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액적화학증착법을 이용한 박막 또는 분말 어레이 제조방법으로서, 재료 또는 촉매를 구성하는 금속전구체를 용매에 용해시켜 2종류 이상의 금속전구체 용액을 제조하는 제 1 단계; 상기 용액 중 한 용액을 선택하여 반응기에 주입한 뒤 고주파를 가해 액적을 발생 시키는 제 2 단계; 일정 압력에서 상기 액적을 진공 챔버 내로 이동시키는 제 3 단계; 가리개 또는 이동 마스크를 통해 농도구배를 주어 상기 액적이 상기 기판의 각 영역에 증착되는 제 4 단계; 열처리 과정을 통해 상기 액적에 대한 박막 또는 분말 어레이를 제조하는 제 5단계; 상기 제 1 단계에서 제조된 2종류 이상의 용액 중 다른 용액에 대해 상기 제 2 내지 제 5 단계들을 반복하는 제 6 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는, 액적화학증착법을 이용한 박막 또는 분말 어레이 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 재료 및 촉매는 무기소재, 이온성 고체, 유기금속물질, 금속합금, 복합체, 유기고분자를 포함하는 것을 특징으로 하는, 액적화학증착법을 이용한 박막 또는 분말 어레이 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 금속전구체는 금속의 나이트레이트(-NO3), 아세테이트(-CH3COO), 카보네이트(-CO3), 아세틸아세토네이트(-CH3COCHCOCH3), 2-에틸헥사노에이트 (-OOCCH(C2H5)C4H9), 시트레이트(-C6H5O7) 등으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 하나 이상의 물질인 것을 특징으로 하는, 액적화학증착법을 이용한 박막 또는 분말 어레이 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 박막 또는 분말 어레이의 증착두께는 0
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제 1항에 있어서, 상기 기판으로 사용되어 지는 재료는 텅스텐, 몰리브덴, 금, 알루미늄, 구리 및 백금, 실리콘, 실리콘 산화물 등으로 제조된 웨이퍼 또는 광식각 방식에 의해 구멍이 100개 이상 뚫린 반응기 중의 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 액적화학증착법을 이용한 박막 또는 분말 어레이 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 박막 또는 분말 어레이의 증착 및 제조는 압력이 10-6 내지 760 Torr 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는, 액적화학증착법을 이용한 박막 또는 분말 어레이 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 박막 또는 분말 어레이의 증착 및 제조는 액체 간의 반응 및 혼합을 효율적으로 하기 위해 산소, 질소, 아르곤, 헬륨 기체를 사용하여 제조 분위기 조건을 수행할 수 있는 것을 특징으로 하는, 액적화학증착법을 이용한 박막 또는 분말 어레이 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 금속전구체들을 용해시키는 상기 용매로서는 메탄올, 에탄올, 프로판올, 이소프로판올, 부탄올, 2-메톡시에탄올, 톨루엔, 벤젠, 페놀, 2-에틸헥사논산, 아세톤, 아세틸아세토네이트 등 탄소 1개 내지 10개를 포함하는 유기용매 또는 물과 같은 극성용매가 사용되는 것을 특징으로 하는, 액적화학증착법을 이용한 박막 또는 분말 어레이 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 열처리 과정을 통해 상기 액적에 대한 박막 또는 분말 어레이를 제조하는 단계는 노 또는 고속열처리장비를 사용하며, 50도 내지 1500도의 온도에서 산소, 질소, 수소, 아르곤, 헬륨 기체를 사용하는 열처리 과정을 통해 상기 액적에 대한 박막 또는 분말 어레이를 제조하는 단계인 것을 특징으로 하는, 액적화학증착법을 이용한 박막 또는 분말 어레이 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 열처리 과정을 통해 상기 액적에 대한 박막 또는 분말 어레이를 제조하는 단계는 노 또는 고속열처리장비를 사용하며, 50도 내지 1500도의 온도에서 산소, 질소, 수소, 아르곤, 헬륨 기체를 사용하는 열처리 과정을 통해 상기 액적에 대한 박막 또는 분말 어레이를 제조하는 단계인 것을 특징으로 하는, 액적화학증착법을 이용한 박막 또는 분말 어레이 제조 방법
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