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금속 산화막의 전류 스위칭을 이용한 정보 저장 장치

  • 기술번호 : KST2015098933
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 금속 산화막의 전류 스위칭을 이용한 정보 저장 장치를 제시한다. 본 발명에 따르면, 기판 형성된 하부 전극막, 금속 산화막을 포함하고, 하부 전극막에 대향되게 도입되어 나노미터(nanometer) 수준의 크기의 국부 영역 단위로 금속 산화막 상을 스캔(scan)하고, 금속 산화막의 국부 영역 별로 쓰기 전압을 인가하여 국부 영역의 저항값을 급격히 변화시켜 국부 영역의 저항값을 제1상태에서 제2상태로 스위칭(switching)시키거나, 저항값의 제1상태 또는 제2상태에 따라 다른 값으로 국부 영역을 통과하여 흐르는 전류값을 측정하여 저장된 정보를 읽는 뾰족한 팁(tip)을 가지는 탐침, 탐침의 금속 산화막에 대한 위치를 국부 영역 단위로 이동시키는 구동부, 및 제어부를 포함하는 정보 저장 장치를 제시한다. AFM, 피에조 스캐너, 금속 산화막, 전류 스위칭 효과, 탐침
Int. CL H01L 21/66 (2000.01)
CPC
출원번호/일자 1020050075659 (2005.08.18)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0734832-0000 (2007.06.27)
공개번호/일자 10-2006-0067806 (2006.06.20) 문서열기
공고번호/일자 (20070703) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020040106501   |   2004.12.15
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.08.18)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종혁 대한민국 대구 동구
2 이성재 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.08.18 수리 (Accepted) 1-1-2005-0453811-89
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.10.16 수리 (Accepted) 9-1-2006-0064740-10
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0619374-57
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.12.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0945043-16
6 의견서
Written Opinion		 2006.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0945042-71
7 등록결정서
Decision to grant		 2007.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0290597-94
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 형성된 하부 전극막;상기 하부 전극막 상에 형성된 금속 산화막;상기 금속 산화막 상에 형성되어 상기 금속 산화막의 열적 손상을 방지하는 도전성의 보호막;상기 하부 전극막에 대향되게 상기 금속 산화막 상에 도입되어 나노미터(nanometer) 수준의 크기의 국부 영역 단위로 상기 금속 산화막 상을 스캔하고 상기 금속 산화막의 상기 국부 영역 별로 쓰기 전압을 인가하여 상기 국부 영역의 저항값을 급격히 변화시켜 상기 국부 영역의 저항값을 제1상태에서 제2상태로 스위칭(switching)시키거나 상기 저항값의 제1상태 또는 제2상태에 따라 다른 값으로 상기 국부 영역을 통과하여 흐르는 전류값을 측정하여 저장된 정보를 읽는 뾰족한 팁을 가지는 탐침; 상기 탐침의 상기 금속 산화막에 대한 위치를 상기 국부 영역 단위로 이동시키는 구동부; 및 상기 탐침 및 상기 구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 금속 산화막은 티타늄 산화물(TiOx), 지르코늄 산화물(ZrOx), 이트륨 산화물(YOx), 탄탈륨 산화물(TaOx) 및 희토류 금속 산화물의 일군에서 선택되는 어느 하나의 금속 산화물의 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 탐침의 상기 금속 산화막에 대한 위치를 레이저(laser)를 이용하여 측정하는 위치 검출기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 구동부는 상기 기판을 적어도 나노미터 단위로 이동시키는 기판 구동부; 및상기 탐침을 구동하는 탐침 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 기판 구동부는 원자력 현미경(AFM)의 피에조 스캐너(piezo scanner)를 포함하고상기 탐침 구동부는 원자력 현미경(AFM)의 탐침을 포함하는 상기 탐침을 구동하는 원자력 현미경의 탐침 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 보호막은 얇은 금속막 또는 도전성의 다이아몬드 유사 카본막(diamond-like carbon layer)을 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치
7 7
기판 상에 형성된 하부 전극막, 상기 하부 전극막 상에 형성된 금속 산화막, 상기 하부 전극막에 대향되게 상기 금속 산화막 상에 도입되는 뾰족한 팁을 가지는 탐침, 상기 탐침의 상기 금속 산화막에 대한 위치를 상기 국부 영역 단위로 이동시키는 구동부, 및 상기 탐침 및 상기 구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 정보 저장 장치의 동작 방법에 있어서,상기 탐침을 나노미터(nanometer) 수준의 크기의 국부 영역 단위로 상기 금속 산화막 상을 스캔하고 상기 탐침 및 상기 하부 전극막에 상기 금속 산화막의 상기 국부 영역 별로 쓰기 전압을 인가하여 상기 국부 영역의 저항값을 급격히 변화시켜 상기 국부 영역의 저항값을 제1상태에서 제2상태로 스위칭(switching)시키는 쓰기 동작을 수행하는 단계; 및상기 탐침 및 상기 하부 전극막에 상기 쓰기 전압에 비해 작은 크기의 읽기 전압을 인가하고 상기 금속 산화막 상을 상기 탐침으로 스캔하여 상기 쓰기 동작에 의해 저항값의 제1상태 또는 제2상태로 스위칭된 상기 국부 영역을 통과하여 흐르는 전류값을 측정하여 상기 국부 영역에 저장된 정보를 읽는 읽기 동작을 수행하는 단계;를 포함하며,상기 금속 산화막 상에 상기 금속 산화막의 열적 손상을 방지하는 도전성의 보호막이 형성되는 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치 동작 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US07539119 US 미국 FAMILY
2 US20060153049 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2006153049 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US7539119 US 미국 DOCDBFAMILY
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