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다중양자우물수직입사적외선탐지소자및그의제조방법

  • 기술번호 : KST2015111584
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다중양자우물(multiple quantum well) 수직입사 적외선 탐지소자(infrared photodetector) 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 적외선 탐지소자는 상면에 이방성 경사면이 형성된 기판; 전기 기판의 이방성 경사면 상에 형성되며 수직입사된 빛을 탐지하기 위하여 표면 내부가 하향으로 경사지도록 형성된 다중양자우물; 전기 다중양자우물의 상단과 하단에 형성되어 접지전극과 감지전극을 부설하기 위한 접지층 및 감지층; 및, 전기 접지층 및 감지층 각각에 부착 형성되어 다중양자우물에서의 탐지된 결과를 외부로 전달하기 위한 접지전극 및 감지전극을 포함하며, 본 발명에 의한 다중양자우물 수직입사 적외선 탐지장치는 별도의 부대장치가 필요없이 적외선 탐자소자면에 대해 수직입사되는 빛을 효율적이고 감도높게 탐지할 수 있으며, 본 발명에 의해 적외선 탐지소자를 경제적으로 제조할 수 있다는 것이 확인되었다.
Int. CL G01N 21/95 (2006.01.01) H01L 31/101 (2006.01.01)
CPC G01N 21/95(2013.01)G01N 21/95(2013.01)
출원번호/일자 1019950000787 (1995.01.18)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0164283-0000 (1998.09.11)
공개번호/일자 10-1996-0029779 (1996.08.17) 문서열기
공고번호/일자 (19990501) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1995.01.18)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍성철 대한민국 대전직할시유성구
2 조태희 대한민국 대진직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이한영 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 ** (서초동, 아트스페이스 ***빌딩 *층)(리앤리국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1995.01.18 수리 (Accepted) 1-1-1995-0003582-71
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1995.01.18 수리 (Accepted) 1-1-1995-0003581-25
3 특허출원서
Patent Application		 1995.01.18 수리 (Accepted) 1-1-1995-0003580-80
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1998.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0001812-24
5 의견서
Written Opinion		 1998.07.16 수리 (Accepted) 1-1-1995-0003584-62
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.07.16 수리 (Accepted) 1-1-1995-0003583-16
7 등록사정서
Decision to grant		 1998.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0001813-70
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085486-82
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1

상면에 이방성 경사면이 형성된 기판; 전기 기판의 이방성 경사면 상에 형성되며 수직입사된 빛을 탐지하기 위하여 표면 내부가 하향으로 경사지도록 형성된 다중양자우물; 전기 다중양자우물의 상단과 하단에 형성되어 접지전극과 감지전극을 부설하기 위한 접지층 및 감지층; 및, 전기 접지층 및 감지층 각각에 부착 형성되어 다중양자우물에서의 탐지된 결과를 외부로 전달하기 위한 접지전극 및 감지전극을 포함하는 다중양자우물 수직입사 적외선 탑지소자

2 2

제1항에 있어서, 기판 및 다중양자우물의 경사면은 V-그루브(gloove) 형태인 것을 특징으로 하는 다중양자우물 수직입사 적외선 탐지소자

3 3

제1항에 있어서, 기판 및 다중양자우물의 경사면은 역사각뿔 형태인 것을 특징으로 하는 다중양자우물 수직입사 적외선 탐지소자

4 4

(i) 기판의 상면에 이방성 경사면이 형성되도록 기판을 식각하는 공정; (ii) 전기 이방성 경사면이 식각된 기판의 상면에 접지층, 다중양자우물 및 감지층을 층의 표면 내부가 하향으로 경사지도록 형성하는 공정; 및, (iii) 전기 접지층이 노출되도록 다중양자우물 및 감지층을 식각하고 접지전극을 전기 접지층에, 감지전극을 전기 감지층에 증착시키는 공정을 포함하는 다중양자우물 수직입사 적외선 탐지소자의 제조방법

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1 JP08236801 JP 일본 FAMILY

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1 JP8236801 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JPH08236801 JP 일본 DOCDBFAMILY
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