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활성 층, 안테나, 및 전극패드들을 갖는 포토 믹서 칩;상기 포토 믹서 칩 상에 배치된 렌즈;상기 렌즈에 대향되는 상기 포토 믹서 칩의 아래에 배치되고, 상기 전극패드들에 연결되는 솔더 볼들을 포함한 회로 기판; 및상기 회로 기판의 하부 및 측면을 둘러싸고, 상기 포토 믹서 칩의 상기 전극패드로부터 상기 회로 기판까지 전달되는 상기 활성 층의 발열을 외부로 방출하는 패키지를 포함하되,상기 회로 기판은:상기 포토 믹서 칩과 상기 패키지 사이에 배치되는 기판 바디; 상기 기판 바디 내에 배치되고, 상기 솔더 볼들에 연결되는 비어 전극들 및 바이어스 전극;상기 비어 전극들에 연결되고, 상기 기판 바디와 상기 패키지 사이에 배치되어 상기 기판 바디의 일측으로 돌출되는 접지 플레이트;상기 솔더 볼들 사이의 상기 기판 바디와 상기 접지 플레이트를 개구하여 상기 활성 층을 상기 접지 플레이트의 아래로 노출시키는 제 1 중심 홀; 및상기 기판 바디로부터 돌출되는 상기 접지 플레이트의 가장자리를 개구하여 상기 접지 플레이트와 상기 바이어스 전극으로 연결되는 전원 인입선을 외부로부터 유입시키는 제 1 외곽 홀을 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 접지 플레이트는 상기 패키지에 상기 기판 바디의 바닥 및 측면으로 접속되는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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제 3 항에 있어서,상기 회로 기판과 상기 패키지를 접합 및 고정시키는 전도성 접착제를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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제 4 항에 있어서,상기 패키지는 상기 회로 기판의 바닥 및 측면을 둘러싸는 하부 패키지와, 상기 하부 패키지 상에서 상기 렌즈를 고정하는 상부 패키지를 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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제 5 항에 있어서,상기 하부 패키지는 그의 중앙에 형성된 제 2 중심 홀을 갖고 상기 제 2 중심 홀의 가장자리에 형성된 제 2 외곽 홀을 갖는 패키지 바디와, 상기 제 2 외곽 홀에 인접하여 부채꼴 모양으로 형성된 트렌치를 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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제 6 항에 있어서,상기 비어 전극들 및 접지 플레이트로부터 절연된 바이어 전극과, 상기 접지 플레이트에 각각 연결되고, 상기 제 1 및 제 2 외곽 홀들에 삽입되는 전원인입선을 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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제 5 항에 있어서,상기 상부 패키지는 상기 렌즈를 지지하는 지지 패키지와, 상기 지지 패키지 상에서 상기 렌즈의 측면을 덮는 커버 패키지를 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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제 8 항에 있어서,상기 상부 패키지는 상기 지지 패키지와 상기 커버 패키지를 연결하는 제 1 접합부를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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제 8 항에 있어서,상기 패키지는 상기 지지 패키지와 상기 하부 패키지를 연결하는 제 2 접합부를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 기판 바디는 알루미늄 나이트라이드를 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 포토믹서 칩의 상부 표면 또는 상기 렌즈의 바닥 표면에 형성되는 박막 필터와, 상기 렌즈의 상부 표면에 형성된 블랙 매트릭스 층 중 적어도 하나를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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복수개의 파장을 갖는 펄스 또는 연속파장 레이저 광을 전달하는 광섬유;상기 광섬유의 말단을 고정하는 광섬유 고정 모듈; 및상기 광섬유 고정 모듈에서 고정되는 상기 광섬유에서 제공되는 상기 펄스 또는 레이저 광으로부터 테라헤르츠파를 생성시키는 활성층, 안테나, 및 전극패드들을 구비한 포토 믹서 칩과, 상기 포토 믹서 칩 상에 배치된 렌즈와, 상기 렌즈에 대향되는 상기 포토 믹서 칩의 아래에 배치되고 상기 전극패드들에 연결되는 솔더 볼들을 포함한 회로 기판과, 상기 회로 기판의 하부 및 측면을 둘러싸고, 상기 포토 믹서 칩의 패드로부터 상기 회로 기판까지 전달되는 상기 활성 층의 발열을 외부로 방출하는 패키지를 구비한 테라헤르츠파 송수신 모듈을 포함하되,상기 회로 기판은:상기 포토 믹서 칩과 상기 패키지 사이에 배치되는 기판 바디; 상기 기판 바디 내에 배치되고, 상기 솔더 볼들에 연결되는 비어 전극들 및 바이어스 전극;상기 비어 전극들에 연결되고, 상기 기판 바디와 상기 패키지 사이에 배치되어 상기 기판 바디의 일측으로 돌출되는 접지 플레이트;상기 기판 바디와 상기 접지 플레이트를 개구하여 상기 활성 층을 상기 광 섬유에 노출시키고, 상기 펄스 또는 연속 파장 레이저 광을 상기 광섬유로터 상기 활성 층으로 제공하는 제 1 중심 홀; 및상기 기판 바디로부터 돌출되는 상기 접지 플레이트의 가장자리를 개구하여 상기 접지 플레이트와 상기 바이어스 전극으로 연결되는 전원 인입선을 외부로부터 유입시키는 제 1 외곽 홀을 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 장치
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제 13 항에 있어서,상기 광섬유 고정 모듈 내에서 상기 광섬유를 정렬하는 페룰과, 상기 페룰에 정렬된 광섬유에서 방출되는 상기 펄스 또는 연속파장 레이저 광을 상기 활성층에 집속하는 비구면 렌즈를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 장치
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제 14 항에 있어서,상기 페룰에 정렬된 상기 광섬유의 말단은 상기 광섬유 고정 모듈의 단면에 대해 8도의 경사면을 갖는 테라헤르츠파 송수신 장치
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제 14 항에 있어서,상기 광섬유 고정 모듈은 상기 페룰 및 상기 비구면 렌즈를 고정하는 제 1 내지 제 3 하우징들과, 상기 제 1 하우징에 연결되는 부트와, 상기 제 3 하우징을 상기 패키지에 고정하는 연결 링을 포함하는 테라헤르츠파 송수신 장치
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제 14 항에 있어서,상기 비구면 렌즈는 상기 패키지 또는 상기 활성 층의 수직 방향에 대해 5도의 경사각을 갖는 테라헤르츠파 송수신 장치
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