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인조흑연을 활용한 대구경 단결정 성장장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015108129
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 인조흑연을 활용한 대구경 단결정 성장장치 및 방법에 관한 것으로, 도가니 내부에 설치되는 종자정 받침대; 종자정 받침대에 적층되는 인조흑연 시트; 및 인조흑연 시트에 적층되는 종자정을 포함하는 단결정 성장장치를 제공한다.
Int. CL C30B 29/36 (2006.01) C30B 23/06 (2006.01)
CPC C30B 23/06(2013.01) C30B 23/06(2013.01)
출원번호/일자 1020130163413 (2013.12.26)
출원인 주식회사 포스코, 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-1543920-0000 (2015.08.05)
공개번호/일자 10-2015-0076273 (2015.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20150812) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.26)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 여임규 대한민국 경북 포항시 남구
2 박노형 대한민국 경북 포항시 남구
3 이승석 대한민국 경북 포항시 남구
4 김장열 대한민국 경북 포항시 남구
5 은태희 대한민국 경북 포항시 남구
6 김흥락 대한민국 경북 포항시 남구
7 서한석 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-1186856-36
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.08.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.09.12 수리 (Accepted) 9-1-2014-0071501-45
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0115995-13
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2015-0343724-58
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.04.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0343723-13
7 등록결정서
Decision to grant		 2015.08.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0518852-90
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.04.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5077322-80
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5200802-82
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.09.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5204006-48
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
도가니 내부에 설치되는 종자정 받침대;종자정 받침대에 적층되고, 두께가 25 내지 50 ㎛인 인조흑연 시트; 및인조흑연 시트에 적층되는 종자정을 포함하는 단결정 성장장치
2 2
제1항에 있어서,인조흑연 시트의 순도는 99
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,인조흑연 시트의 X축 및 Y축 열전도도는 1,000 내지 1,600 W/m·K인 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
5 5
제1항에 있어서,인조흑연 시트의 Z축 열전도도는 15±5 W/m·K인 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
6 6
제1항에 있어서,단결정은 탄화규소 단결정인 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
7 7
제1항에 있어서,단결정의 구경은 100 mm 이상인 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
8 8
도가니 내부에 설치되는 종자정 받침대, 종자정 받침대에 적층되고 두께가 25 내지 50 ㎛인 인조흑연 시트, 및 인조흑연 시트에 적층되는 종자정을 구비하는 단결정 성장장치를 이용하여 단결정을 성장시키는 단계를 포함하는 단결정 성장방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.