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평면운동을 하는 스테이지에 있어서, 양측에 제1방향 운동을 위한 복수개의 제1선형모터 코일부(13) 및 마찰을 방지하기 위한 복수개의 공기베어링(15, 16)이 구비되며, 상부면에 위치 측정을 위한 측정거울(18)을 갖고 하부면에 복수개의 제1공기베어링(17)이 구비된 시편이송부 (10); 상기 시편이송부(10)가 장착되는 복수개의 I형빔(21)의 결합으로 이루어지며, 상기 한 쌍의 I형빔(21)은 각각의 일측에 제1선형모터 자석(14)이 배치되고, 상기 한 쌍의 I형빔(21)과 수직하게 위치하는 다른 한 쌍의 I형빔(21)은 각각의 일측에 복수개의 공기베어링(29, 30) 및 제2선형모터 코일부 (24)가 설치되며, 하부에 복수개의 제2공기베어링(31)이 설치된 프레임(20); 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 상기 프레임(20)을 이송하기 위해 일면에 제2선형모터 자석(25)이 배치되고 양단에 스토퍼(42)가 설치되는 한 쌍의 빔으로 이루어지는 가이드바(40a, 40b); 및 상기 시편이송부(10), 프레임(20) 및 가이드바(40a, 40b)가 장착되는 평판인 베이스(50)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 I형 빔으로 구성된 이중 H구조를 이용한 장행정 스테이지
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제 1항에 있어서, 상기 제1 및 제2선형모터 자석(14, 25)의 배열은 Halbach 자석 배열인 것을 특징으로 하는 I형 빔으로 구성된 이중 H구조를 이용한 장행정 스테이지
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제 1항에 있어서, 상기 공기베어링(15, 16, 29, 30)은, 상기 프레임(20) 또는 상기 가이드바(40a, 40b)의 평행이 일정치수만큼 어긋난 경우에도 선형운동을 할 수 있도록 하기 위한, 예압 공기베어링(15, 29) 및 다자유도의 힌지(62)를 갖는 자유 공기베어링(16, 30)인 것을 특징으로 하는 I형 빔으로 구성된 이중 H구조를 이용한 장행정 스테이지
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제 1항에 있어서, 상기 제1 및 제2선형모터의 코일부(13, 24)의 일측에는 열방산을 위한 열분산 장치(64)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 I형 빔으로 구성된 이중 H구조를 이용한 장행정 스테이지
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평면운동을 하는 스테이지에 있어서, 양측에 제1방향 운동을 위한 복수개의 제1선형모터 코일부(13) 및 마찰을 방지하기 위한 복수개의 공기베어링(15, 16)이 구비되며, 하부면에 복수개의 제1공기베어링(17)이 구비된 시편이송부(10); 상기 시편이송부(10)가 장착되는 복수개의 I형빔(21)의 결합으로 이루어지며, 상기 한 쌍의 I형빔(21)은 각각의 일측에 제1선형모터 자석(14)이 배치되고, 상기 한 쌍의 I형빔(21)과 수직하게 위치하는 다른 쌍의 I형빔(21)은 각각의 일측에 복수개의 공기베어링(29, 30) 및 제2선형모터 코일부(24)가 설치되며, 하부에 복수개의 제2공기베어링(31)이 설치된 프레임(20); 상기 시편이송부(10) 및 프레임(20)의 위치 결정을 위해 격자판(44)과 광센서(45)로 구성된 선형스케일러(46); 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 상기 프레임(20)을 이송하기 위해 일면에 제2선형모터 자석(25)이 배치되고 양단에 스토퍼(42)가 설치되는 한 쌍의 빔으로 이루어지는 가이드바(40a, 40b); 및 상기 시편이송부(10), 프레임(20) 및 가이드바(40a, 40b)가 장착되는 평판인 베이스(50)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 I형 빔으로 구성된 이중 H구조를 이용한 장행정 스테이지
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평면운동을 하는 스테이지에 있어서, 양측에 제1방향 운동을 위한 복수개의 제1선형모터 코일부(13) 및 합성수지로 된 제1안내면(35)이 구비되며, 상부면에 위치 측정을 위한 측정거울(18)을 갖는 시편이송부(10); 상기 시편이송부(10)가 장착되는 복수개의 I형빔(21)의 결합으로 이루어지며, 상기 한 쌍의 I형빔(21)은 각각의 일측면에 제1 선형모터 자석(14)이 배치되고 타측면에 마찰을 감소시키는 합성수지로 된 제2안내면(36)이 구비되며, 상기 한 쌍의 I형빔(21)과 수직하게 위치하는 다른 한 쌍의 I형빔(21)은 각각의 일측에 제2 선형모터 코일부(24) 및 합성수지로 된 제3안내면(37)이 설치되는 프레임(20); 상기 제1방향과 직교하는 제2방향의 프레임(20) 운동을 위해 일측면에 제2선형모터 자석(25)이 구비되고 타측면에는 합성수지로 된 제4안내면(38)이 구비되며, 양단에 스토퍼(42)가 설치되는 한 쌍의 빔으로 이루어지는 가이드바(40a, 40b); 및 상기 시편이송부(10), 프레임(20) 및 가이드바(40a, 40b)가 상부면에 배치되는 평판인 베이스(50)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 I형 빔으로 구성된 이중 H구조를 이용한 장행정 스테이지
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