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각각에 도전패턴이 형성되어 적층된 다수의 그린시트(green sheet); 및상기 각각의 도전패턴을 연결하는 연결 컨택;을 포함하고,상기 그린시트들 중 적어도 하나는 강유전체 그린시트로 형성된 저온동시소성(Low Temperature Co-fired Ceramic:LTCC) 적층형 초고주파 가변소자
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제1항에 있어서,상기 강유전체 그린시트는 전압 가변 축전기(capacitor)의 유전체 역할을 하는 것을 특징으로 하는 저온동시소성 적층형 초고주파 가변소자
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제1 항에 있어서,상기 가변 소자는 다수의 적층형 축전기 및 인덕터(inductor) 포함하여 밴드 통과 필터(band pass filter)의 기능을 하는 것을 특징으로 하는 저온동시소성 적층형 초고주파 가변소자
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제3 항에 있어서,상기 가변 소자는 강유전체 그린시트에 의한 전압 가변 축전기를 포함하고,상기 가변 소자는 상기 축전기의 축전용량의 변화에 따라 통과 주파수 밴드가 이동하는 것을 특징으로 하는 저온동시소성 적층형 초고주파 가변소자
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제3 항에 있어서,상기 가변 소자는 통과 주파수 밴드 특성을 향상시키기 위하여,상기 축전기 및 인덕터가 주기적으로 반복되는 구조로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 저온동시소성 적층형 초고주파 가변소자
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적어도 하나는 강유전체 그린시트(green sheet)인 다수의 그린시트를 형성하는 단계;상기 그린시트에 컨택 홀을 형성하는 단계;상기 그린시트에 도전 패턴을 형성하고 상기 컨택 홀을 도전물질로 채우는 단계; 및상기 그린시트를 적층 및 소결하는 단계;를 포함하는 저온동시소성(Low Temperature Co-fired Ceramic:LTCC) 적층형 초고주파 가변소자 제조방법
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제6 항에 있어서,상기 적층 및 소결 단계는 저온동시소성 공정을 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 저온동시소성 적층형 초고주파 가변소자 제조방법
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제6 항에 있어서,상기 각 단계에서 테스트를 실시하여 그 결과를 전 단계 공정으로 피드백(feed back)하는 방법으로 공정이 진행되는 것을 특징으로 하는 저온동시소성 적층형 초고주파 가변소자 제조방법
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제6 항에 있어서,상기 적층된 그린시트의 도전 패턴 및 홀이 다수의 적층형 축전기 및 인덕터(inductor)를 형성하고,상기 강유전체 그린시트가 상기 적층형 축전기 중 전압 가변 축전기의 유전체 역할을 하는 것 것을 특징으로 하는 저온동시소성 적층형 초고주파 가변소자 제조방법
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