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광자 유체 소자 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015114228
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광자 유체 소자 및 그의 제조방법에 관한 것으로 종래의 광식각법과 홀로그래피 식각법을 융합하여 새로운 형태의 광자 유체 소자를 구현하는 것이다. 본 발명에 의하면, 광식각법에 의해 미세 유채 채널의 모양을 결정하고, 상부가 평탄한 프리즘을 이용한 홀로그래피 식각법을 통해 3차원 광자 결정을 구현함에 따라 제조공정을 단순화하며 결함을 감소시켜 광소자 및 바이오 센서 등의 실질적인 응용에 사용할 수 있다. 광식각법, 홀로그래피 식각법, 광자 유체 소자, 광자 결정
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) G03F 7/20 (2011.01) H01L 21/027 (2011.01)
CPC G03F 7/70408(2013.01)
출원번호/일자 1020080035668 (2008.04.17)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0110073 (2009.10.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.04.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양승만 대한민국 대전 유성구
2 이승곤 대한민국 대전 유성구
3 박성규 대한민국 대전 유성구
4 문준혁 대한민국 서울 구로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2008-0274255-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.05.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.06.12 수리 (Accepted) 9-1-2009-0035095-03
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0435443-53
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2010.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0044519-88
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광식각법을 사용하여 미세 유체 채널을 형성한 후, 홀로그래피 식각법을 사용하여 상기 채널 내부에 3차원 광자 결정을 갖는 광자 나노 구조를 포함하는 광자 유체 소자 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 홀로그래피 식각법은, 상부가 평탄한 프리즘을 통과한 레이저 빔이 광개시제가 혼합된 포토레지스트 필름에 전사되는 것을 특징으로 하는 광자 유체 소자 제조 방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 포토레지스트는 광개시제의 혼합 비율을 제어하여 광자 결정의 광밴드갭을 조절하는 것을 특징으로 하는 광자 유체 소자 제조 방법
4 4
제 3항에 있어서, 상기 광밴드갭은 레이저 조사 시간 조절 및 반응성 기체 도입에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 광자 유체 소자 제조 방법
5 5
제 2항에 있어서, 상기 광개시제는 SbF6-, AsF6-, PF6- 및 BF6- 를 포함하는 것을 특징으로 하는 광자 유체 소자 제조 방법
6 6
제 1항 내지 제 3항의 방법에 의해 제조된 광자 나노 구조에 폴리디메틸실록산(PDMS) 칩을 접착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광자 유체 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.