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개구부(cavity)와, 상기 개구부의 일측 외곽에 배치된 적어도 하나의 스톱 영역을 갖는 베이스;상기 개구부 및 상기 스톱 영역의 외곽을 따라 상기 베이스 상에 고정되는 프레임;상기 프레임에 연결되고, 상기 개구부 및 상기 스톱 영역 상으로 연장되는 진동 바디; 및상기 개구부 위의 상기 진동 바디 상에 배치되는 압전 소자를 포함하되,상기 진동 바디는:상기 개구부의 타측 외곽의 상기 프레임에서 상기 개구부의 상기 일측 외곽의 상기 스톱 영역 상부까지 제 1 방향으로 연장되는 복수개의 제 1 진동 빔들;상기 스톱 영역 상의 상기 제 1 진동 빔들의 제 1 팁들 사이에 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 연결되는 충격 빔; 및상기 충격 빔에 연결되고, 상기 제 1 진동 빔들 사이에 상기 제 1 방향으로 연장되는 제 2 진동 빔을 포함하되,상기 압전 소자는 상기 충격 빔과 상기 제 2 진동 빔 상에 배치되고, 상기 진동 바디와 상기 스톱 영역의 충격으로부터 상기 충격 빔과 상기 제 2 진동 빔의 휘어짐에 따른 전력을 생성하는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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제 1 항에 있어서,상기 프레임은 고리 모양 또는 링 모양을 갖는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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제 2 항에 있어서,상기 스톱 영역은 상기 프레임 내부의 상기 개구부의 상기 일측 외곽의 모서리들에 배치되는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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제 3 항에 있어서,상기 스톱 영역은 상기 제 2 방향의 상기 충격 빔의 양측 말단들 사이에 배치되는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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제 3 항에 있어서,상기 스톱 영역은 상기 개구부를 가로질러 상기 복수개의 제 1 진동 빔들과 상기 충격 빔의 아래에 배치되는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 압전 소자는 상기 제 2 진동 빔의 휘어짐에 따른 전력을 생성하는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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제 1 항에 있어서,상기 압전 소자는 상기 충격 빔의 휘어짐에 따른 전력을 생성하는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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제 1 항에 있어서,상기 압전 소자는 압전 유니몰프(Unimorph), 압전 바이몰프(Bimorph), 또는 압전 멀티몰프(Multimorph)를 포함하는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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제 9 항에 있어서, 상기 압전 유니몰프는 상기 제 2 진동 빔 및 상기 충격 빔 상에 배치된 하부 전극;상기 하부 전극 상에 배치된 압전체; 및 상기 압전체 상에 배치된 상부 전극을 포함하는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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제 10 항에 있어서,상기 압전체는 무기 물질, 유기 물질 및 그 혼합 물질 중 적어도 하나를 포함하는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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제 10 항에 있어서,상기 압전 소자의 상기 상부 전극, 상기 하부 전극, 또는 상기 프레임에 전기적으로 연결되는 적어도 하나의 배선; 및상기 배선에 전기적으로 연결되어 상기 베이스에 배치된 적어도 하나의 패드를 더 포함하는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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제 10 항에 있어서,상기 하부 전극은 접착제 또는 증착막에 의해 상기 진동 바디에 고정된 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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제 13 항에 있어서,상기 접착제는 전도성 또는 절연성 에폭시를 포함하는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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제 1 항에 있어서,상기 압전 소자에 인접하여 상기 진동 바디의 상기 제 2 진동 빔의 제 2 팁에 고정되어 상기 진동 바디의 감응 주파수를 조절하는 질량체(Mass)를 더 포함하는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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제 1 항에 있어서,상기 베이스의 상부에서 상기 진동 바디의 이동거리를 제한하거나 보호 용도로 상기 진동 바디를 덮는 덮개인 리드(Lid)를 더 포함하는 충격 방식 압전 마이크로 발전기
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