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다수의 기판홀더를 포함한 열벽증착기

  • 기술번호 : KST2015111436
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기존의 열벽증착법에서의 시간적 손실의 주된 원인이 되는 전처리 단계와 후처리 단계에서의 열처리과정을 하나의 장비에서 동시에 수행할 수 있도록 기판 홀더의 수를 증가시킴으로써, 열벽증착법을 이용하여 양질의 박막을 대량으로 생산할 수 있는 다수의 기판홀더를 포함한 열벽증착기를 제공하는 데 그 목적이 있다.본 발명에 따르면, 가공될 기판을 파지하여 가열할 수 있는 기판홀더 및, 기판홀더에 의해 파지된 상태의 기판과 증착물질을 수용하여 증착을 행하는 열벽부를 포함하는 열벽증착기에 있어서, 상기 기판홀더는 다수의 공정에 동시에 투입될 수 있는 다수의 홀더이고, 상기 열벽증착기는 상기 다수의 홀더를 공정순서에 따라 이동시키는 홀더이동수단을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 다수의 기판홀더를 포함한 열벽증착기가 제공된다.
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 21/68771(2013.01) H01L 21/68771(2013.01) H01L 21/68771(2013.01)
출원번호/일자 1019980041734 (1998.10.02)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0275366-0000 (2000.09.21)
공개번호/일자 10-2000-0024929 (2000.05.06) 문서열기
공고번호/일자 (20001215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.10.02)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김용민 대한민국 대전광역시 유성구
2 강경인 대한민국 대전광역시 유성구
3 김이을 대한민국 대전광역시 유성구
4 장현석 대한민국 대전광역시 유성구
5 민경욱 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전영일 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**, ***호(오룡동)(특허법인세아 (광주분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1998.10.02 수리 (Accepted) 1-1-1998-0125287-48
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.10.02 수리 (Accepted) 1-1-1998-0125288-94
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.10.02 수리 (Accepted) 1-1-1998-0125289-39
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085486-82
8 등록사정서
Decision to grant		 2000.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0204833-73
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1

가공될 기판을 파지하여 가열할 수 있는 기판홀더 및, 기판홀더에 의해 파지된 상태의 기판과 증착물질을 수용하여 증착을 행하는 열벽부를 포함하는 열벽증착기에 있어서,

상기 기판홀더는 다수의 공정에 동시에 투입될 수 있는 다수의 홀더이고,

상기 열벽증착기는 상기 다수의 홀더를 공정순서에 따라 이동시키는 홀더이동수단을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 열벽증착기

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 다수의 홀더와 상기 열벽부의 사이에는 상기 열벽부로부터의 복사열을 차단하기 위한 방열판이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 열벽증착기

3 3

제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 홀더이동수단이 회전축 및 상기 회전축으로부터 방사상으로 연장하여 각각 하나 이상의 홀더를 유지하고 있는 다수의 외팔보형 홀더유지아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 열벽증착기

4 4

제 3 항에 있어서,

상기 다수의 홀더유지아암의 선회면은 상기 열벽부의 위쪽에 형성되고,

상기 방열판은 상기 다수의 홀더유지아암의 선회면과 상기 열벽부의 사이에 제공되며 상기 열벽부의 직상부분이 절결된 원판인 것을 특징으로 하는 열벽증착기

5 5

제 4 항에 있어서,

상기 홀더유지아암이 상기 홀더를 승강시키는 승강수단을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 열벽증착기

6 6

제 3 항에 있어서,

상기 다수의 홀더유지아암이 열절연물질로 매개되는 불연속부위를 갖는 것을 특징으로 하는 열벽증착기

7 7

제 5 항에 있어서,

정해진 프로그램에 따라 상기 다수의 홀더유지아암의 선회시기 및 위치와, 상기 승강수단에 의한 홀더의 승강시기 및 위치와, 상기 홀더에서의 기판의 가열시기 및 온도를 포함하는 상기 열벽증착기의 전반적인 작동을 제어할 수 있는 제어부를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 열벽증착기

8 8

제 7 항에 있어서,

상기 다수의 홀더들이 반도체박막증착공정을 단계별로 순환하게 구성된 것을 특징으로 하는 열벽증착기

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.