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일정한 자속 흐름내에서 변화되는 자속의 세기를 이용하여 3축 위치를 구동시키는 장치로서, 3축 스테이지 고정판(11)과; 상기 3축 스테이지 고정판(11)의 상방에 배치된 3축 운동구동판(12)과; 3축 스테이지 고정판(11)과 상기 3축 운동구동판(12)의 사이에 복수개의 선형구동기(20A,20B,20C)가 삼각 꼭지점에 각기 일대일 대응하여 배치되고, 상기 선형구동기(20A,20B,20C)는, 상부요크(25)와; 상부요크(25)의 하방에 배치된 하부요크(31)와; 상기 상부요크(25)와 하부요크(31)의 중앙에 상,하로 슬라이딩 이동가능하게 설치되어 운동방향을 상기 3축 운동구동판(12)에 전달하는 작동축(22)과; 상기 상부요크(25)와 하부요크(31)의 사이에 소정 간격을 두고, 상기 작동축 (22)의 원주상에 배치된 내측요크(27) 및 외측요크(30)와; 상기 내측요크(27)와 외측요크(30)의 사이에 삽입되고, 동시에 상기 상부요크(25)와 하부요크(31)에 소정 간격을 두고, 상,하부로 각기 배치되어 전류를 공급받는 상부코일(28a) 및 하부코일(28b)과; 상기 상부코일(28a)과 하부코일(28b)의 사이에 배치된 영구자석(29)과; 상기 작동축(22)을 지지하고 동시에 작동축(22)의 운동을 안내하고, Rz방향의 회전을 없애며, 틸팅을 가능하기 위해 상기 상부요크(25) 또는 하부요크(31)의 적어도 어느 하나에 지지 연결된 가이드용 상,하부 지지판(23 또는 33)을 포함한 것을 특징으로 하는 솔레노이드와 영구자석을 갖는 선형구동기를 이용한 3축 스테이지 구동장치
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제 1항에 있어서, 상기 영구자석(29)을 기준으로 상,하부에 대칭적인 2개의 자속 흐름이 형성되도록 구성한 것을 특징으로 하는 솔레노이드와 영구자석을 갖는 선형구동기를 이용한 3축 스테이지 구동장치
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제 1항에 있어서, 상기 상,하부 코일(28a,28b)에 인가되는 전류의 세기를 조절하여 자속 밀도차로 z축의 ±의 이동방향이 결정되도록 구성한 것을 특징으로 하는 솔레노이드와 영구자석을 갖는 선형구동기를 이용한 3축 스테이지 구동장치
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제 1항에 있어서, 상기 가이드용 상,하부 지지판(23,33)은 틸딩을 허용하기 위해 탄성복원력을 갖고, 3축 운동구동판(12)의 z-Rx-Ry 운동 외의 회전운동(Rz)을 막아주는 역할을 수행하는 것을 특징으로 하는 솔레노이드와 영구자석을 갖는 선형구동기를 이용한 3축 스테이지 구동장치
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제 1항에 있어서, 복수의 상기 선형구동기(20A,20B,20C)는 상기 3축 운동구동판(12)의 중심으로부터 120도 원주각마다 배열된 것을 특징으로 하는 솔레노이드와 영구자석을 갖는 선형구동기를 이용한 3축 스테이지 구동장치
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제 1항에 있어서, 상기 선형구동기(20A,20B,20C)의 작동축(22)은 상기 3축 운동구동판(12)과 상부연결너트(21)를 매개로 연결된 것을 특징으로 하는 솔레노이드와 영구자석을 갖는 선형구동기를 이용한 3축 스테이지 구동장치
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제 1항에 있어서, 상기 선형구동기(20A,20B,20C)의 작동축(22)은 상기 3축 운동구동판(12)과 상부연결너트(21)를 매개로 연결된 것을 특징으로 하는 솔레노이드와 영구자석을 갖는 선형구동기를 이용한 3축 스테이지 구동장치
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