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금속내부에 고용된 규소를 이용한 다결정 규소박막의제조방법 및 동 방법에의한 다결정 규소박막

  • 기술번호 : KST2015111788
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속내부에 고용된 규소를 이용한 다결정 규소박막의 제조방법 및 동 방법에 의해 제조된 규소박막에 관한 것이다. 발명의 금속내부에 고용된 규소를 이용한 다결정 규소박막의 제조방법은첨부한 도 1과 같이 유리기판 또는 실리콘 산화물 위에 금속내부에 규소(Si)가 고용된 금속을 통상의 스퍼터링 증착방법으로 증착한 후 열처리하는 단계와; 상기 열처리 후 냉각하는 단계와; 냉각 후 금속으로부터 석출된 단결정 규소만 유리기판 또는 실리콘 산화물 위에 남기고 선택적으로 금속을 제거하는 단계와; 유리기판 또는 실리콘 산화물 위의 단결정 규소는 통상의 플라즈마 증착방법 또는 저압화학기상법을 이용하여 비정질 규소로 증착하는 단계와; 상기 단계 후 비정질 규소를 열처리하는 단계로 구성된다.
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 21/02672(2013.01) H01L 21/02672(2013.01) H01L 21/02672(2013.01) H01L 21/02672(2013.01)
출원번호/일자 1020000050117 (2000.08.28)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0345037-0000 (2002.07.04)
공개번호/일자 10-2002-0017043 (2002.03.07) 문서열기
공고번호/일자 (20020724) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.08.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안병태 대한민국 대전광역시유성구
2 박종호 대한민국 대전광역시유성구
3 안진형 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박형준 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로*길 **, *층 (서초동, 삼호빌딩)(한솔국제특허법률사무소)
2 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2000-0180640-69
2 등록결정서
Decision to grant		 2002.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0138218-01
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

유리기판 또는 실리콘 산화물 위에 금속내부에 규소(Si)가 첨가된 금속을 통상의 증착방법으로 증착한 후 열처리하는 단계와;

상기 열처리 후 냉각하는 단계와;

냉각 후 금속으로부터 석출된 단결정 규소만 유리기판 또는 실리콘 산화물 위에 남기고 선택적으로 금속을 제거하는 단계와;

유리기판 또는 실리콘 산화물 위의 단결정 규소는 통상의 증착방법을 이용하여 비정질 규소로 증착하는 단계와;

상기 단계 후 비정질 규소를 열처리하는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 금속내부에 포함된 규소를 이용한 다결정 규소박막의 제조방법
2 2

제 1항에 있어서, 금속내부에 규소가 첨가된 금속에서 금속은 알루미늄(Al), 금(Au) 또는 구리(Cu)인 것을 특징으로 하는 금속내부에 포함된 규소를 이용한 다결정 규소박막의 제조방법
3 3

제 1항에 있어서, 금속내부에 규소가 첨가된 금속에서 규소는 금속 내부에 0

4 4

제 1항에 있어서, 금속내부에 규소가 첨가된 금속을 증착 후 열처리는 300∼400℃에서 30∼40분 동안 열처리하는 것을 특징으로 하는 금속내부에 포함된 규소를 이용한 다결정 규소박막의 제조방법
5 5

제 1항에 있어서, 금속내부에 규소가 첨가된 금속을 증착하고 열처리한 후 냉각은 서서히 냉각하거나 또는 50~200C/min으로 급냉하는 것을 특징으로 하는 금속내부에 포함된 규소를 이용한 다결정 규소박막의 제조방법
6 6

상기 청구항 1의 방법으로 제조된 다결정 규소박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.