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투명기판 상에 제 1 접착층, 전도성 박막, 제 2 접착층 및 투명박막이 순차적으로 적층된 센서부가 형성되며, 상부에 측정 시료가 위치되는 센서 칩과, 상기 센서 칩의 하부에 부착되며, 상기 전도성 박막 표면의 플라즈몬과 공명을 일으키게 하는 프리즘과, 상기 프리즘을 통해 상기 센서 칩으로 광을 제공하는 광원과, 상기 센서 칩에 반사된 광을 감지하는 수광부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 접착층은 크롬(Cr) 및 티타늄(Ti) 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 전도성 박막은 금(Au), 은(Ag), 동(Cu), 알루미늄(Al) 및 반도체 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 투명박막은 SiO2 및 TiO2 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 센서부가 상기 기판 상에 다수개 형성된 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 프리즘은 삼각 형태 및 반원통 형태 중 어느 하나의 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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7 |
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제 1 항에 있어서, 상기 프리즘은 상기 기판과 동일한 굴절률을 갖는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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8
제 1 항에 있어서, 상기 프리즘의 굴절률은 1
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제 1 항에 있어서, 상기 광원은 단색광원 및 백색광원 중 어느 하나이며, 상기 광원은 TM -편광된 레이저, 발광 다이오드 및 TM-편광된 할로겐 램프 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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10
제 1 항에 있어서, 상기 수광부는 포토 다이오드, 광 증폭기, 카메라 촬상소자 및 감광용지 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 표면 플라즈몬 센서 칩과 상기 프리즘 사이에 광학적 특성을 갖는 매질이 채워진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제 11 항에 있어서, 상기 광학적 특성을 갖는 매질은 상기 기판 및 프리즘과 굴절률이 같은 인덱스 매칭 오일 및 투명 재질의 실리콘 고무 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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