물 예비 조성물 용액은 금속 아세테이트, 금속 알코올사이드, 금속 니트레이트, 금속 할라이드, 이들의 수화물 또는 이들의 배합물을 포함하는 알코올계 용액인 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 4항에 있어서, 상기 금속 아세테이트, 금속 알코올사이드, 금속 니트레이트, 금속 할라이드, 이들의 수화물 또는 이들의 배합물은 0
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제 1항에 있어서,상기 염기성 화학종 용액은 염기성 화학종과 알코올계 용액의 혼합물인 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 6항에 있어서,상기 염기성 화학종은 LiOH, NaOH, KOH, NH4OH, Na2O2, 이들의 수화물 또는 이들의 배합물인 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 초음파는 30 내지 100㎑의 진동수를 가지는 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 초음파는 600 내지 3,000W의 출력을 가지는 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 용매를 제거하는 단계는 원심분리법을 사용하는 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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