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평판; 상기 평판에 형성된 슬릿(slit)에 의해 외곽 형상이 형성된 캔틸레버; 상기 캔틸레버 상에 형성된 제1전극; 및 상기 슬릿을 중심으로 상기 제1전극에 대향하여(countered) 상기 평판에 형성된 제2전극;을 포함하는 캔틸레버 센서에서 신호를 측정하는 방법으로서,상기 제1전극 및 제2전극 중 하나 이상에 전압을 인가하는 단계; 및상기 전압을 인가한 후, 상기 캔틸레버에서 발생되는 신호를 측정하는 단계;를 포함하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 방법
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제1항에 있어서, 상기 전압을 인가하는 것은,교류(AC) 전압을 인가하여 상기 슬릿이 위치하는 공간의 전기장을 변화시키는 것임을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 방법
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제1항에 있어서, 상기 전압을 인가하는 것은,교류(AC) 전압을 인가하여 상기 캔틸레버에서 발생되는 공진주파수를 변화시키는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 방법
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제1항에 있어서, 상기 전압을 인가하는 것은,교류(AC) 전압을 인가하여 상기 캔틸레버의 강직도 또는 스프링 상수를 변화시키는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 방법
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제1항에 있어서, 상기 제1전극과 제2전극은 서로 마주하는 면에 뾰족한(pointed) 표면을 가지는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 방법
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평판; 상기 평판에 형성된 슬릿(slit)에 의해 외곽 형상이 형성된 캔틸레버; 상기 캔틸레버 상에 형성된 제1전극; 및 상기 슬릿을 중심으로 상기 제1전극에 대향하여(countered) 상기 평판에 형성된 제2전극;을 포함하는 캔틸레버 센서에서 신호를 측정하는 방법으로서,상기 제1전극 및 제2전극 중 하나 이상에 제1전압을 인가하여, 제1공진주파수를 가지는 상기 캔틸레버에서 발생되는 제1신호를 측정하는 단계;상기 제1신호를 측정한 다음, 상기 제1전극 및 제2전극 중 하나 이상에 제2전압을 인가하여, 제2공진주파수를 가지는 상기 캔틸레버에서 발생되는 제2신호를 측정하는 단계; 및상기 측정한 제1신호와 제2신호를 비교하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 방법
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제1항에 있어서, 상기 캔틸레버에서 발생되는 신호를 측정하는 것은,상기 캔틸레버에서 발생되는 신호를 광학 방식으로 측정하는 것임을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 방법
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제8항에 있어서, 상기 광학 방식은 레이져유속계(Laser Doppler Velocimetry : LDV)를 이용하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 방법
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제1항에 있어서, 상기 전압을 인가하는 것은,직류(DC) 전압을 인가하여 상기 제1전극과 제2전극 사이에 인력 또는 척력을 형성하는 것임을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 방법
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평판; 상기 평판에 형성된 슬릿(slit)에 의해 외곽 형상이 형성된 캔틸레버; 상기 캔틸레버 상에 형성된 제1전극; 및 상기 슬릿을 중심으로 상기 제1전극에 대향하여(countered) 상기 평판에 형성된 제2전극;을 포함하는 캔틸레버 센서에서 신호를 측정하는 방법으로서,상기 제1전극 및 제2전극 중 하나 이상에 자기장을 발생시킬 수 있는 물질을 구비시켜서 자기장을 발생시키는 단계; 및상기 자기장을 발생시킨 후, 상기 캔틸레버에서 발생되는 신호를 측정하는 단계;를 포함하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 방법
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평판; 상기 평판에 형성된 슬릿(slit)에 의해 외곽 형상이 형성된 캔틸레버; 상기 캔틸레버 상에 형성된 제1전극; 및 상기 슬릿을 중심으로 상기 제1전극에 대향하여(countered) 상기 평판에 형성된 제2전극;을 포함하는 캔틸레버 센서에서 신호를 측정하는 장치로서,상기 제1전극 및 제2전극 중 하나 이상에 전압을 인가하는 수단; 및상기 캔틸레버에서 발생되는 신호를 측정하는 수단;을 포함하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 장치
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제12항에 있어서, 상기 전압을 인가하는 수단은, 상기 제1전극 및 제2전극 중 하나 이상에 교류(AD) 또는 직류(DC) 전압을 인가하는 것임을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 장치
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제12항에 있어서, 상기 신호를 측정하는 수단은 광학방식에 의해 신호를 측정하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 장치
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제12항에 있어서, 상기 신호를 측정하는 수단은 레이져유속계(Laser Doppler Velocimetry : LDV)인 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 신호 측정 장치
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