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미세유체채널이 집적화된 3차원 전극장치 및 그 제작 방법

  • 기술번호 : KST2015112126
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 전극활성물질의 산화환원 반응을 고효율로 검출하여 전체적으로 미세유체에 대한 센서의 감도를 향상시킬 수 있는 전극장치이 제공된다. 본 발명에 의한 미세유체채널이 집적화된 3차원 전극장치은, 제1 절연성 기판과, 제1 절연성 기판 위에 수직으로 배치되며, 서로간에 전기적으로 연결된 복수의 전도성 미세기둥으로 이루어진 양극과, 제1 절연성 기판 위에 수직으로 배치되며, 양극의 미세기둥과 교대로 배열되고, 서로간에 전기적으로 연결된 복수의 전도성 미세기둥으로 이루어진 음극과, 제1 절연성 기판 위에 배치되며, 복수의 전도성 미세기둥 사이로 미세유체채널을 형성하는 제2 절연성 기판을 구비한다. 미세유체채널로 미세유체가 흐르는 경우, 미세유체는 미세기둥과 부딪쳐 혼합되고, 반복 반응을 일으킨다.
Int. CL G01N 33/53 (2006.01)
CPC G01N 33/531(2013.01) G01N 33/531(2013.01) G01N 33/531(2013.01)
출원번호/일자 1020030049674 (2003.07.21)
출원인 주식회사 올메디쿠스, 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0563840-0000 (2006.03.17)
공개번호/일자 10-2005-0010423 (2005.01.27) 문서열기
공고번호/일자 (20060328) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.07.21)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 올메디쿠스 대한민국 경기도 안양시 동안구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박제균 대한민국 대전광역시유성구
2 최원재 대한민국 충청북도청주시상당구
3 강승주 대한민국 서울특별시송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이기성 대한민국 경기도 안산시 상록구 화랑로 *** (성포동 파크푸르지오) ***동 ***호(이기성특허법율사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 올메디쿠스 대한민국 경기도 안양시 동안구
2 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2003-0264185-47
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.02.28 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.03.16 수리 (Accepted) 9-1-2005-0014085-61
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0567370-87
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.01.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0001037-67
8 의견서
Written Opinion		 2006.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2006-0000989-28
9 등록결정서
Decision to grant		 2006.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0023651-32
10 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2006.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2006-0166610-99
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.04.20 수리 (Accepted) 4-1-2007-5061319-43
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
미세유체채널이 집적화된 3차원 전극장치에 있어서, 제1 절연성 기판과,상기 제1 절연성 기판 위에 수직으로 배치되며, 서로간에 전기적으로 연결된 복수의 전도성 미세기둥으로 이루어진 양극과,상기 제1 절연성 기판 위에 수직으로 배치되며, 상기 양극의 미세기둥과 교대로 배열되고, 서로간에 전기적으로 연결된 복수의 전도성 미세기둥으로 이루어진 음극과,상기 제1 절연성 기판 위에 배치되며, 상기 복수의 전도성 미세기둥 사이로 상기 미세유체채널을 형성하는 제2 절연성 기판을 포함하며,상기 미세유체채널로 미세유체가 흐르는 경우, 상기 미세유체는 상기 미세기둥과 부딪쳐 혼합되고, 반복 반응을 일으키는 것을 특징으로 3차원 전극장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 미세유체는 전극활성물질을 함유하는 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 미세유체채널 내에 형성된 기준전극(reference electrode)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치
4 4
제 3 항에 있어서,상기 미세유체채널 내에 형성된 대전극(counter electrode)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치
5 5
미세유체채널이 집적화된 3차원 전극장치에 있어서, 제1 절연성 기판과,상기 제1 절연성 기판 위에 빗 모양의 도체 패턴으로 형성된 양극과,상기 제1 절연성 기판 위에 빗 모양의 도체 패턴으로 형성되며, 상기 양극과 맞물려 있는 음극과,상기 양극 및 음극 위에서 상기 제1 절연성 기판에 대해 수직으로 형성된 복수의 전도성 미세기둥과,상기 제1 절연성 기판 위에 배치되며, 상기 복수의 전도성 미세기둥 사이로 상기 미세유체채널을 형성하는 제2 절연성 기판을포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치
6 6
미세유체채널이 집적화된 미세분석장치에 있어서, 반도체 기판 위에 형성되며 미세유체의 분석을 수행하는 전자 회로와, 상기 반도체 기판 위에 배치되는 제1 절연성 기판과,상기 제1 절연성 기판 위에 수직으로 배치되며, 서로간에 전기적으로 연결된 복수의 전도성 미세기둥으로 이루어진 양극과,상기 제1 절연성 기판 위에 수직으로 배치되며, 상기 양극의 미세기둥과 교대로 배열되고, 서로간에 전기적으로 연결된 복수의 전도성 미세기둥으로 이루어진 음극과,상기 제1 절연성 기판 위에 배치되며, 상기 복수의 전도성 미세기둥 사이로 상기 미세유체채널을 형성하는 제2 절연성 기판을 포함하며,상기 전자 회로는 상기 양극 및 상기 음극과 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 미세분석장치
7 7
미세유체채널이 집적화된 3차원 전극장치을 제작하는 방법에 있어서,제1 절연성 기판 위에 전도성 박막을 적층시키는 단계와,상기 전도성 박막을 포토리소그래피 공정에 의해 패터닝하여 서로 빗 모양으로 맞물려 있는 양극과 음극을 형성하는 단계와,상기 양극과 음극 위에 절연체로 전극 보호층을 형성하는 단계와,상기 전극 보호층을 포토리소그래피 공정에 의해 패터닝하여 미세기둥 형성부와 전극 연결부를 노출시키는 단계와,상기 전극 보호층 위에 두껍게 포토 레지스트를 올리고, 자외선에 노광하여 상기 미세기둥 형성부와 상기 전극 연결부의 포토 레지스트를 제거하는 단계와,상기 포트 레지스트가 제거된 공간을 전기도금으로 채우므로 미세기둥과 전극 연결부를 형성하고, 상기 포토 레지스트를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전극장치의 제작 방법
8 8
제 7 항에 있어서,상기 미세기둥 사이에 미세유체채널을 형성하는 제2 절연성 기판을 상기 제1 절연성 기판 위에 배치시키는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전극장치의 제작 방법
9 8
제 7 항에 있어서,상기 미세기둥 사이에 미세유체채널을 형성하는 제2 절연성 기판을 상기 제1 절연성 기판 위에 배치시키는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전극장치의 제작 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.