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신축성 소자 및 그의 제조방법
- 기술번호 : KST2015092437
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 신축성 소자 및 그의 제조방법을 개시한다. 그의 소자는, 제 1 방향으로 주름진 제 1 물결 면을 갖는 제 1 신축성 기판과, 상기 제 1 물결 면을 따라 상기 제 1 방향으로 연장하는 제 1 배선들과, 상기 제 1 물결 면에 대향되어 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 주름진 제 2 물결 면을 갖고, 상기 제 1 신축성 기판 상에 배치된 제 2 신축성 기판과, 상기 제 2 물결 면을 따라 상기 제 2 방향으로 연장되는 제 2 배선들과, 상기 제 1 배선들과 상기 제 2 배선들의 교차 영역들에 배치되고, 상기 제 1 배선들과 상기 제 2 배선들 사이에 배치된 층간 절연 층들을 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | H05K 1/02 (2006.01) H05K 1/18 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020130154752 (2013.12.12) |
| 출원인 | 한국전자통신연구원 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2015-0069079 (2015.06.23) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 공개 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | N |
| 심사청구항수 | 20 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국전자통신연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 나복순 | 대한민국 | 대전 중구 |
| 2 | 정순원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 3 | 구재본 | 대한민국 | 대전 서구 |
| 4 | 박찬우 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 5 | 임상철 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 6 | 이상석 | 대한민국 | 세종 나리*로 **, *** |
| 7 | 조경익 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 8 | 추혜용 | 대한민국 | 대전 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인 고려 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 최종권리자 정보가 없습니다 | |||
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2013.12.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1139111-50 |
| 2 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2015.01.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0048858-70 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006137-44 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 제 1 방향으로 주름진(winkled) 제 1 물결 면(wavy surface)을 갖는 제 1 신축성 기판;상기 제 1 물결 면을 따라 상기 제 1 방향으로 연장하는 제 1 배선들;상기 제 1 물결 면에 대향되어 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 주름진 제 2 물결 면을 갖고, 상기 제 1 신축성 기판 상에 배치된 제 2 신축성 기판; 상기 제 2 물결 면을 따라 상기 제 2 방향으로 연장되는 제 2 배선들; 및상기 제 1 배선들과 상기 제 2 배선들의 교차 영역들에 배치되고, 상기 제 1 배선들과 상기 제 2 배선들 사이에 배치된 층간 절연 층들을 포함하는 신축성 소자 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서,상기 제 1 신축성 기판은 상기 제 1 물결 면이 형성된 제 1 주름 영역과, 상기 교차 영역들에 대응되는 제 1 소자 영역들을 포함하는 신축성 소자 |
| 3 |
3 제 2 항에 있어서,상기 제 1 소자 영역들 상의 상기 층간 절연 층과 상기 제 1 배선 사이에 배치된 전자 소자들을 더 포함하는 신축성 소자 |
| 4 |
4 제 3 항에 있어서,상기 전자 소자들은 반도체 소자들 또는 광원 소자를 포함하는 신축성 소자 |
| 5 |
5 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 소자 영역들의 상기 제 1 신축성 기판과 상기 제 1 배선들 사이에 형성된 하부 절연 층들을 더 포함하는 신축성 소자 |
| 6 |
6 제 5 항에 있어서,상기 하부 절연 층들은 상기 전자 소자들 및 상기 층간 절연 층을 둘러싸는 용기 모양을 갖는 신축성 소자 |
| 7 |
7 제 5 항에 있어서,상기 하부 절연 층들은 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막을 포함하는 신축성 소자 |
| 8 |
8 제 2 항에 있어서,상기 제 2 신축성 기판은 상기 제 2 물결 면이 형성된 제 2 주름 영역과, 상기 교차 영역들에 대응되는 제 2 소자 영역들을 포함하는 신축성 소자 |
| 9 |
9 제 8 항에 있어서,상기 제 2 소자 영역들은 배선 평탄 면을 포함하는 신축성 소자 |
| 10 |
10 제 8 항에 있어서,상기 제 1 소자 영역들과 상기 제 2 소자 영역들은 동일한 모양을 갖는 신축성 소자 |
| 11 |
11 제 1 항에 있어서,상기 제 2 배선들과 평행하고, 상기 제 2 물결 면들을 따라 상기 제 2 방향으로 연장하는 제 3 배선들을 더 포함하는 신축성 소자 |
| 12 |
12 제 1 항에 있어서,상기 제 1 배선들과 평행하고, 상기 제 1 물결 면들을 따라 상기 제 1 방향으로 연장하는 제 4 배선들을 더 포함하는 신축성 소자 |
| 13 |
13 제 1 항에 있어서,상기 제 1 신축성 기판과 상기 제 2 신축성 기판은 피디엠에스(PDMS)를 각각 포함하는 신축성 소자 |
| 14 |
14 제 1 신축성 기판의 제 1 주름 영역에 제 1 방향으로 주름진 제 1 물결 면과, 상기 제 1 물결 면을 따라 상기 제 1 방향으로 연장하는 제 1 배선들과, 상기 제 1 배선 들의 일부 상에 층간 절연 층을 형성하는 단계;상기 제 1 신축성 기판에 대향되는 제 2 기판의 하부 면에 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 주름진 제 2 물결 면과, 상기 제 2 물결 면을 따라 제 2 방향으로 연장하는 제 2 배선들을 형성하는 단계; 및상기 층간 절연 층의 상하에서 상기 제 1 배선들과 상기 제 2 배선들이 교차되도록 상기 제 1 신축성 기판과 상기 제 2 신축성 기판을 접합하는 단계를 포함하는 신축성 소자의 제조방법 |
| 15 |
15 제 14 항에 있어서,상기 제 1 물결 면, 상기 제 1 배선들, 및 상기 층간 절연 층들의 형성 단계는,상기 제 1 방향으로 주름진 제 1 물결 몰드 면과, 상기 제 1 물결 몰드 면에 섬 모양으로 형성된 제 1 평탄 몰드 면들을 갖는 제 1 몰드 기판을 준비하는 단계;상기 제 1 평탄 몰드 면들 상에 상기 층간 절연 층들을 형성하는 단계;상기 층간 절연 층들 및 상기 제 1 물결 몰드 면 상에 상기 제 1 방향으로 연장하는 상기 제 1 배선들을 형성하는 단계;상기 제 1 배선들, 상기 층간 절연 층, 및 상기 제 1 물결 몰드 면 상에 상기 제 1 기판을 형성하는 단계; 및상기 제 1 몰드 기판을 제거하는 단계를 포함하는 신축성 소자의 제조방법 |
| 16 |
16 제 15 항에 있어서,상기 제 1 평탄 몰드 면들과 상기 층간 절연 층들 사이에 제 1 희생 층을 형성하는 단계; 및 상기 제 1 몰드 기판의 제거 시에 상기 제 1 희생 층을 제거하는 단계를 더 포함하는 신축성 소자의 제조방법 |
| 17 |
17 제 15 항에 있어서,상기 제 1 배선들과 상기 층간 절연 층들 사이에 전자 소자들을 형성하는 단계를 더 포함하는 신축성 소자의 제조방법 |
| 18 |
18 제 15 항에 있어서,상기 제 1 배선들과 상기 제 1 기판 사이에 하부 절연 층을 형성하는 단계를 더 포함하는 신축성 소자의 제조방법 |
| 19 |
19 제 14 항에 있어서,상기 제 2 물결 면과 상기 제 2 배선들을 형성하는 단계는,상기 제 2 방향으로 주름진 제 2 물결 몰드 면과, 상기 제 2 물결 몰드 면들 에 섬 모양으로 형성된 제 2 평탄 몰드 면들을 갖는 제 2 몰드 기판을 준비하는 단계;상기 제 2 물결 몰드 면과 상기 제 2 평탄 몰드 면들 상에 제 2 방향으로 연장하는 제 2 배선들을 형성하는 단계;상기 제 2 배선들 및 상기 제 2 몰드 기판 상에 상기 제 2 신축성 기판을 형성하는 단계; 및상기 제 2 몰드 기판을 제거하는 단계를 포함하는 신축성 소자의 제조방법 |
| 20 |
20 제 19 항에 있어서,상기 제 2 몰드 기판의 준비 후에 상기 제 2 물결 몰드 면과 상기 제 2 평탄 몰드 면들 상에 제 2 희생 층을 형성하는 단계; 및상기 제 2 몰드 기판의 제거 시에 상기 제 2 희생 층을 제거하는 단계를 더 포함하는 신축성 소자의 제조방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US20150173186 | US | 미국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US2015173186 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 지식경제부 | 한국전자통신연구원 | 산업원천기술개발사업(ETRI연구개발지원사업) | 에너지 절감을 위한 7인치기준 2W급 환경적응 (Light Adaptable Space Adaptable；LASA) 디스플레이 신모드 핵심원천기술 개발 |
| 등록사항 정보가 없습니다 |
|---|
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2013.12.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1139111-50 |
| 2 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2015.01.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0048858-70 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006137-44 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1711006348 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 10041416 |
| 연구과제명 | 에너지 절감을 위한 7인치기준 2W급 환경적응 (Light Adaptable Space Adaptable ; LASA) 디스플레이 신모드 핵심원천기술 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2013 |
| 연구기간 | 201203~201702 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
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