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나노홀 어레이 구조체 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015092057
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노홀 어레이 구조체 및 그 제조방법이 개시된다. 나노홀 어레이 구조체는 베이스층 상에 제1홀어레이를 가지는 제1금속층을 형성한 후 그 표면에 제2홀어레이를 가지는 제2금속층을 표면 화학 반응을 통해 성장시킨다. 이러한 제2금속층에 형성된 제2홀어레이가 최종적으로 얻어지는 제2홀어레이가 되며, 이는 제1홀어레이의 각 홀 보다 작은 사이즈의 홀들로 이루어진다. 제2홀어레이의 각 홀들은 반응 조건에 따라서 조절될 수 있다. 이와 같이 표면 화학 반응을 이용할 경우, 제2홀어레이의 각 홀의 크기와 제2홀어레이를 형성하는 금속층의 표면 거칠기, 표면을 형성하는 입자들의 크기 등이 화학 반응 조건에 따라 조절될 수 있어 용도에 적합한 나노홀 어레이 구조를 용이하게 제조할 수 있다. 또한 저비용으로 재현성 높은 나노홀 어레이 구조체를 제조할 수 있다.
Int. CL B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B82B 1/008(2013.01) B82B 1/008(2013.01) B82B 1/008(2013.01)
출원번호/일자 1020130128788 (2013.10.28)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0048561 (2015.05.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박형주 대한민국 경기도 수원시 팔달구
2 표현봉 대한민국 대전광역시 유성구
3 박정원 대한민국 대전광역시 유성구
4 정문연 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0977101-03
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1
나노홀 어레이 구조체로서:베이스층;상기 베이스층 상에 형성되고 다수개의 홀로 이루어진 제1홀어레이를 가지는 제1금속층; 및상기 제1금속층 상에 배치된 제2금속층;을 포함하고,상기 제2금속층은 상기 제1홀어레이의 각 홀의 표면을 포함하는 상기 제1금속층의 표면에서 성장되어 상기 제1홀어레이의 각 홀로부터 크기가 작아진 홀들로 이루어진 제2홀어레이를 가지게 된 것인,나노홀 어레이 구조체
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국전자통신연구원 산업원천기술개발사업(ETRI연구개발지원사업) 종양치료용 레이저 이온 가속 시스템 원천기술 개발