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기판; 및상기 기판에 접합되며, 접합면과 수평 방향으로 일측이 외부로 개방된 방사개구부를 갖는 혼 캐비티가 형성된 실리콘 안테나부를 포함하는 혼 안테나 장치
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제 1항에 있어서, 상기 실리콘 안테나부는 실리콘 기판에 형성된 상기 혼 캐비티의 식각면에 금속이 증착된 것을 특징으로 하는 혼 안테나 장치
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제 1항에 있어서, 상기 혼 캐비티는 상기 방사개구부의 반대 측으로 갈수록 상기 혼 캐비티의 단면적이 감소하도록 형성된 것을 특징으로 하는 혼 안테나 장치
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제 3항에 있어서, 상기 혼 캐비티의 단면이 등변사다리꼴 형태인 것을 특징으로 하는 혼 안테나 장치
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제 1항에 있어서, 상기 실리콘 기판은 벌크 실리콘인 것을 특징으로 하는 혼 안테나 장치
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제 5항에 있어서, 상기 혼 캐비티의 단면이 삼각형 형태인 것을 특징으로 하는 혼 안테나 장치
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제 1항에 있어서, 상기 실리콘 안테나부가 테라헤르츠 송수신 소자와 이종 결합되는 테라헤르츠 송신기용 플랫폼, 테라헤르츠 수신기용 플랫폼 및 테라헤르츠 트랜시버용 플랫폼 중 어느 하나로 구현되는 것을 특징으로 하는 혼 안테나 장치
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제 7항에 있어서, 상기 테라헤르츠 송수신 소자는 테라헤르츠 발생기, 듀플렉서 및 테라헤르츠 검출기 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 혼 안테나 장치
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제1 벌크 실리콘; 및상기 제1 벌크 실리콘에 접합되는 제2 벌크 실리콘을 포함하되,상기 제1 벌크 실리콘과 상기 제2 벌크 실리콘의 상호 접합면에 상기 상호 접합면과 수평 방향으로 일측이 외부로 개방된 방사개구부를 갖는 혼 캐비티가 형성된 것을 특징으로 하는 혼 안테나 장치
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10
제 7항에 있어서, 상기 혼 캐비티는 상기 방사개구부의 반대 측으로 갈수록 상기 혼 캐비티의 단면적이 감소하도록 형성된 것을 특징으로 하는 혼 안테나 장치
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제 7항에 있어서, 상기 혼 캐비티는 상기 접합면을 기준으로 대칭구조를 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 혼 안테나 장치
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12
제 7항에 있어서, 상기 방사개구면의 단면이 사각형 형태인 것을 특징으로 하는 혼 안테나 장치
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제 7항에 있어서, 상기 상호 접합면에 배치되어 신호를 급전하는 급전부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 혼 안테나 장치
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